本發(fā)明涉及一種對基板進行照明、拍攝來對印刷在該基板上的焊料進行檢查的印刷焊料檢查裝置。

背景技術(shù)：
例如，在專利文獻1中公開了以下內(nèi)容：利用具有面陣相機(areacamera)、多層環(huán)狀照明以及圖像處理裝置的檢查裝置，能夠?qū)τ∷⒃诨迳系暮噶线M行二維(以下稱為2D)檢查。但是，焊料印刷是指通過設(shè)置在被稱為金屬掩模的薄的金屬板上的開口部將糊狀的焊料(膏狀焊料(creamsolder))轉(zhuǎn)印到基板的焊盤上的工序。因此，被印刷在基板上的膏狀焊料通常具有100μm～150μm左右的厚度。為了可靠地掌握這種厚度方向的轉(zhuǎn)印狀況，當(dāng)然需要三維(以下稱為3D)測量技術(shù)。然而，3D測量是計量測量對象的高度的技術(shù)，不是對構(gòu)成該高度的材料的差異進行識別，因此具有難以檢測膏狀焊料薄薄地擴散在焊盤上的被稱為“模糊”的印刷不良這種限制。另一方面，2D測量是通過照明色和照明的照射方向的優(yōu)化來以亮度的差異、顏色的差異、表面狀態(tài)的差異對膏狀焊料與焊盤或者膏狀焊料與基板面進行識別的方法，具有能夠抽出薄薄地擴散在焊盤上的膏狀焊料這樣的針對3D測量的補充性。在專利文獻2中公開了以下內(nèi)容：利用具有面陣相機、多層環(huán)狀照明、狹縫光照明以及圖像處理裝置的檢查裝置，能夠?qū)τ∷⒃诨迳系暮噶线M行2D或3D檢查。另外，在專利文獻3中公開了以下內(nèi)容：從斜方向照射狹縫光，由設(shè)置在正上方的攝像裝置拍攝因基板的凹凸而產(chǎn)生的狹縫光軌跡的凹凸信息，由此能夠?qū)τ∷⒃诨迳系暮噶线M行3D檢查。專利文獻1：日本特開2003-224353號公報專利文獻2：日本特開2004-317126號公報專利文獻3：日本特開2005-207918號公報

技術(shù)實現(xiàn)要素：
發(fā)明要解決的問題在上述的專利文獻2、3所記載的印刷焊料檢查裝置中，通過在一個光學(xué)系統(tǒng)中安裝2D檢查用的多層環(huán)狀照明和3D檢查用的狹縫照明，能夠?qū)嵤?D檢查和3D檢查這兩方。然而，3D檢查是在照射狹縫光的同時連續(xù)掃描檢查對象來進行拍攝的方式，相對于該方式，2D檢查是照射多層環(huán)狀照明并拍攝靜止?fàn)顟B(tài)的檢查對象的方式，由于其動作不同，因此很難同時執(zhí)行。因此，即使采用共用光學(xué)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)也不得不單獨地實施3D檢查和2D檢查，在實施2D檢查和3D檢查這兩方的情況下，具有必須對作為檢查對象的基板進行兩次檢查這樣的檢查時間方面的問題點。因此，例如本案申請人提出了如下一種結(jié)構(gòu)的印刷焊料檢查裝置(參照日本特開2009-36736號公報)：如圖15的3D用的照明11a和11b、2D用的照明21a和21b、31a和31b、41a和41b那樣從兩個方向彼此相對地進行照射，并且各個照明光的長軸方向的中心被配置成使攝像用透鏡60和攝像機50的光軸通過一條直線。從這兩個方向照射的目的在于如圖16所示那樣通過進行掃描來照射作為照射對象物的焊料A的整周。然而，嚴(yán)格地說，在只從這兩個方向照射的情況下，在焊料A等立體物處產(chǎn)生死角或者照度降至難以進行拍攝的明亮度的位置，產(chǎn)生攝像圖像的缺失，產(chǎn)生拍攝不出焊料的正確形狀的情況。