專利名稱：零位傳感器的調(diào)節(jié)定位裝置及其調(diào)節(jié)定位方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及零位傳感器的調(diào)節(jié)定位裝置及其調(diào)節(jié)定位方法。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體制備エ藝中，エ件臺(tái)的定位需要測(cè)量エ件臺(tái)相對(duì)于主基板的位置?，F(xiàn)有技術(shù)中，光刻機(jī)エ件臺(tái)/掩模臺(tái)的位置測(cè)量系統(tǒng)采用激光干渉儀系統(tǒng)，但激光干涉儀是一個(gè)增量測(cè)量系統(tǒng)，只能提供相對(duì)位移的精確測(cè)量。在利用激光干涉儀進(jìn)行位置測(cè)量之前，需要絕對(duì)參考位置即零位來(lái)初始化激光干涉儀。零位傳感器作為光刻機(jī)的核心部件之一，用于測(cè)量零位，進(jìn)而向激光干涉儀提供初始化偏置。零位傳感器用于兩自由度的精密調(diào)節(jié)定位，調(diào)節(jié)過(guò)程通過(guò)零位傳感器內(nèi)的兩個(gè)關(guān)鍵部件激光準(zhǔn)直鏡與ニ維光電位移傳感器(PSD)完成，在調(diào)節(jié)結(jié)束后進(jìn)行鎖緊以牢固定 位。請(qǐng)參閱申請(qǐng)?zhí)枮镃N201010530550. 6的中國(guó)專利申請(qǐng)，該專利申請(qǐng)公開(kāi)了ー種零位傳感器，所述零位傳感器包括基座、PSD、調(diào)節(jié)板和激光準(zhǔn)直鏡。PSD是ー種高靈敏度光電測(cè)距器件，安裝在所述零位傳感器中?；c所述PSD組成一體，同時(shí)提供安裝接ロ和容納大部分零件，調(diào)節(jié)板與所述激光準(zhǔn)直鏡連為一體。當(dāng)調(diào)節(jié)板上的滑塊在基座的滑面上滑動(dòng)時(shí)，就會(huì)帶動(dòng)激光準(zhǔn)直鏡與PSD產(chǎn)生相對(duì)運(yùn)動(dòng)，通過(guò)接收固定在エ件臺(tái)上的角錐鏡反射的測(cè)量光束，確定測(cè)量光束光斑在PSD感光平面上的位置，進(jìn)而轉(zhuǎn)換出エ件臺(tái)相對(duì)于測(cè)量基板的位置。具體的，零位傳感器的激光準(zhǔn)直鏡與PSD的位置經(jīng)調(diào)整鎖定后，從激光準(zhǔn)直鏡射出的激光束經(jīng)固定在エ件臺(tái)上鏡座孔內(nèi)的角錐鏡反射后打在PSD感光面上，當(dāng)エ件臺(tái)運(yùn)動(dòng)到特定位置時(shí)，反射光才會(huì)剛好打在PSD感光區(qū)域中心，此時(shí)就定義了エ件臺(tái)零位。由于每個(gè)零位傳感器可對(duì)エ件臺(tái)的兩個(gè)維度的位置信息進(jìn)行測(cè)量，使用三個(gè)各裝有一個(gè)ニ維平面PSD的零位傳感器組成測(cè)量組，每個(gè)零位傳感器測(cè)量エ件臺(tái)的2個(gè)自由度方向的位置，于是3個(gè)零位傳感器即可對(duì)エ件臺(tái)的全部6個(gè)自由度位置進(jìn)行測(cè)量及定位，如圖I所示。零位傳感器在使用前必須首先被標(biāo)定并鎖緊，然而，零位傳感器自身只具備鎖緊而無(wú)調(diào)節(jié)功能，因此，零位傳感器只有調(diào)節(jié)到位后才能對(duì)其鎖紫。通常零位傳感器要求調(diào)節(jié)精度達(dá)到O. 001mm，但是目前一般的調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的精度不夠，如專利號(hào)為200820093717. 5的中國(guó)專利公開(kāi)了ー種調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，其結(jié)構(gòu)為普通的長(zhǎng)圓孔配合鎖緊螺栓結(jié)構(gòu)，測(cè)量方法為人エ感覺(jué)及目視測(cè)量。