本發(fā)明涉及在半導(dǎo)體封裝元件上接通電源而使其工作時(shí)，用于測(cè)試半導(dǎo)體元件對(duì)熱應(yīng)力的可靠性的老化測(cè)試設(shè)備(Burn-InTester)。

背景技術(shù)：
半導(dǎo)體元件被制造后會(huì)經(jīng)過(guò)各種測(cè)試，關(guān)于本發(fā)明的老化測(cè)試是向半導(dǎo)體元件接通電信號(hào)而使其工作時(shí)，確認(rèn)半導(dǎo)體元件在何種程度上能抵抗熱應(yīng)力的測(cè)試。并且，實(shí)施這種老化測(cè)試的裝置即為老化測(cè)試設(shè)備。老化測(cè)試設(shè)備包含收容半導(dǎo)體元件的老化腔室、收容測(cè)試基板的測(cè)試腔室，其中，向收容在老化腔室的半導(dǎo)體元件接通測(cè)試信號(hào)之后，測(cè)試基板用于讀取反饋(Feedback)的結(jié)果信號(hào)。一般，為了同時(shí)對(duì)多個(gè)半導(dǎo)體元件進(jìn)行測(cè)試，半導(dǎo)體元件在以矩陣形態(tài)裝載到測(cè)試板的狀態(tài)下收容到老化腔室中，而且為了進(jìn)一步提高處理容量，老化腔室具有同時(shí)收容多個(gè)測(cè)試板的結(jié)構(gòu)。并且，裝載到測(cè)試板的多個(gè)半導(dǎo)體元件通過(guò)測(cè)試板所具有的板連接器與測(cè)試基板電連接，這種用于解決半導(dǎo)體元件和測(cè)試基板之間的電連接的技術(shù)已被韓國(guó)公開(kāi)專利10-2008-0051762號(hào)(發(fā)明名稱：老化試驗(yàn)板連接裝置、具有其的老化測(cè)試裝置及老化試驗(yàn)板連接方法，下面稱“現(xiàn)有技術(shù)”)等公開(kāi)。以往，為了電連接測(cè)試板和測(cè)試基板，使用氣缸作為移動(dòng)測(cè)試板的驅(qū)動(dòng)源，但如現(xiàn)有技術(shù)中所揭示，使用氣缸時(shí)會(huì)在局部發(fā)生過(guò)度的接觸沖擊，可能發(fā)生接觸不良和連接部分破損。因此，如現(xiàn)有技術(shù)那樣，提供了利用伺服電機(jī)移動(dòng)測(cè)試板的技術(shù)。但是，根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的情況下也要使用多個(gè)伺服電機(jī)來(lái)移動(dòng)測(cè)試板，因此存在需要進(jìn)行高精度的同步化和生產(chǎn)成本升高的問(wèn)題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
本發(fā)明的目的在于提供一種利用一個(gè)驅(qū)動(dòng)源可以將測(cè)試板移向測(cè)試基板一側(cè)的技術(shù)。如上所述的本發(fā)明的老化測(cè)試設(shè)備用接觸裝置，包含：保持板，在保持測(cè)試板之后可向測(cè)試基板側(cè)方向進(jìn)退，以將測(cè)試板移動(dòng)到測(cè)試基板一側(cè)或使其向反方向移動(dòng)；第一驅(qū)動(dòng)源，用于提供所述保持板進(jìn)退所需的驅(qū)動(dòng)力；動(dòng)力轉(zhuǎn)換傳遞裝置，將所述第一驅(qū)動(dòng)源所提供的驅(qū)動(dòng)力轉(zhuǎn)換為所述保持板的進(jìn)退力后傳遞給保持板；第二驅(qū)動(dòng)源，用于提供所述保持板的保持動(dòng)作所需的驅(qū)動(dòng)力。所述保持板上形成有至少一個(gè)連接槽和多個(gè)保持凸起，所述連接槽用于連接測(cè)試板的連接器和測(cè)試基板側(cè)的連接器，所述多個(gè)保持凸起根據(jù)保持板的升降狀態(tài)插入或脫離測(cè)試板的保持槽，以保持測(cè)試板或解除對(duì)測(cè)試板的保持，所述第二驅(qū)動(dòng)源所提供的驅(qū)動(dòng)力是使所述保持板升降的升降力。