即，如圖17所示，關(guān)于狹縫照明下的焊料照射狀態(tài)，在狹縫照明短軸方向上通過使成為相對的一對的線照明進行掃描，能夠在掃描方向上對前后全部進行照射。作為狹縫光的結(jié)構(gòu)，在長軸方向上從寬度短于照射寬度的光源照射照射光，因此照射光產(chǎn)生擴展角度，在焊料A等立體物處，在狹縫照明的長軸方向上產(chǎn)生死角或者照度降至難以進行拍攝的明亮度的位置(除了圖示粗線部分B以外的部分(靠近焊料A的底面的部分))，發(fā)生攝像圖像的缺失，有時拍攝不出焊料的正確形狀。也包括由于直接反射的飽和而顏色信息等消失的問題。另外，該現(xiàn)象在如長方形、橢圓形等那樣縱橫比不同、具有直線或接近直線的長邊的焊料等立體物中顯著，存在根據(jù)焊料基板的基板角度不同而檢測出的面積不同的情況。具體地說，在以如圖18那樣的焊料基板為例的情況下，在圖18的(A)的基板角度旋轉(zhuǎn)0度和圖18的(B)的基板角度旋轉(zhuǎn)90度時檢測出的面積是不同的。這是因為圖18的(A)的照射光L的長度方向中心軸a1和焊料A的長方形、橢圓形等的寬度方向的中心軸a2平行的情況與圖18的(B)的照射光L的長度方向中心軸a1和焊料A的長方形、橢圓形等的寬度方向中心軸a2正交的情況相比，明亮度下降的位置(圖示粗線部分b1)變得非常長。此外，圖示的點部分b2是點。另外，針對焊料印刷檢查裝置要求檢查節(jié)拍的高速化。該檢查節(jié)拍中的從攝像機向數(shù)據(jù)處理裝置傳輸數(shù)據(jù)所花費的時間由攝像機50的受光元件70的像素數(shù)(數(shù)據(jù)傳輸量)決定。即，如圖19所示，對于當(dāng)前的2D和3D同時攝像中使用的攝像機50的攝像元件70的攝像區(qū)域的配置，在2D檢查中為紅(Red)、綠(Green)、藍(lán)(Blue)三原色(RGB)照明用各一條線(合計三條線)71R、71G、71B，在3D檢查中為后側(cè)、前側(cè)用各40條線(合計80條線)72、73。在2D檢查的RGB的照明用的攝像區(qū)域中，由于取入影像圖像，因此能夠通過一條線拍攝，但是在3D檢查用的攝像區(qū)域中，為了通過光切斷法計量高度，需要照射到攝像區(qū)域的橫穿攝像區(qū)域的長軸方向的線照明光的、沿短軸方向的連續(xù)位移量的數(shù)據(jù)，因此需要40條線的寬度。由此，與2D檢查用的攝像區(qū)域相比數(shù)據(jù)傳輸量大幅增加。另外，以往很難對形成于基板上的膜或?qū)舆M行位置管理和厚度管理，因此無法對形成于基板上的膜或?qū)舆M行充分的管理。本發(fā)明是鑒于如上所述的問題而完成的，其目的在于提供一種能夠消除焊料的攝像圖像的缺失的印刷焊料檢查裝置。另外，其目的在于提供一種能夠削減攝像圖像的數(shù)據(jù)傳輸量的印刷焊料檢查裝置。用于解決問題的方案為了達(dá)到上述目的，在本發(fā)明的印刷焊料檢查裝置中，對基板進行照明、拍攝來對印刷在上述基板上的焊料進行檢查，該印刷焊料檢查裝置的特征在于，攝像元件以相對于掃描方向的垂線所形成的角超過0度且小于90度的方式傾斜，以使該攝像元件的攝像區(qū)域的長度方向與狹縫照明光的長度方向平行的方式照射并進行掃描，將此時的角度設(shè)定為存在率低或不存在的長方形、橢圓形等的上述焊料的旋轉(zhuǎn)角度。