專(zhuān)利名稱(chēng)：金相組織電解液、鉬的腐蝕方法及其金相組織顯示方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及金相組織電解液、鉬或鉬合金的腐蝕方法及其金相組織的顯示方法。
背景技術(shù)：
金屬材料的內(nèi)部組織結(jié)構(gòu)與硬度、強(qiáng)度、延展性等材料性能有著直接和密切的聯(lián)系，而金相觀察則是研究金屬材料內(nèi)部組織結(jié)構(gòu)最為直接有效的方法。采用定量金相學(xué)原理，由二維金相試樣磨面或薄膜的金相顯微組織的測(cè)量和計(jì)算來(lái)確定試樣的金相組織的三維空間形貌，從而建立組成成分、組織和性能間的定量關(guān)系。金相是指金屬或合金的化學(xué)成分以及各種成分在金屬或合金內(nèi)部的物理狀態(tài)和化學(xué)狀態(tài)。要進(jìn)行金相觀察首先要使金屬的晶界組織顯示出來(lái)，然后用金相顯微鏡觀察金屬的金相組織。晶界是結(jié)構(gòu)相同而取向不同晶體之間的界面，也就是晶粒與晶粒之間的接觸面。在晶界面上，原子排列從一個(gè)取向過(guò)渡到另一個(gè)取向，故晶界處的原子排列處于過(guò)渡狀態(tài)。以用作靶材的鉬或鉬合金的金相觀察為例，在現(xiàn)有技術(shù)中，一般的方法為從鉬或鉬合金靶材中切取一部分作為試樣；對(duì)所述試樣作表面化處理，去除表面的氧化物；將所述試樣置于由硝酸和氫氟酸構(gòu)成的浸蝕液中進(jìn)行腐蝕處理；取出所述試樣，清洗并烘干，利用金相顯微鏡對(duì)所述試樣的金相組織進(jìn)行觀察。另外，有關(guān)金屬或其合金金相組織的顯示方法，可以參閱公開(kāi)號(hào)CN101736343A的中國(guó)專(zhuān)利申請(qǐng)文件的相關(guān)技術(shù)內(nèi)容。若采用的是含硝酸和氫氟酸的混合液對(duì)所述鉬或鉬合金的試樣進(jìn)行腐蝕處理，則鉬或鉬合金進(jìn)行腐蝕速度太快，腐蝕時(shí)間難以控制，成功率較低，晶界顯示效果差強(qiáng)人意， 遠(yuǎn)遠(yuǎn)不能滿(mǎn)足工業(yè)生產(chǎn)要求，且含氫氟酸和硝酸的混合液強(qiáng)氧化性、強(qiáng)腐蝕性對(duì)環(huán)境和人身存在很大的安全隱患。因此，如何對(duì)鉬或鉬合金靶材進(jìn)行腐蝕，如何選擇合適的腐蝕液，使得鉬或鉬合金的腐蝕效果和晶界顯示效果良好，并且能夠減小金相組織電解液的安全隱患就顯得十分必要。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明解決的問(wèn)題是提供一種金相組織電解液、鉬或鉬合金的腐蝕方法及其金相組織的顯示方法，以提高鉬或鉬合金金相組織的晶界顯示效果和減小金相組織電解液的安
^^^ 急 ^^ ο為解決上述問(wèn)題，本發(fā)明實(shí)施例提供一種金相組織電解液，所述金相組織電解液為乙醇、正丁醇、高氯酸和水的混合溶液。可選的，所述金相組織電解液中乙醇、正丁醇、高氯酸和水的體積比為 66 11 33 (10 14)。為解決上述問(wèn)題，本發(fā)明實(shí)施例還提供一種鉬或鉬合金的腐蝕方法，包括提供鉬或鉬合金靶材；