所述動(dòng)力轉(zhuǎn)換傳遞裝置，包含：第一旋轉(zhuǎn)部件，借由所述第一驅(qū)動(dòng)源的驅(qū)動(dòng)力以水平方向?yàn)樾D(zhuǎn)軸方向進(jìn)行旋轉(zhuǎn)；第二旋轉(zhuǎn)部件，伴隨所述第一旋轉(zhuǎn)部件的旋轉(zhuǎn)以豎直方向?yàn)樾D(zhuǎn)軸進(jìn)行旋轉(zhuǎn)；第一轉(zhuǎn)換器，將所述第一旋轉(zhuǎn)部件的旋轉(zhuǎn)力轉(zhuǎn)換為所述第二旋轉(zhuǎn)部件的旋轉(zhuǎn)力；第二轉(zhuǎn)換器，將所述第二旋轉(zhuǎn)部件的旋轉(zhuǎn)力轉(zhuǎn)換為所述保持板的進(jìn)退力；傳遞部件，將通過(guò)所述第二轉(zhuǎn)換器轉(zhuǎn)換為所述保持板的進(jìn)退力的移動(dòng)力傳遞到所述保持板，所述傳遞部件的一側(cè)結(jié)合于所述保持板，另一側(cè)結(jié)合于所述第二轉(zhuǎn)換器一側(cè)。所述第二轉(zhuǎn)換器和所述傳遞部件沿豎直方向相互分開(kāi)而分別設(shè)置多個(gè)。所述第二旋轉(zhuǎn)部件、所述第一旋轉(zhuǎn)器、所述第二旋轉(zhuǎn)器以及所述傳遞部件在水平方向上相互分開(kāi)而成對(duì)設(shè)置。并且，為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明所提供的老化測(cè)試設(shè)備，包含：板收容腔室，用于收容至少一個(gè)測(cè)試板；至少一個(gè)測(cè)試基板，用于對(duì)裝載在所述板收容腔室所收容的測(cè)試板上的半導(dǎo)體元件進(jìn)行測(cè)試；基板收容腔室，用于收容所述至少一個(gè)測(cè)試基板；如權(quán)利要求1至5中的任意一項(xiàng)所述的接觸裝置，通過(guò)使收容于所述板收容腔室中的至少一個(gè)測(cè)試板接觸所述至少一個(gè)測(cè)試基板，從而將裝載于至少一個(gè)測(cè)試板上的多個(gè)半導(dǎo)體元件電連接到所述至少一個(gè)測(cè)試基板。根據(jù)如上所述的本發(fā)明，由于通過(guò)一個(gè)驅(qū)動(dòng)源將測(cè)試板移向測(cè)試基板一側(cè)，因此測(cè)試板的被保持的所有部分的移動(dòng)可以同步進(jìn)行，從而具有可以減少接觸不良或連接部分的破損，可以節(jié)省生產(chǎn)成本的效果。附圖說(shuō)明圖1為概略示出本發(fā)明的一實(shí)施例的老化測(cè)試設(shè)備用接觸裝置的立體圖。圖2和圖3為說(shuō)明圖1的老化測(cè)試設(shè)備用接觸裝置時(shí)提供參考的參考圖。圖4a至圖4c為對(duì)圖1的老化測(cè)試設(shè)備用接觸裝置的作用狀態(tài)圖。圖5為概略示出應(yīng)用了圖1的測(cè)試設(shè)備用接觸裝置的老化測(cè)試設(shè)備的立體圖。符號(hào)說(shuō)明：100為老化測(cè)試設(shè)備，110為板收容腔室，120為測(cè)試基板，130為基板收容腔室，140為接觸裝置，141為保持板，142為第一驅(qū)動(dòng)源，143為動(dòng)力轉(zhuǎn)換傳遞裝置，143a為第一旋轉(zhuǎn)部件，143b為第二旋轉(zhuǎn)部件，143c為第一轉(zhuǎn)換器，143d為第二轉(zhuǎn)換器，143e為傳遞部件，144為第二驅(qū)動(dòng)源。