由此，能夠不使照射光的長度方向中心軸與焊料的寬度方向中心軸平行，防止產(chǎn)生明亮度下降的場所變得非常長的現(xiàn)象，還能夠進行飽和部的缺失圖像的插值。另外，特征在于，二維和三維同時攝像用光學(xué)系統(tǒng)的攝像區(qū)域和狹縫照明群使用兩種方式，在相對于與攝像元件的操作方向正交的方向的中心傾斜成如下角度、即能夠?qū)x予了傾斜的第一方式的攝像區(qū)域的明亮度下降的位置、由于飽和而使顏色信息等消失的部分進行拍攝的角度的第二方式的攝像區(qū)域進行攝像、掃描，對獲取到的圖像數(shù)據(jù)進行合計，由此通過一次掃描得到實質(zhì)照射上述焊料的整周時的攝像數(shù)據(jù)。以往，在面陣相機的從四個方向進行照射的照射技術(shù)的情況下，需要時間差來對四個照明進行切換，切換時間被加在了檢查節(jié)拍中。另外，照明切換所引起的以視場為單位的步進動作成為向?qū)θ缢幤菢尤绻贿B續(xù)拍攝則生產(chǎn)節(jié)拍來不及的對象進行檢查轉(zhuǎn)用的障礙。與此相對地，本發(fā)明的照明是始終能夠點亮而連續(xù)的線掃描方式，因此也容易向藥片檢查轉(zhuǎn)用。另外，特征在于，狹縫照明相對于攝像透鏡的光軸向外側(cè)傾斜。由此，能夠提高焊料的側(cè)面的反射強度。另外，特征在于，在三維檢查部中采用利用移相法的高度測量。由此，與以往相比能夠大幅地削減數(shù)據(jù)傳輸量，能夠縮短檢查節(jié)拍。另外，特征在于，通過來自相對的兩個方向的相位狹縫照明對不同的兩處攝像區(qū)域進行照射，由此通過一次的攝像動作對整周進行3D檢查，同時獲取RGB圖像并對它們進行合計來獲取實質(zhì)彩色圖像。還包括用彩色圖像進行2D檢查(包括定位處理)、檢查信息的彩色顯示的情形。另外，特征在于，二維和三維同時攝像用光學(xué)系統(tǒng)的攝像區(qū)域和狹縫照明群使用兩種方式，一方進行紅色～紅外線的長波長光的照明，另一方進行紫外線～藍(lán)色的短波長光的照明，由此在2D圖像中預(yù)先確定形成于基板上的膜或?qū)拥奈恢?，通過一方的照明計量膜或?qū)拥南聦拥母叨?，以該高度為高度的基?zhǔn)，通過另一方的照明計量膜或?qū)拥纳媳砻娴母叨?，來測量膜或?qū)拥暮穸取Ｓ纱?，能夠進行形成于基板上的膜或?qū)拥奈恢霉芾砗秃穸裙芾?。附圖說明圖1是表示本發(fā)明的一個實施方式所涉及的印刷焊料檢查裝置的攝像元件的圖。圖2是表示圖1的印刷焊料檢查裝置的狹縫照明的立體圖。圖3是表示狹縫照明的作用的第一圖。圖4是表示狹縫照明的作用的第二圖。圖5是表示狹縫照明的作用的第三圖。圖6是表示另一狹縫照明的作用的第一圖。圖7是表示另一狹縫照明的作用的第二圖。圖8是表示另一狹縫照明的作用的圖。圖9是表示攝像元件的另一例的圖。圖10是表示攝像元件的另一例的圖。圖11是表示圖1的印刷焊料檢查裝置的另一狹縫照明的圖。圖12是表示圖1的印刷焊料檢查裝置的另一狹縫照明的圖。圖13是表示對攝像元件進行了高速數(shù)據(jù)處理化的例子的圖。圖14是表示抗蝕劑高度的測量的圖。圖15是能夠應(yīng)用于本發(fā)明的以往的印刷焊料檢查裝置的立體圖。圖16是表示以往的問題點的第一圖。圖17是表示以往的問題點的第二圖。圖18是表示以往的問題點的第三圖。圖19是表示以往的攝像元件的圖。具體實施方式參照附圖說明本發(fā)明的實施方式。