將所述鉬或鉬合金靶材在金相組織電解液中進(jìn)行電解拋光，所述金相組織電解液為乙醇、正丁醇、高氯酸和水的混合溶液?？蛇x的，所述金相組織電解液中乙醇、正丁醇、高氯酸和水的體積比為 66 11 33 (10 14)?？蛇x的，所述電解拋光的時(shí)間為如 8s?？蛇x的，所述電解拋光的電壓為23V 30V。為解決上述問(wèn)題，本發(fā)明實(shí)施例還提供一種鉬或鉬合金金相組織的顯示方法，包括提供鉬或鉬合金靶材；對(duì)所述鉬或鉬合金靶材進(jìn)行打磨；對(duì)打磨后的鉬或鉬合金靶材進(jìn)行機(jī)械拋光；將機(jī)械拋光后的鉬或鉬合金靶材在金相組織電解液中進(jìn)行電解拋光，所述金相組織電解液為乙醇、正丁醇、高氯酸和水的混合溶液?？蛇x的，所述金相組織電解液中乙醇、正丁醇、高氯酸和水的體積比為 66 11 33 (10 14)。可選的，所述電解拋光的時(shí)間為如 8s?？蛇x的，所述電解拋光的電壓為23V 30V?？蛇x的，所述機(jī)械拋光過(guò)程中使用金剛石研磨膏對(duì)所述鉬或鉬合金靶材進(jìn)行機(jī)械拋光。可選的，所述機(jī)械拋光的潤(rùn)濕劑為無(wú)水乙醇。可選的，所述機(jī)械拋光的砂輪機(jī)轉(zhuǎn)速為400r/min 600r/min?？蛇x的，所述機(jī)械拋光的時(shí)間為aiiin ;3min。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明中的實(shí)施例中采用乙醇、正丁醇、高氯酸和水的混合溶液為金相組織電解液，鉬或鉬合金在此金相組織電解液中電解拋光后有良好的腐蝕效果和顯示效果，上述方法相對(duì)于現(xiàn)有的氫氟酸和硝酸作為腐蝕劑對(duì)鉬或鉬合金靶材進(jìn)行化學(xué)腐蝕的方法，對(duì)作業(yè)人員的健康危害和環(huán)境污染較小。


圖1是本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例鉬或鉬合金的腐蝕方法的流程示意圖；圖2是本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例鉬或鉬合金金相組織的顯示方法的流程示意圖；圖3是本發(fā)明的另一實(shí)施例鉬或鉬合金金相組織的顯示方法的流程示意圖。
具體實(shí)施例方式本發(fā)明首先提供一個(gè)金相組織電解液的一個(gè)實(shí)施例，上述金相組織電解液為乙醇、正丁醇、高氯酸和水的混合溶液，所述金相組織電解液中乙醇、正丁醇、高氯酸和水的體積比為66 11 33 (10 14)，所述乙醇的質(zhì)量百分比濃度為99.7% ；所述正丁醇的質(zhì)量百分比濃度為96% ；所述高氯酸的質(zhì)量百分比為68% 72%。鉬或鉬合金在此金相組織電解液中電解拋光后有良好的腐蝕效果，鉬或鉬合金的金相組織的晶界顯示效果也良好，并且上述金相組織電解液對(duì)作業(yè)人員的健康危害和環(huán)境污染也較小。
4
金屬和合金都是多晶體，也就是說(shuō)，它們都由晶粒組成。使用金相組織電解液對(duì)金屬和合金進(jìn)行腐蝕，可以使金屬和合金晶粒的晶界顯現(xiàn)出來(lái)。本發(fā)明還提供一個(gè)鉬或鉬合金的腐蝕方法的實(shí)施例如圖1所示，包括步驟Sl 1，提供鉬或鉬合金靶材；步驟S12，將所述鉬或鉬合金靶材在金相組織電解液中進(jìn)行電解拋光，所述金相組織電解液為乙醇、正丁醇、高氯酸和水的混合溶液。所述金相組織電解液中乙醇、正丁醇、高氯酸和水的體積比為 66 11 33 (10 14)，所述乙醇的質(zhì)量百分比濃度為99.7% ；所述正丁醇的質(zhì)量百分比濃度為96% ；所述高氯酸的質(zhì)量百分比濃度為68% 72%，電解拋光的時(shí)間為如 8s,電解拋光的電壓為23V 30V。具體的操作過(guò)程可以參考本發(fā)明下面的鉬或鉬合金金相組織的顯示方法中的實(shí)施例的腐蝕步驟。對(duì)金屬或合金進(jìn)行金相觀察是分析樣本的微觀結(jié)構(gòu)，其主要是通過(guò)金相顯微鏡觀察金屬或合金樣本來(lái)研究其組織結(jié)構(gòu)，例如晶粒的大小、形狀和取向等。