由于僅憑人工感覺(jué)所能達(dá)到的精度一般最高只能到O. 1mm，調(diào)節(jié)偏差較大。如果采用長(zhǎng)圓孔配合鎖緊螺栓結(jié)構(gòu)的定位方式，零位傳感器在鎖緊過(guò)程中的定位偏差會(huì)更大?，F(xiàn)有技術(shù)的零位傳感器在調(diào)節(jié)過(guò)程中無(wú)讀數(shù)顯示，如專利號(hào)為200820055335. 3的中國(guó)專利公開(kāi)的及相似的絕大部分調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)僅用于一次性的調(diào)節(jié)鎖緊，且無(wú)讀數(shù)顯示。因此，當(dāng)?shù)谝粋€(gè)零位傳感器調(diào)節(jié)到位后，下一個(gè)零位傳感器開(kāi)始調(diào)節(jié)時(shí)無(wú)法應(yīng)用第一個(gè)零位傳感器的調(diào)節(jié)結(jié)果進(jìn)行大略定位，僅能憑個(gè)人經(jīng)驗(yàn)與判斷重新進(jìn)行調(diào)節(jié)。由于僅憑人工感覺(jué)所能達(dá)到的精度一般最高只能到O. 1_，而在零位傳感器的應(yīng)用場(chǎng)景中要求調(diào)節(jié)精度要達(dá)到O. OOlmm,當(dāng)調(diào)節(jié)第二個(gè)零位傳感器時(shí)，若采用O. OOlmm精度的精密螺紋微分裝置，則精密螺紋微分裝置至少要旋轉(zhuǎn)100圖才能補(bǔ)償O. Imm的誤差，操作非常不方便。且目前所知的多維調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)都沒(méi)有顧及調(diào)節(jié)ー個(gè)自由度時(shí)對(duì)另ー自由度的耦合影響，而這種影響在光刻機(jī)零位傳感器這種高精度應(yīng)用場(chǎng)景下是不能忽略的。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種能夠準(zhǔn)確調(diào)節(jié)定位的零位傳感器的調(diào)節(jié)定位裝置。本發(fā)明的另ー目的在于提供上述零位傳感器的調(diào)節(jié)定位裝置的調(diào)節(jié)定位方法。一種零位傳感器的調(diào)節(jié)定位裝置，包括底座，所述底座包括凸臺(tái)；XY位移平臺(tái)，所述XY位移平臺(tái)包括底層、頂層以及貫穿所述底層、頂層的通孔，所述XY位移平臺(tái)的底層固
定于所述底座；轉(zhuǎn)接板，所述轉(zhuǎn)接板包括通孔，所述轉(zhuǎn)接板的ー側(cè)固定于所述XY位移平臺(tái)的頂層，所述轉(zhuǎn)接板的另ー側(cè)與所述零位傳感器的基座固定連接；所述凸臺(tái)依次穿過(guò)所述XY位移平臺(tái)的通孔和所述轉(zhuǎn)接板的通孔，與所述零位傳感器的調(diào)節(jié)板固定連接；所述零位傳感器的調(diào)節(jié)板和基座之間的位移隨所述XY位移平臺(tái)的底層和頂層之間的位移而調(diào)整。本發(fā)明調(diào)節(jié)定位裝置優(yōu)選的一種技術(shù)方案，所述XY位移平臺(tái)還包括微分頭，通過(guò)調(diào)節(jié)所述微分頭調(diào)節(jié)所述XY位移平臺(tái)的底層和頂層之間的位移。本發(fā)明調(diào)節(jié)定位裝置優(yōu)選的一種技術(shù)方案，所述零位傳感器的基座與所述轉(zhuǎn)接板通過(guò)定位銷和彈簧柱塞固定連接。本發(fā)明調(diào)節(jié)定位裝置優(yōu)選的一種技術(shù)方案，所述轉(zhuǎn)接板與所述XY位移平臺(tái)的頂層通過(guò)螺紋定位銷固定連接。