具體實(shí)施方式以下，參照附圖來(lái)說(shuō)明如上所述的本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例，但為了說(shuō)明的簡(jiǎn)潔性，盡可能省略或壓縮重復(fù)性說(shuō)明。<關(guān)于接觸裝置的說(shuō)明>圖1為概略示出本發(fā)明的一實(shí)施例的老化測(cè)試設(shè)備用接觸裝置140(下面簡(jiǎn)稱為“接觸裝置”)的立體圖。本實(shí)施例的接觸裝置140包含保持板141、第一驅(qū)動(dòng)源142、動(dòng)力轉(zhuǎn)換傳遞裝置143和第二驅(qū)動(dòng)源144等。保持板141設(shè)置為可以向測(cè)試基板側(cè)方向進(jìn)退，用于將所保持的測(cè)試板移動(dòng)到測(cè)試基板一側(cè)或使其向反方向移動(dòng)。這種保持板141上形成有多個(gè)連接槽141a，以用于連接測(cè)試板的連接器和測(cè)試基板側(cè)的連接器，而且在兩側(cè)成對(duì)地形成有多個(gè)保持凸起141b，保持凸起141b根據(jù)保持板141的升降狀態(tài)插入或脫離測(cè)試板的保持槽，從而保持測(cè)試板或解除對(duì)測(cè)試板的保持。第一驅(qū)動(dòng)源142用于向保持板141提供進(jìn)退所需的驅(qū)動(dòng)力，可以應(yīng)用可正反旋轉(zhuǎn)的電機(jī)等。動(dòng)力轉(zhuǎn)換傳遞裝置143用于將第一驅(qū)動(dòng)源142所提供的驅(qū)動(dòng)力轉(zhuǎn)換為保持板141的進(jìn)退力而傳遞給保持板141，包含第一旋轉(zhuǎn)部件143a、第二旋轉(zhuǎn)部件143b、第一轉(zhuǎn)換器143c、第二轉(zhuǎn)換器143d、傳遞部件143e等。第一旋轉(zhuǎn)部件143a具有沿水平方向延伸的棒形狀，借由第一驅(qū)動(dòng)源142所提供的驅(qū)動(dòng)力以水平方向?yàn)樾D(zhuǎn)軸方向進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。此時(shí)，如果第一驅(qū)動(dòng)源142由電機(jī)構(gòu)成，則電機(jī)的驅(qū)動(dòng)力通過(guò)帶B轉(zhuǎn)換為第一旋轉(zhuǎn)部件143a的旋轉(zhuǎn)力。第二旋轉(zhuǎn)部件143b具有沿豎直方向延伸的棒形狀，伴隨第一旋轉(zhuǎn)部件143a的旋轉(zhuǎn)以豎直方向?yàn)樾D(zhuǎn)軸方向進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。第一轉(zhuǎn)換器143c用于將第一旋轉(zhuǎn)部件143a的旋轉(zhuǎn)力轉(zhuǎn)換為第二旋轉(zhuǎn)部件143b的旋轉(zhuǎn)力，如圖2所示，可以通過(guò)錐齒輪結(jié)構(gòu)等實(shí)現(xiàn)。當(dāng)然，第一轉(zhuǎn)換器143c可以構(gòu)成為一部分構(gòu)件(例如，一側(cè)齒輪)結(jié)合于第一旋轉(zhuǎn)部件143a，另一部分構(gòu)件(例如，另一側(cè)齒輪)結(jié)合于第二旋轉(zhuǎn)部件143b的形態(tài)。第二轉(zhuǎn)換器143d用于將第二旋轉(zhuǎn)部件143b的旋轉(zhuǎn)力轉(zhuǎn)換為傳遞部件143e和保持板141的進(jìn)退力，如圖3所示，可以由齒條和小齒輪結(jié)構(gòu)等實(shí)現(xiàn)。在此，同樣地，第二轉(zhuǎn)換器143d可以構(gòu)成為一部分構(gòu)件(例如，小齒輪)結(jié)合于第二旋轉(zhuǎn)部件143b，另一部分構(gòu)件(例如，齒條)結(jié)合于傳遞部件143e的形態(tài)。