在實(shí)際工業(yè)應(yīng)用中，對(duì)金屬或合金進(jìn)行金相觀察前，需要先對(duì)金屬或合金樣本進(jìn)行打磨、拋光和腐蝕處理，以使其金相組織即晶界能清楚顯示出來(lái)。本發(fā)明實(shí)施例的鉬或鉬合金金相組織的顯示方法如圖2所示，包括步驟S21，提供鉬或鉬合金靶材；步驟S22，從所述靶材中切取一部分作為試樣；步驟S23，對(duì)所述鉬或鉬合金試樣進(jìn)行打磨；步驟S24，對(duì)打磨后的鉬或鉬合金試樣進(jìn)行機(jī)械拋光；步驟S25，將機(jī)械拋光后的鉬或鉬合金試樣在金相組織電解液中進(jìn)行電解拋光，所述金相組織電解液為乙醇、正丁醇、高氯酸和水的混合溶液；步驟S^，清洗所述試樣；步驟S27，利用金相顯微鏡對(duì)所述試樣進(jìn)行觀察。下面以6N鉬或鉬合金金相組織的顯示方法為例，結(jié)合附圖2對(duì)上述本發(fā)明的實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明首先執(zhí)行步驟S21，提供鉬或鉬合金靶材。本實(shí)施例中，所述靶材的材料可以是純度為99. 9%或以上的鉬或鉬合金。例如為 3N5 (99. 95% )、4Ν5(99· 995% ) ^ 5Ν(99. 999% )。所述靶材的形狀可以根據(jù)應(yīng)用環(huán)境、濺射設(shè)備的實(shí)際要求，例如為矩形、圓形、環(huán)形、圓錐形或其他類(lèi)似形狀(包括規(guī)則形狀和不規(guī)則形狀)中的任一種。接著執(zhí)行步驟S22，從所述靶材中切取一部分作為試樣。在本實(shí)施例中，可以采用例如手鋸、鋸床或切割機(jī)床等方式從靶材中切取一部分作為試樣。所述試樣的尺寸面積為100mm2，厚度為10mm。另外，無(wú)論采用何種切取方法，均應(yīng)注意所述試樣的溫度條件，必要時(shí)用水冷卻，以避免所述試樣因過(guò)熱而改變其金相組織。接著執(zhí)行步驟S23，對(duì)所述鉬或鉬合金試樣進(jìn)行打磨。對(duì)鉬或鉬合金試樣進(jìn)行打磨的目的是去除鉬或鉬合金試樣表面的氧化層，使需要進(jìn)行金相觀察的鉬或鉬合金試樣表面平整光亮，以保證后續(xù)的腐蝕效果。
本實(shí)施例中，對(duì)鉬或鉬合金試樣進(jìn)行打磨主要是用由粗到細(xì)的水性砂紙依次對(duì)所述鉬或鉬合金試樣進(jìn)行打磨，打磨時(shí)以水做潤(rùn)濕劑。對(duì)所述靶材進(jìn)行打磨處理。所述打磨處理具體包括以水作為潤(rùn)濕劑，首先使用粗砂紙(本實(shí)施例為400#水性砂紙)打磨鉬或鉬合金試樣的表面(需要觀察的表面)，打磨時(shí)間一般可以為5min IOmin ；然后使用略粗的砂紙(本實(shí)施例為800#水性砂紙)打磨鉬或鉬合金試樣的表面(需要觀察的表面)，打磨時(shí)間一般可以為5min IOmin ；最后使用細(xì)砂紙(本實(shí)施例為1500#水性砂紙)繼續(xù)打磨鉬或鉬合金試樣的表面(需要觀察的表面)，打磨時(shí)間一般可以為5min lOmin，這樣可以得到平整光亮的磨面。在打磨時(shí)，水性砂紙由砂輪機(jī)帶動(dòng)，砂輪機(jī)上方有水不停地流到砂紙上進(jìn)行潤(rùn)濕， 按住鉬或鉬合金試樣(以需要進(jìn)行觀察的表面朝向砂紙)在砂紙上磨。每次換砂紙后將所述靶材轉(zhuǎn)動(dòng)90度，直到把上一道工序的劃痕磨掉，新的劃痕方向一致，且每次換砂紙前須用水將所述靶材清洗干凈，以除去砂粒。在其他實(shí)施例中，也可以用酒精作為打磨處理的潤(rùn)濕劑。然后執(zhí)行步驟S24，對(duì)打磨后的鉬或鉬合金試樣進(jìn)行機(jī)械拋光。