本發(fā)明調(diào)節(jié)定位裝置優(yōu)選的一種技術(shù)方案，所述零位傳感器的調(diào)節(jié)定位裝置還包括參考鏡架和參考鏡架調(diào)節(jié)座，所述參考鏡架通過(guò)所述參考鏡架調(diào)節(jié)座固定于所述底座的頂面。本發(fā)明調(diào)節(jié)定位裝置優(yōu)選的一種技術(shù)方案，所述零位傳感器的調(diào)節(jié)定位裝置還包括用干支撐所述底座的支架，所述支架的底角處設(shè)置有調(diào)平螺絲，用于對(duì)所述支架進(jìn)行概略調(diào)平。本發(fā)明調(diào)節(jié)定位裝置優(yōu)選的一種技術(shù)方案，所述底座的凸臺(tái)包括旋緊扳手，所述旋緊扳手用于鎖緊所述零位傳感器的調(diào)節(jié)板與所述底座的凸臺(tái)。本發(fā)明調(diào)節(jié)定位裝置優(yōu)選的一種技術(shù)方案，所述零位傳感器的調(diào)節(jié)板通過(guò)彈性銷配合插銷的方式與所述底座的凸臺(tái)固定連接。本發(fā)明調(diào)節(jié)定位裝置優(yōu)選的一種技術(shù)方案，所述零位傳感器的調(diào)節(jié)板包括彈性銷孔，所述彈性銷設(shè)置于所述底座的凸臺(tái)，所述彈性銷穿過(guò)所述彈性銷孔，所述插銷插入所述彈性銷，所述彈性銷與所述彈性銷孔過(guò)盈配合。上述調(diào)節(jié)定位裝置的調(diào)節(jié)定位方法，包括如下步驟將所述底座的凸臺(tái)貫穿所述XY位移平臺(tái)的通孔和所述轉(zhuǎn)接板的通孔，所述凸臺(tái)包括弾性銷孔；將所述轉(zhuǎn)接板固定于所述XY位移平臺(tái)的頂層，所述轉(zhuǎn)接板包括定位銷孔；提供所迷XY位移平臺(tái)的定位塊，所述定位塊包括用干與所述轉(zhuǎn)接板的定位銷孔對(duì)準(zhǔn)的第一定位孔和用干與所述凸臺(tái)的弾性銷孔對(duì)準(zhǔn)的第二定位孔，將所述定位塊放置于所述凸臺(tái)的上表面且第二定位孔與所述彈性銷孔對(duì)準(zhǔn)；將所述第一定位孔與所述轉(zhuǎn)接板的定位銷孔對(duì)準(zhǔn)，在所述定位銷孔內(nèi)插入定位銷，確定所述XY位移平臺(tái)與所述底座的相對(duì)位置。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的零位傳感器的調(diào)節(jié)定位裝置具有零位傳感器激光準(zhǔn)直鏡與PSD之間相互位置確定與調(diào)節(jié)的雙重功能。由于采用了 XY向ニ維滑動(dòng)臺(tái)作為調(diào)節(jié)元件，其XY向垂直度較好，減小了ー個(gè)自由度調(diào)節(jié)時(shí)對(duì)另ー自由度精度造成的影響，能夠適用于高精密度零位傳感器的調(diào)整和定位。


圖I是現(xiàn)有技術(shù)的零位傳感器測(cè)量組的示意圖。圖2是本發(fā)明的零位傳感器的調(diào)節(jié)定位裝置的整體結(jié)構(gòu)示意圖。圖3是本發(fā)明的零位傳感器的調(diào)節(jié)定位裝置的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。圖4是本發(fā)明的零位傳感器的調(diào)節(jié)定位裝置的底座的結(jié)構(gòu)示意圖。 圖5到圖7是本發(fā)明的零位傳感器的調(diào)節(jié)定位裝置與零位傳感器的固定連接后的結(jié)構(gòu)示意圖。圖8是本發(fā)明的零位傳感器的調(diào)節(jié)定位裝置設(shè)置XY位移平臺(tái)定位塊的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式本發(fā)明的零位傳感器的調(diào)節(jié)定位裝置的作用就在于事先標(biāo)定零位傳感器的基座與調(diào)節(jié)板的位置并鎖緊固定。