傳遞部件143e用于將通過(guò)第二轉(zhuǎn)換器143d轉(zhuǎn)換為進(jìn)退力的移動(dòng)力傳遞到保持板141，其一側(cè)結(jié)合于保持板141，另一側(cè)結(jié)合于第二轉(zhuǎn)換器143d。并且，第一轉(zhuǎn)換器143c和第二旋轉(zhuǎn)部件143b在水平方向上相互分開(kāi)而成對(duì)設(shè)置，第二轉(zhuǎn)換器143d和傳遞部件143e在每一個(gè)第二旋轉(zhuǎn)部件143b上沿豎直方向相互分開(kāi)而分別設(shè)有兩個(gè)。當(dāng)然，根據(jù)實(shí)施的需要，第二轉(zhuǎn)換器143d和傳遞部件143e可以在每一個(gè)第二旋轉(zhuǎn)部件143b上設(shè)置三個(gè)以上。第二驅(qū)動(dòng)源144用于提供保持板141的保持動(dòng)作所需的驅(qū)動(dòng)力，可以由氣缸或電機(jī)等實(shí)現(xiàn)。在本實(shí)施例中，通過(guò)如下的裝卸結(jié)構(gòu)保持保持板或解除對(duì)保持板的保持，即，第二驅(qū)動(dòng)源144使保持板141升降，保持板141的保持凸起141b隨著保持板141的升降動(dòng)作而插入或脫離測(cè)試板的保持槽。接著，說(shuō)明如上所述的接觸裝置140的動(dòng)作。首先，如圖4a所示，當(dāng)裝載有半導(dǎo)體元件的測(cè)試板TB位于板收容腔室內(nèi)時(shí)，第二驅(qū)動(dòng)源144工作而提升保持板141。隨之，保持板141上升，多個(gè)保持凸起141b將會(huì)插入到測(cè)試板TB的保持槽S中，如圖4b所示。然后，第一驅(qū)動(dòng)源142工作，將測(cè)試板TB移向測(cè)試基板120一側(cè)，使測(cè)試板TB可以與測(cè)試基板120電連接，如圖4c所示。并且，可以按照與上述動(dòng)作順序相反的順序解除測(cè)試板TB與測(cè)試基板120的電連接。<關(guān)于老化測(cè)試設(shè)備的說(shuō)明>圖5為概略示出應(yīng)用了圖1的接觸裝置140的本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的老化測(cè)試設(shè)備100的結(jié)構(gòu)圖。如圖5所示，本實(shí)施例所提供的老化測(cè)試設(shè)備100包含板收容腔室110(與背景技術(shù)中說(shuō)明的老化腔室相同)、測(cè)試基板120、基板收容腔室130以及前述的圖1的接觸裝置140等。板收容腔室110用于收容測(cè)試板TB。測(cè)試基板120用于測(cè)試被裝載于板收容腔室110中所收容的測(cè)試板TB上的半導(dǎo)體元件。基板收容腔室130用于收容多個(gè)測(cè)試基板120。并且，接觸裝置140用于使收容于板收容腔室110中的多個(gè)測(cè)試板TB接觸收容于基板收容腔室130中的測(cè)試基板120，從而最終使多個(gè)半導(dǎo)體元件電連接于測(cè)試基板120。當(dāng)然，本實(shí)施例的老化測(cè)試設(shè)備100中最好應(yīng)用如前述的圖1的結(jié)構(gòu)的接觸裝置140。如上所述，雖然通過(guò)參照附圖的實(shí)施例進(jìn)行了對(duì)本發(fā)明的具體說(shuō)明，但上述的實(shí)施例僅僅是對(duì)本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例的描述，因此應(yīng)該知道，本發(fā)明并不局限于上述實(shí)施例，本發(fā)明的權(quán)利范圍應(yīng)該由后述的權(quán)利要求書及其等同概念來(lái)確定。