對(duì)鉬或鉬合金試樣進(jìn)行機(jī)械拋光的目的是去除打磨鉬或鉬合金試樣產(chǎn)生的磨痕， 使需要進(jìn)行金相觀察的鉬或鉬合金試樣表面更光滑，進(jìn)一步確保后續(xù)的腐蝕效果。本實(shí)施例中，對(duì)鉬或鉬合金靶材進(jìn)行拋光主要是用金剛石研磨膏對(duì)所述鉬或鉬合金靶材進(jìn)行機(jī)械拋光，機(jī)械拋光時(shí)以無(wú)水乙醇(酒精)做潤(rùn)濕劑。具體來(lái)說(shuō)，將金剛石研磨膏涂抹在絨布上，絨布由砂輪機(jī)帶動(dòng)，砂輪機(jī)上方有無(wú)水乙醇不停地流到絨布上進(jìn)行潤(rùn)濕，按住鉬或鉬合金試樣(以需要進(jìn)行觀察的表面朝向絨布)在絨布上拋光。本實(shí)施例中，砂輪機(jī)轉(zhuǎn)速可以為400r/min 600r/min，機(jī)械拋光的時(shí)間一般為anin :3min。如果機(jī)械拋光的時(shí)間小于2min，則拋光后的試樣不夠光亮清晰，影響金相組織的顯示方法和觀察結(jié)果，機(jī)械拋光的時(shí)間越長(zhǎng)，試樣表面的光潔度越好，但是考慮到機(jī)械拋光的工作效率，本實(shí)施例對(duì)所述試樣的機(jī)械拋光時(shí)間不超過(guò):3min為宜。機(jī)械拋光后，用大量的水將鉬或鉬合金試樣沖洗干凈。需要說(shuō)明的是，傳統(tǒng)的鉬或鉬合金試樣的機(jī)械拋光通常用水做潤(rùn)濕劑，但發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，用無(wú)水乙醇(酒精)則可以降低鉬或鉬合金試樣的表面張力，使得無(wú)水乙醇(酒精) 可以均勻分布在鉬或鉬合金試樣的表面，因而提高了鉬或鉬合金試樣表面的拋光效果。因此，本實(shí)施例中優(yōu)選無(wú)水乙醇(酒精)作為潤(rùn)濕劑。通過(guò)上述步驟S23和SM的表面處理，去除所述試樣表面的氧化物，形成至少一拋光面。接著執(zhí)行步驟S25，將機(jī)械拋光后的鉬或鉬合金試樣在金相組織電解液中進(jìn)行電解拋光，所述金相組織電解液為乙醇、正丁醇、高氯酸和水的混合溶液。其中乙醇、正丁醇、高氯酸和水的體積比為66 11 33 (10 14)。金相組織電解液對(duì)金屬的腐蝕通常發(fā)生在晶界，即各晶粒的交界處，因此可以將各個(gè)晶粒區(qū)分開(kāi)來(lái)。上述金相組織電解液中，高氯酸對(duì)鉬或鉬合金等金屬有強(qiáng)烈的腐蝕性， 可以與鉬或鉬合金反應(yīng)；金相組織電解液中含有乙醇、正丁醇，相對(duì)于現(xiàn)有的強(qiáng)酸鹽腐蝕劑的腐蝕性和氧化性要低。具體來(lái)說(shuō)，所述金相組織電解液中，乙醇、正丁醇、高氯酸和水的體積比為66 11 33 (10 14)。所述乙醇、正丁醇為分析純?nèi)芤?，即乙醇的質(zhì)量百分比濃度為 99.7% ；正丁醇的質(zhì)量百分比濃度為96% ；所述高氯酸的質(zhì)量百分比濃度為68% 72%。 將配制好的金相組織電解液裝入電解拋光機(jī)上，然后將鉬或鉬合金試樣在常溫下進(jìn)行電解拋光。本實(shí)施例中，電解拋光的方式是以鉬或鉬合金試樣為陽(yáng)極，不溶于金相組織電解液的金屬為陰極，兩極同時(shí)浸入到電解槽中，通以直流電而產(chǎn)生有選擇性的陽(yáng)極溶解。具體為電解拋光時(shí)，通電時(shí)鉬或鉬合金試樣表面會(huì)產(chǎn)生電阻率高的稠性黏膜，其厚度在鉬或鉬合金試樣表面不均勻。表面微觀凸出部分較薄，電流密度較大，金屬溶解較快；表面微觀下凹處較厚，電流密度較小，金屬溶解較慢。