此外，下面說明的實施方式并不是用于限定權(quán)利要求書要求保護的發(fā)明，另外，在實施方式中說明的特征的所有組合在發(fā)明的解決方案中不一定是必須的。(1)方法1如圖1所示，使攝像元件70以相對于掃描方向的垂線所形成的角θ“超過0度且小于90度”的方式傾斜。通過將此時的角度θ設(shè)定為存在率低或不存在的長方形、橢圓形等的焊料的旋轉(zhuǎn)角度，即使在實際使用上使焊料以攝像系統(tǒng)的光軸為軸旋轉(zhuǎn)，也能夠得到等同于旋轉(zhuǎn)之前的攝像圖像。方法1通過如圖2所示那樣將狹縫照明L1、L2的長軸方向的照射設(shè)為兩個方向，來減少長軸方向的攝像的明亮度下降的位置。其結(jié)果，能夠得到高精度的檢查結(jié)果，并且即使使焊料以攝像系統(tǒng)的光軸為軸旋轉(zhuǎn)，也能夠得到等同于旋轉(zhuǎn)之前的攝像圖像。方法1對于如長方形、橢圓形等那樣縱橫比不同且具有直線或接近直線的長邊的焊料等立體物特別有效。具體地說，假設(shè)在圖18所示的焊料A中旋轉(zhuǎn)了45度的焊料占多數(shù)的情況下，如果將圖2的照明與攝像元件的旋轉(zhuǎn)角度(所形成的角)設(shè)為45度，則產(chǎn)生圖18的問題。假設(shè)作為焊料A，旋轉(zhuǎn)30度、旋轉(zhuǎn)45度、無旋轉(zhuǎn)這三種存在較多的情況下，如果將圖1的攝像元件70的旋轉(zhuǎn)角度θ設(shè)為20度，則變得與焊料A的寬度方向中心軸不平行，因此不會產(chǎn)生明亮度下降的位置變得非常長的現(xiàn)象。由于照明是以攝像元件70的攝像區(qū)域的長度方向與照明的長度方向平行的方式進行照射，因此當(dāng)將圖1的攝像元件70的旋轉(zhuǎn)角度θ設(shè)定為存在率低或不存在的角度時，與焊料A的寬度方向中心軸不平行。以照明光L1的長軸方向與圖1的陰影部71R、71G、71B的2D攝像區(qū)域的第一方式的長軸方向平行的方式照射2D照明的一方側(cè)。以照明光L2的長軸方向與陰影部71R、71G、71B的2D攝像區(qū)域的第二方式的長軸方向平行的方式照射2D照明的相反側(cè)。陰影部的2D攝像區(qū)域的第一方式和第二方式為平行關(guān)系。因而，2D照明光的一方側(cè)、相反側(cè)以及攝像區(qū)域的第一方式和第二方式都是平行關(guān)系。在圖2中，相對的一對照明是照明的一種方式。另外，僅對2D攝像區(qū)域準(zhǔn)備兩種方式、對照明準(zhǔn)備一種方式，在一方側(cè)獲取來自后方(此時為斜后方)的照射圖像、在相反側(cè)獲取來自前方(此時為斜前方)的照射圖像，由此不僅能夠如圖3那樣對明亮度下降的位置c1、c2進行插值，還能夠?qū)︼柡筒縟1、d2的缺失圖像進行插值。從圖3可知，為了對飽和部d1、d2的缺失圖像進行插值，需要在一方側(cè)和相反側(cè)分別拍攝圖像，其結(jié)果是攝像區(qū)域需要兩種方式。關(guān)于3D攝像，由于是攝像區(qū)域兩處(一種方式)和照明一種方式，因此本來就能夠在一方側(cè)獲取來自后方(此時為斜后方)的照射圖像、在相反側(cè)獲取來自前方(此時為斜前方)的照射圖像。詳細(xì)說明方法1的結(jié)構(gòu)。與狹縫照射光的長度方向中心軸平行的部分為明亮度下降的位置。