為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明的零位傳感器的調(diào)節(jié)定位裝置將零位傳感器的基座與XY位移平臺(tái)的頂層固定連接，將零位傳感器的調(diào)節(jié)板與底座上的凸臺(tái)固定連接，XY位移平臺(tái)的底層與底座固定，所述零位傳感器的調(diào)節(jié)板和基座之間的位移隨所述XY位移平臺(tái)的底層和頂層之間的位移而調(diào)整，從而完成所述零位傳感器的調(diào)節(jié)定位。為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)ー步的詳細(xì)描述。請(qǐng)參閱圖2、圖3，其中，圖2是本發(fā)明的零位傳感器的調(diào)節(jié)定位裝置的整體結(jié)構(gòu)示意圖，圖3是本發(fā)明的零位傳感器的調(diào)節(jié)定位裝置的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。所述零位傳感器的調(diào)節(jié)定位裝置包括支架11、固定于所述支架11頂部的底座12、XY位移平臺(tái)13、轉(zhuǎn)接板14以及參考鏡架15。所述支架11、底座12、參考鏡架15形成一精密基座，所述精密基座用于確定零位傳感器及角錐棱鏡的相互位置以及提供給它們安裝接ロ。優(yōu)選的，所述支架11是由鋁型材組成的ー個(gè)立方框架結(jié)構(gòu)，用干支撐所述底座12。所述支架11底面四角各有ー個(gè)調(diào)平螺絲101，對(duì)整個(gè)支架11進(jìn)行概略調(diào)平。對(duì)于所述零位傳感器的調(diào)節(jié)定位裝置的調(diào)平問(wèn)題，由于采用了有底部調(diào)平裝置的支架11進(jìn)行調(diào)平，調(diào)平過(guò)程穩(wěn)固且操作方便。所述底座12采用螺栓的方式固定在所述支架11的頂部。所述參考鏡架15固定于所述底座12的頂面，所述參考鏡架15用于固定角錐棱鏡。優(yōu)選的，所述參考鏡架15設(shè)置有一定的傾斜角度，因此，調(diào)節(jié)定位時(shí)，角錐棱鏡的軸線與零位傳感器的位移平面并非垂直而是呈一定夾角，有利于精確定位角錐棱鏡相對(duì)零位傳感器的調(diào)節(jié)定位裝置的傾角。優(yōu)選的，所述參考鏡架15通過(guò)三個(gè)參考鏡架調(diào)節(jié)座151以三點(diǎn)定位的方式固定在所述底座12的頂面上。鏡架調(diào)節(jié)座151與所述支架11之間設(shè)置有調(diào)節(jié)墊片，通過(guò)修磨調(diào)節(jié)墊片對(duì)所述參考鏡架15在所述支座11上的位置進(jìn)行精密調(diào)節(jié)。
請(qǐng)ー并參閱圖4，圖4是本發(fā)明的零位傳感器的調(diào)節(jié)定位裝置的底座的結(jié)構(gòu)示意圖。所述底座12采用螺栓的方式固定在所述支架11的頂部，所述底座12頂面中央位置處設(shè)置有凸臺(tái)121，用于凸出所述XY位移平臺(tái)13并提供零位傳感器的調(diào)節(jié)板的安裝接ロ。具體的，所述底座12的凸臺(tái)121上設(shè)置有兩個(gè)彈性銷122的定位孔和兩個(gè)旋緊扳手123的通過(guò)孔，弾性銷122和旋緊扳手123安裝在所述凸臺(tái)121上。所述零位傳感器的調(diào)節(jié)板通過(guò)彈性銷122配合插銷的方式與所述底座12的凸臺(tái)121固定連接。所述旋緊扳手123用于鎖緊所述零位傳感器的調(diào)節(jié)板與所述底座12的凸臺(tái)121之間的位置。具體的，將所述凸臺(tái)121的頂面與零位傳感器的調(diào)節(jié)板的滑塊貼合，從而確定垂直方向的定位。