由于稠性黏膜和電流密度分布的不均勻性，微觀凸起部分尺寸減少較快，微觀下凹處尺寸減少較慢，使鉬或鉬合金試樣表面粗糙度降低，從而達(dá)到陽(yáng)極溶解的目的。本實(shí)施例中，在常溫下進(jìn)行電解拋光操作，所述電解拋光的時(shí)間即腐蝕時(shí)間通常為4s 8s，較佳為k。如果電解拋光的時(shí)間小于4s，則鉬或鉬合金試樣腐蝕不足，就無(wú)法顯示出晶界；如果電解拋光的時(shí)間大于8s，則鉬或鉬合金試樣會(huì)腐蝕過(guò)度，鉬或鉬合金試樣的晶界和晶粒都會(huì)被破壞，而且靶材容易被氧化。本實(shí)施例中，所述電解拋光的電壓為23V 30V，較佳為25V。如果電解拋光的電壓小于23V，則電解拋光的電流太小，電解拋光的速度太慢，容易造成鉬或鉬合金試樣腐蝕不足，無(wú)法顯示出晶界；如果電解拋光的電壓大于30V，則電解拋光的電流太大，電解拋光的速度太快，容易造成鉬或鉬合金試樣表面會(huì)凹凸不平，而且腐蝕過(guò)度，相應(yīng)的鉬或鉬合金試樣的晶界和晶粒都會(huì)被破壞。接著執(zhí)行步驟S26，清洗所述試樣。腐蝕后，在本實(shí)施例中，取出鉬或鉬合金試樣立即用清水對(duì)腐蝕面進(jìn)行清洗、清洗時(shí)間為Imin aiiin。需要說(shuō)明的是，本實(shí)施例可以對(duì)鉬或鉬合金試樣的所有面進(jìn)行清洗， 也可以對(duì)鉬或鉬合金試樣需要進(jìn)行觀察的表面進(jìn)行清洗。然后吹干清洗后的所述試樣。步驟S27，利用金相顯微鏡對(duì)所述試樣進(jìn)行觀察。在本實(shí)施例中，由于通過(guò)上述各步驟，特別是步驟S25的腐蝕處理可以使得所述試樣的金相組織具有良好的顯示效果，再利用金相顯微鏡就能很好地進(jìn)行觀察，有利于對(duì)所述試樣的金相結(jié)構(gòu)作出正確的分析。下面對(duì)本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例進(jìn)行說(shuō)明。上一個(gè)實(shí)施例是將鉬或鉬合金靶材切去一部分作為試樣，進(jìn)行打磨、拋光、腐蝕、清洗和觀察處理，整個(gè)的處理過(guò)程是對(duì)鉬或鉬合金靶材的小樣進(jìn)行處理的。本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例與上一個(gè)例的區(qū)別是對(duì)鉬或鉬合金靶材大樣進(jìn)行處理，即對(duì)大型的鉬或鉬合金靶材的金相組織進(jìn)行顯示。圖3為本發(fā)明另一個(gè)實(shí)施例的鉬或鉬合金的金相組織顯示方法，具體如圖3所示，包括步驟S31，提供鉬或鉬合金靶材；步驟S32，對(duì)所述鉬或鉬合金靶材進(jìn)行打磨；步驟S33，對(duì)打磨后的鉬或鉬合金靶材進(jìn)行機(jī)械拋光； 步驟S34，將機(jī)械拋光后的鉬或鉬合金靶材在金相組織電解液中進(jìn)行電解拋光，所述金相組織電解液為乙醇、正丁醇、高氯酸和水的混合溶液；
步驟S35，清洗所述靶材；步驟S36，利用金相顯微鏡對(duì)所述靶材進(jìn)行觀察。首先執(zhí)行步驟S31，提供鉬或鉬合金靶材。本實(shí)施例中，具體可以參考上一個(gè)實(shí)施例。接著執(zhí)行步驟S32，對(duì)所述鉬或鉬合金靶材進(jìn)行打磨。對(duì)鉬或鉬合金靶材進(jìn)行打磨的目的是去除鉬或鉬合金靶材表面的氧化層，使需要進(jìn)行金相觀察的鉬或鉬合金靶材表面平整光亮，以保證后續(xù)的腐蝕效果。本實(shí)施例中，對(duì)鉬或鉬合金靶材進(jìn)行打磨主要是用由粗到細(xì)的水性砂紙依次對(duì)所述鉬或鉬合金靶材進(jìn)行打磨，打磨時(shí)以水做潤(rùn)濕劑。