其理由是如圖4那樣狹縫照明光僅存在長度方向中心軸方向的光La(與平行于照射對象的寬度方向中心軸a2的面不相交(不進行照射))、朝向長軸方向的外側(cè)的光Lb(與平行于照射對象的寬度方向中心軸a2的面不相交(不進行照射))以及在短軸方向上擴展的光Lc(與平行于照射對象的寬度方向中心軸a2的面不相交(不進行照射))的成分。因而，雖然進行掃描，但是不存在與狹縫照射光的長度方向中心軸平行的、具有朝向與焊料A的寬度方向中心軸平行的面這種朝向的光，因此成為明亮度下降的位置。在圖5、圖6的照射方式的情況下，按照之前記述過的狹縫照明光的性質(zhì)，存在長度方向中心軸方向的光La、朝向長軸方向的外側(cè)的光Lb以及在短軸方向上擴展的光Lc。如圖5、圖6那樣，狹縫照明光的長度方向中心軸方向的光La和在短軸方向上擴展的光Lc與焊料A的左側(cè)的面相交(進行照射)。由于如圖2那樣對照明進行配置，因此相反側(cè)的狹縫照明光的長度方向中心軸方向的光La和在短軸方向上擴展的光Lc與焊料A的右側(cè)的面相交(進行照射)。另外，通過掃描，一方側(cè)能夠照射焊料A的比中心靠左的左半部分，在相反側(cè)能夠照射焊料A的比中心靠右的右側(cè)，形成實質(zhì)上能夠遍及全周進行拍攝的明亮度的焊料圖像。針對基板旋轉(zhuǎn)時明亮度下降的位置，能夠如圖7那樣在狹縫照明的一方側(cè)和另一方側(cè)獲取基板旋轉(zhuǎn)時明亮度下降的位置c3的位置不同的圖像，因此通過在一方側(cè)的圖像和另一方側(cè)的圖像中相互進行插值，能夠使基板旋轉(zhuǎn)時明亮度下降的位置減少到不對檢查結(jié)果帶來影響的程度。與此相對地，明亮度下降的位置c1、c2變長。如圖6那樣，在短軸方向擴展的光Lc由于存在于整個長度方向上，因此即使焊料A處于遠(yuǎn)離長度方向中心軸的位置處，也能夠獲得與長度側(cè)中心軸相同的效果。(2)方法2方法2與形狀無關(guān)，對于所有形狀的焊料等立體物都是有效的。在方法2中，狹縫照明使用兩種方式。利用以明亮度在與第一方式的狹縫照明L1、L2的明亮度下降的地方不同的位置處下降那樣的角度傾斜的第二方式的狹縫照明L1、L2進行照射并拍攝。通過對它們所得到的圖像數(shù)據(jù)進行合計，能夠以更穩(wěn)定的明亮度拍攝各狹縫照明L1、L2產(chǎn)生的小的明亮度下降位置c3，對因飽和產(chǎn)生的顏色信息的消失位置d1、d2相互進行插值，能夠得到實質(zhì)上照射了整周的攝像圖像(參照圖8)。作為在實現(xiàn)上述方法2時需要的對現(xiàn)在的2D/3D同時攝像焊料印刷檢查裝置的改造內(nèi)容，需要變更攝像機的FPG程序等來在攝像元件70中以如圖9那樣的使2D/3D同時攝像的攝像區(qū)域71R、71G、71B、72、73傾斜的狀態(tài)制作出兩種方式。另外，在2D/3D同時攝像中使用的狹縫照明也同樣地使用兩種方式，使攝像區(qū)域71R、71G、71B、72、73的長軸方向的中心與狹縫照明光的長軸方向的中心平行且狹縫照明光對攝像區(qū)域進行照射。將第一方式的攝像區(qū)域71R、71G、71B、72、73的傾斜設(shè)為相對于攝像元件70的Y軸中心形成的角θ“超過0度且小于90度”，將第二方式的攝像區(qū)域71R、71G、71B、72、73設(shè)置成能夠拍攝第一方式的攝像圖像的死角的角度。