對(duì)于水平向的定位，要求定位可靠且無(wú)間隙，因此，所述彈性銷122的中間開(kāi)有ー插銷孔，所述彈性銷122具有與軸線平行方向的狹縫，當(dāng)插銷插入所述彈性銷122的插銷孔后，所述彈性銷122的上端分開(kāi)，從而使所述彈性銷122的開(kāi)ロ脹開(kāi)，進(jìn)而使得所述彈性銷122的上端與零位傳感器調(diào)節(jié)板上的弾性銷孔的配合從間隙配合變?yōu)檫^(guò)盈配合，達(dá)到了消隙的目的。由于所述零位傳感器調(diào)節(jié)板的定位，采用了兩根彈性銷為定位元件，消除了孔軸間隙對(duì)調(diào)節(jié)精度的影響，提高了定位精度。由于零位傳感器的調(diào)節(jié)板上固定激光準(zhǔn)直鏡，因此，當(dāng)零位傳感器的調(diào)節(jié)板固定到凸臺(tái)121上后，激光準(zhǔn)直鏡、底座12、XY位移平臺(tái) 13的底層121在工作狀態(tài)下固定為一體。所述XY位移平臺(tái)13包括底層131、頂層132、微分頭133以及貫穿所述底層131、頂層132的通孔134。所述XY位移平臺(tái)13為位移元件，所述XY位移平臺(tái)13的底層131和頂層132之間可以在水平面一定范圍內(nèi)產(chǎn)生水平平行的位移，其位移值大小可由所述微分頭133調(diào)節(jié)并讀出。由于采用了 XY向ニ維滑動(dòng)臺(tái)作為調(diào)節(jié)元件，其XY向垂直度較好，減小了ー個(gè)自由度調(diào)節(jié)時(shí)對(duì)另ー自由度精度造成的影響，優(yōu)選的，所述微分頭133為高精度微分頭，所述微分頭的螺紋間距為O. OOlmm,由于以高精度微分頭133為位移移動(dòng)與測(cè)量エ具，可在調(diào)節(jié)過(guò)程中直接讀數(shù)，滿足高精度調(diào)節(jié)需要。優(yōu)選的，所述通孔134為位于所述XY位移平臺(tái)13中央位置的圓形通孔，所述XY位移平臺(tái)13的通孔134的直徑稍大于所述凸臺(tái)121的尺寸。所述凸臺(tái)121從所述XY位移平臺(tái)13的通孔134中凸出。由于需要將零位傳感器的基座安裝固定到所述XY位移平臺(tái)13的頂層132上，但是所述XY位移平臺(tái)13的頂層132只設(shè)置有一系列標(biāo)準(zhǔn)螺孔，不能與零位傳感器的基座相匹配，并且由于調(diào)節(jié)過(guò)程對(duì)零位傳感器基座的定位精度要求較高，而螺孔僅能起固定作用而不能作精確定位。為了達(dá)到零位傳感器的基座在所述XY位移平臺(tái)13的頂層132上精確定位的目的，本發(fā)明的零位傳感器的調(diào)節(jié)定位裝置包括轉(zhuǎn)接板14。所述轉(zhuǎn)接板14包括用于通過(guò)所述凸臺(tái)121的通孔，所述轉(zhuǎn)接板14的底面與所述XY位移平臺(tái)13的頂層132的頂面貼合，且包括兩個(gè)定位銷孔141，所述定位銷孔141與所述XY位移平臺(tái)13的頂層132上的安裝螺孔對(duì)應(yīng)，所述轉(zhuǎn)接板14通過(guò)螺紋定位銷與所述XY位移平臺(tái)13的頂層132固定連接。優(yōu)選的，所述轉(zhuǎn)接板14為“回”字形結(jié)構(gòu)。對(duì)于所述轉(zhuǎn)接板14與零位傳感器17的基座的安裝定位，在與零位傳感器17基座的三個(gè)安裝平臺(tái)171對(duì)應(yīng)的位置處，所述轉(zhuǎn)接板14設(shè)置有三個(gè)凸塊142，所述凸塊142與零位傳感器基座的三個(gè)安裝平臺(tái)171貼合,從而實(shí)現(xiàn)垂直方向的定位。對(duì)于水平方向的定位，所述轉(zhuǎn)接板14包括另外三個(gè)定位銷孔143，所述零位傳感器的基座通過(guò)三個(gè)定位銷144配合基座上的兩個(gè)基準(zhǔn)面的方式，將零位傳感器的基座固定連接在所述XY位移平臺(tái)13的頂層132上。