在對(duì)大型鉬或鉬合金打磨時(shí)采用手動(dòng)打磨的方法，用便攜式砂輪機(jī)對(duì)鉬或鉬合金靶材(以需要進(jìn)行觀察的表面朝向砂紙)進(jìn)行打磨。打磨過(guò)程中可以用水或者酒精作為打磨處理的潤(rùn)濕劑。具體操作可以參考上一個(gè)實(shí)施例。然后執(zhí)行步驟S33，對(duì)打磨后的鉬或鉬合金靶材進(jìn)行機(jī)械拋光。對(duì)鉬或鉬合金靶材進(jìn)行機(jī)械拋光的目的是去除打磨鉬或鉬合金靶材產(chǎn)生的磨痕， 使需要進(jìn)行金相觀察的鉬或鉬合金靶材表面更光滑，進(jìn)一步確保后續(xù)的腐蝕效果。具體操作過(guò)程可以參考上一個(gè)實(shí)施例。通過(guò)上述步驟S32和S33的表面處理，去除所述靶材表面的氧化物，形成至少一拋光面。接著執(zhí)行步驟S34，將機(jī)械拋光后的鉬或鉬合金靶材在金相組織電解液中進(jìn)行電解拋光，所述金相組織電解液為乙醇、正丁醇、高氯酸和水的混合溶液。在對(duì)大型鉬或鉬合金靶材進(jìn)行電解拋光時(shí)采用便攜式電解拋光機(jī)對(duì)鉬或鉬合金靶材表面(需要進(jìn)行觀察的表面)進(jìn)行電解拋光。金相組織電解液和電解拋光具體可以參考上一個(gè)實(shí)施例。接著執(zhí)行步驟S35，清洗所述靶材。電解拋光后，在本實(shí)施例中，取出鉬或鉬合金靶材立即用清水對(duì)腐蝕面進(jìn)行清洗， 具體操作可以參考上一個(gè)實(shí)施例。需要說(shuō)明的是，本實(shí)施例可以對(duì)鉬或鉬合金靶材的所有面進(jìn)行清洗，也可以對(duì)鉬或鉬合金靶材需要進(jìn)行觀察的表面進(jìn)行清洗。然后吹干清洗后的所述靶材。接著執(zhí)行步驟S36，利用金相顯微鏡對(duì)所述靶材進(jìn)行觀察。在本實(shí)施例中，由于通過(guò)上述各步驟，特別是步驟S34的電解拋光處理可以使得所述靶材的金相組織具有良好的顯示效果，再利用金相顯微鏡就能很好地進(jìn)行觀察，有利于對(duì)所述靶材的金相結(jié)構(gòu)作出正確的分析。綜上所述，上述技術(shù)方案采用乙醇、正丁醇、高氯酸和水配制成金相組織電解液， 所述乙醇、正丁醇、高氯酸和水的體積比為66 11 33 (10 14)，所述高氯酸的質(zhì)量百分比濃度為68% 72%;所述的乙醇、正丁醇為分析純濃度，即所述乙醇金相組織電解液的質(zhì)量百分比濃度為99. 7% ；所述正丁醇的質(zhì)量百分比濃度為96%，上述對(duì)鉬或鉬合金具有良好的腐蝕效果，對(duì)作業(yè)人員的健康危害和環(huán)境污染也較小。另外，上述技術(shù)方案在對(duì)鉬或鉬合金靶材進(jìn)行機(jī)械拋光時(shí)，用無(wú)水乙醇做潤(rùn)濕劑
8可以改善靶材表面的拋光效果；在對(duì)鉬或鉬合金靶材進(jìn)行金相腐蝕時(shí)，采用電解拋光的方法，電解拋光的時(shí)間和電解拋光的電壓適中，可以改善靶材表面的腐蝕效果。因此，上述技術(shù)方案具有工藝穩(wěn)定，可控性強(qiáng)，不易腐蝕過(guò)度或不足等優(yōu)點(diǎn)。 以上所述，僅是本發(fā)明的較佳實(shí)施例而已，并非對(duì)本發(fā)明作任何形式上的限制。任何熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明技術(shù)方案范圍情況下，都可利用上述揭示的方法和技術(shù)內(nèi)容對(duì)本發(fā)明技術(shù)方案作出許多可能的變動(dòng)和修飾，或修改為等同變化的等效實(shí)施例。因此，凡是未脫離本發(fā)明的技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所做的任何簡(jiǎn)單修改、等同變化及修飾，均仍屬于本發(fā)明技術(shù)方案保護(hù)的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種金相組織電解液，其特征在于，所述金相組織電解液為乙醇、正丁醇、高氯酸和水的混合溶液。