此外，如圖8所說明的那樣，能夠?qū)σ蝻柡彤a(chǎn)生的顏色信息的消失位置d1、d2進行相互插值，因此如圖9所示那樣在各個陰影部中2D攝像區(qū)域71R、71G、71B只要使用一種方式即可。此外，以如圖9那樣的攝像元件70的朝向確保傾斜的攝像區(qū)域71R、71G、71B、72、73是需要設(shè)計攝像元件70的，因此作為替代方案，如圖10那樣將兩個攝像元件70安裝在一個攝像機50中，能夠?qū)崿F(xiàn)方法2的攝像區(qū)域71R、71G、71B、72、73的配置。(3)方法3方法3與形狀無關(guān)，對于所有形狀的焊料A等立體物都是有效的。作為方法3，使相對的一種方式的狹縫照明L1、L2的長度方向中心軸在a側(cè)和b側(cè)錯開為以攝像透鏡光軸LA為軸線對稱，由此以照射的擴展角，在a側(cè)照射左邊，在b側(cè)照射右邊，從而能夠消除長軸方向的照射死角(參照圖11)。此時，狹縫照明光L1、L2使a側(cè)的長度方向中心軸出現(xiàn)在攝像區(qū)域的左端，使b側(cè)的長度方向中心軸出現(xiàn)在攝像區(qū)域的右端。即，需要各狹縫照明光L1、L2的有效線長是攝像區(qū)域的兩倍以上的長度。另外，通過使該光軸錯開的同時如圖12那樣使a、b側(cè)兩方的狹縫照明相對于攝像透鏡光軸LA向外側(cè)傾斜，能夠提高焊料A的側(cè)面的反射強度。另外，通過采用在RGB中使照射角度一致而如實地再現(xiàn)焊料A的顏色、同時使用色相數(shù)據(jù)和亮暗的圖像識別，能夠防止因照度不均引起的亮暗而對圖像進行錯誤判斷。(4)移相法通過將3D檢查的高度測量的方法變更為攝像區(qū)域為四條線即可的移相法(參照日本特開2003-121115號公報)，與現(xiàn)在的方式相比大幅地削減數(shù)據(jù)傳輸量(參照圖13)。作為在實現(xiàn)上述方法時所需的對現(xiàn)在的2D/3D同時攝像焊料印刷檢查裝置的改造內(nèi)容，變更攝像機的FPG程序等，為3D-1、3D-2制作出各四條線的攝像區(qū)域72、73。另外，需要將圖15的狹縫照明10a、10b置換為相位狹縫照明。通過上述方法，相位狹縫照明的照射位置分別照射不同的攝像區(qū)域，因此能夠進行來自相對的兩個方向的照射，能夠通過一次的攝像動作對整周進行3D檢查。(5)形成于基板上的膜或?qū)拥母叨鹊臏y量記載了如下特性(參照專利第3878165號公報)：在3D計量用照明中，“紅色～紅外線的長波長光透過抗蝕劑”、“紫外線～藍(lán)色的短波長光不透過抗蝕劑”。根據(jù)該特性，通過將圖15的狹縫照明11a設(shè)為紅色～紅外線的長波長光的照明、將狹縫照明11b設(shè)為紫外線～藍(lán)色的短波長光的照明，來在2D圖像上預(yù)先確定抗蝕劑層R的位置。攝像本身也能夠與3D圖像獲取同時進行。即，在同一攝像元件中設(shè)置有2D用、3D用的攝像區(qū)域，在進行掃描的同時以2D用和3D用一對一的方式獲取圖像數(shù)據(jù)，因此通過一次的掃描動作能夠獲取2D用、3D用的圖像數(shù)據(jù)，在確定抗蝕劑層R的位置的專門處理中不需要另外獲取圖像的動作。通過狹縫照明11a計量抗蝕劑層R的下層R1的高度，以該高度為高度的基準(zhǔn)(高度為0)，通過狹縫照明11b計量抗蝕劑層R的上表面R2的高度，從而能夠測量出抗蝕劑層R的厚度Rh(參照圖14)。