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老化測(cè)試設(shè)備用接觸裝置及老化測(cè)試設(shè)備的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):12038986

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本發(fā)明涉及在半導(dǎo)體封裝元件上接通電源而使其工作時(shí),用于測(cè)試半導(dǎo)體元件對(duì)熱應(yīng)力的可靠性的老化測(cè)試設(shè)備(Burn-InTester)。背景技術(shù)半導(dǎo)體元件被制造后會(huì)經(jīng)過各種測(cè)試,關(guān)于本發(fā)明的老化測(cè)試是向半導(dǎo)體元件接通電信號(hào)而使其工作時(shí),確認(rèn)半導(dǎo)體元件在何種程度上能抵抗熱應(yīng)力的測(cè)試。并且,實(shí)施這種老化測(cè)試的裝置即為老化測(cè)試設(shè)備。老化測(cè)試設(shè)備包含收容半導(dǎo)體元件的老化腔室、收容測(cè)試基板的測(cè)試腔室,其中,向收容在老化腔室的半導(dǎo)體元件接通測(cè)試信號(hào)之后,測(cè)試基板用于讀取反饋(Feedback)的結(jié)果信號(hào)。一般,為...
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