2.如權(quán)利要求1所述的金相組織電解液，其特征在于，所述金相組織電解液中乙醇、正丁醇、高氯酸和水的體積比為66 11 33 (10 14)。
3.—種鉬或鉬合金的腐蝕方法，其特征在于，包括提供鉬或鉬合金靶材；將所述鉬或鉬合金靶材在金相組織電解液中進(jìn)行電解拋光，所述金相組織電解液為乙醇、正丁醇、高氯酸和水的混合溶液。
4.如權(quán)利要求3所述的鉬或鉬合金的腐蝕方法，其特征在于，所述金相組織電解液中乙醇、正丁醇、高氯酸和水的體積比為66 11 33 (10 14)。
5.如權(quán)利要求3所述的鉬或鉬合金的腐蝕方法，其特征在于，所述電解拋光的時(shí)間為4s 8s0
6.如權(quán)利要求3所述的鉬或鉬合金的腐蝕方法，其特征在于，所述電解拋光的電壓為 23V 30V。
7.一種鉬或鉬合金金相組織的顯示方法，其特征在于，包括提供鉬或鉬合金靶材；對(duì)所述鉬或鉬合金靶材進(jìn)行打磨；對(duì)打磨后的鉬或鉬合金靶材進(jìn)行機(jī)械拋光；將機(jī)械拋光后的鉬或鉬合金靶材在金相組織電解液中進(jìn)行電解拋光，所述金相組織電解液為乙醇、正丁醇、高氯酸和水的混合溶液。
8.如權(quán)利要求7所述的鉬或鉬合金金相組織的顯示方法，其特征在于，所述金相組織電解液中乙醇、正丁醇、高氯酸和水的體積比為66 11 33 (10 14)。
9.如權(quán)利要求7所述的鉬或鉬合金金相組織的顯示方法，其特征在于，所述電解拋光的時(shí)間為4s 8s。
10.如權(quán)利要求7所述的鉬或鉬合金金相組織的顯示方法，其特征在于，所述電解拋光的電壓為23V 30V。
11.如權(quán)利要求7所述的鉬或鉬合金金相組織的顯示方法，其特征在于，所述機(jī)械拋光過(guò)程中使用金剛石研磨膏對(duì)所述鉬或鉬合金靶材進(jìn)行機(jī)械拋光。
12.如權(quán)利要求11所述的鉬或鉬合金金相組織的顯示方法，其特征在于，所述機(jī)械拋光的潤(rùn)濕劑為無(wú)水乙醇。
13.如權(quán)利要求11所述的鉬或鉬合金金相組織的顯示方法，其特征在于，所述機(jī)械拋光的砂輪機(jī)轉(zhuǎn)速為400r/min 600r/min。
14.如權(quán)利要求11所述的鉬或鉬合金金相組織的顯示方法，其特征在于，所述機(jī)械拋光的時(shí)間為2min 3min。
全文摘要
一種金相組織電解液、鉬或鉬合金的腐蝕方法及其金相組織的顯示方法，所述鉬或鉬合金金相組織的顯示方法包括提供鉬或鉬合金靶材；對(duì)所述鉬或鉬合金靶材進(jìn)行打磨；對(duì)打磨后的鉬或鉬合金靶材進(jìn)行機(jī)械拋光；將機(jī)械拋光后的鉬或鉬合金靶材在金相組織電解液中進(jìn)行電解拋光，所述金相組織電解液為乙醇、正丁醇、高氯酸和水的混合溶液。采用乙醇、正丁醇、高氯酸和水配制成的金相組織電解液對(duì)鉬或鉬合金具有良好的腐蝕效果。
文檔編號(hào)G01N1/32GK102443841SQ201110396459
公開(kāi)日2012年5月9日 申請(qǐng)日期2011年12月2日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月2日
發(fā)明者大巖一彥, 姚力軍, 方依清, 潘杰, 王學(xué)澤, 相原俊夫 申請(qǐng)人:寧波江豐電子材料有限公司