該情況通過對本來以基板的絕緣處理為目的的抗蝕劑進行位置管理和厚度管理，能夠進行對基板的抗蝕劑開口部的生產(chǎn)的反饋和用于使基板的抗蝕劑部的絕緣性能穩(wěn)定的管理。抗蝕劑層的高度測量的具體過程1.事先決定紅色～紅外線的長波長光在攝像對象的高度為0時的照射位置。關(guān)于位置的決定方式，以攝像透鏡聚焦在與攝像面平行的平面(以后稱為裝配基準(zhǔn)面)上的地方為基準(zhǔn)裝配光學(xué)系統(tǒng)。準(zhǔn)備如陶瓷板等那樣的平坦的板，將其上表面設(shè)置成相對于裝配基準(zhǔn)面的高度為0。在該狀態(tài)下對平坦的板進行照射時，例如設(shè)置成11a的線照射攝像圖像的第212個像素。另外，設(shè)置成11b照射第812個像素。由此，當(dāng)攝像對象的高度變化時，例如11a的照射位置移動到第204個像素、11b的照射位置移動到第820個像素。根據(jù)照射角度和每一像素的距離，基于照射位置的移動量能夠測量高度。紅色～紅外線的光源和紫外線～藍(lán)色的光源是照射各自的波長的光源，使用白色那樣的由多個波長構(gòu)成的光源的光，利用濾波器僅使紅色～紅外線或紫外線～藍(lán)色透過進行照射?；蛘?，也能夠是在攝像機側(cè)利用濾波器僅使紅色～紅外線或紫外線～藍(lán)色的波長透過并接收的方法。2.事先決定紫外線～藍(lán)色的短波長光在攝像對象的高度為0時的照射位置。3.在之前計算出的抗蝕劑層的位置，根據(jù)紅色～紅外線的長波長光的位置移動量計算高度。例如是40μm。4.在之前計算出的抗蝕劑層的位置，根據(jù)紫外線～藍(lán)色的短波長光的位置移動量計算高度。例如是100μm。5.在紅色～紅外線的長波長光中，測量出40μm的高度，因此該基板在該地點凸起40μm，因此從紫外線～藍(lán)色的短波長光的高度100μm中減去40μm，可知抗蝕劑的厚度為60μm。上述的形成于基板上的膜或?qū)拥母叨鹊臏y量技術(shù)不僅僅是對涂布在電子基板上的抗蝕劑層，只要是由不使紫外線～藍(lán)色透過而使紅色～紅外線透過的材質(zhì)構(gòu)成的膜或?qū)?，就能夠同樣地測量該膜或?qū)拥暮穸?。作為例子，存在以剛性強化和防濕等保護基板為目的對回流焊后的完成基板施加透明或半透明的涂敷層的情況。通過將裝載有本技術(shù)的裝置設(shè)置在電子基板生產(chǎn)工序的涂敷工序的下游，除了上述涂敷層的二維的有無、涂抹不均之外，由于進行以厚度測量為基礎(chǔ)的檢查，因此還能夠進行厚度的不均或涂敷層的灰塵掩埋、厚度的管理。在本例的情況下，測量出的厚度為抗蝕劑層和涂敷層相加的厚度，因此在需要僅對涂敷層進行厚度管理的情況下，需要獲取前工序(例如裝載有本技術(shù)的印刷焊料檢查裝置)的抗蝕劑層的厚度信息，將從測量出的厚度中減去抗蝕劑層的厚度得到的值設(shè)為涂敷層的厚度。其中，回流焊后的涂敷層的涂布狀況的管理很重要的部分是將芯片的肋部分等的抗蝕劑切下而得到的開口部，因此如果只是該部分的涂敷層的厚度測量，則不需要前工序的抗蝕劑層的厚度的信息。如以上那樣，形成于基板上的膜或?qū)拥母叨鹊臏y量技術(shù)能夠?qū)τ刹皇棺贤饩€～藍(lán)色透過而使紅色～紅外線透過的材質(zhì)構(gòu)成的膜或?qū)拥暮穸冗M行測量。附圖標(biāo)記說明L1、L2：狹縫照明；50：攝像機；60：透鏡；70：攝像元件。