對(duì)于所述零位傳感器基座的定位，由于采用了三根定位銷144對(duì)基座進(jìn)行三點(diǎn)定位，兩方向弾性柱塞145壓緊的方式(為了清楚顯示各元件之間的位置關(guān)系，圖6中僅示出了一個(gè)彈性柱塞145)，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，精度高且定位可靠。當(dāng)零位傳感器固定到調(diào)節(jié)定位裝置后，零位傳感器與調(diào)節(jié)定位裝置的位置關(guān)系如圖5到圖7所示。由于零位傳感器的基座上固定PSD，當(dāng)XY位移平臺(tái)13的頂層132通過(guò)轉(zhuǎn)接板14與零位傳感器的基座固定在一起后，零位傳感器的PSD、XY位移平臺(tái)13的頂層132在工作狀態(tài)下固定為一體。這樣，當(dāng)所述XY位移平臺(tái)13的底層131、頂層132按照微分頭133的調(diào)節(jié)產(chǎn)生相對(duì)位移時(shí)，零位傳感器的基座與調(diào)節(jié)板也就產(chǎn)生了同樣的位移，從而達(dá)到了調(diào)節(jié)零位傳感器的激光準(zhǔn)直鏡與PSD相對(duì)位置的目的。在所述零位傳感器的調(diào)節(jié)定位過(guò)程中，由于XY位移平臺(tái)13的中央通孔的直徑只比底座12的中央凸臺(tái)121的尺寸稍大，因此，為達(dá)到需要的調(diào)節(jié)范圍，必須對(duì)XY位移平臺(tái)13與精密基座的位置進(jìn)行定位，以使底座12的中央凸臺(tái)121處于XY位移平臺(tái)13的通孔的中央位置。為此，本發(fā)明的零位傳感器的調(diào)節(jié)定位裝置還包括XY位移平臺(tái)定位塊16，如 圖8所示。所述XY位移平臺(tái)定位塊16上設(shè)置有多個(gè)定位孔，部分定位孔161對(duì)應(yīng)所述底座12的凸臺(tái)121上的彈性銷孔，另一部分定位孔162對(duì)應(yīng)所述轉(zhuǎn)接板14上的零位傳感器基座的定位銷孔143。具體的，所述XY位移平臺(tái)定位塊16設(shè)置有5個(gè)定位孔，中間兩個(gè)大孔161對(duì)應(yīng)所述底座12的凸臺(tái)121上的兩個(gè)彈性銷孔，另外三個(gè)小孔162對(duì)應(yīng)所述轉(zhuǎn)接板14上的零位傳感器基座的三個(gè)定位銷孔143。所述XY位移平臺(tái)13與精密基座的調(diào)節(jié)定位方法包括如下步驟將所述底座12的凸臺(tái)121依次穿過(guò)所述XY位移平臺(tái)13的通孔和所述轉(zhuǎn)接板14的通孔；將所述轉(zhuǎn)接板14固定于所述XY位移平臺(tái)13的頂層132 ；將所述XY位移平臺(tái)定位塊16放在所述底座12的凸臺(tái)121的頂面，將所述XY位移平臺(tái)定位塊16上的大孔與所述凸臺(tái)121上的兩彈性銷孔對(duì)準(zhǔn)。然后把轉(zhuǎn)接板14的三個(gè)零位傳感器基座定位銷孔對(duì)準(zhǔn)XY位移平臺(tái)定位塊16上的三個(gè)定位銷孔，隨后在孔內(nèi)插入定位銷，于是放在底座12上的XY位移平臺(tái)13就被定位了與底座12的相對(duì)位置，即定位了與精密基座的相對(duì)位置。隨后將XY位移平臺(tái)定位塊16卸棹，以螺栓固定干支架11側(cè)面以防丟失。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的零位傳感器的調(diào)節(jié)定位裝置具有零位傳感器激光準(zhǔn)直鏡與PSD之間相互位置確定與調(diào)節(jié)的雙重功能。由于采用了 XY向ニ維滑動(dòng)臺(tái)作為調(diào)節(jié)元件，其XY向垂直度較好，減小了ー個(gè)自由度調(diào)節(jié)時(shí)對(duì)另ー自由度精度造成的影響，能夠適用于高精密度零位傳感器的調(diào)整和定位。 在不偏離本發(fā)明的精神和范圍的情況下還可以構(gòu)成許多有很大差別的實(shí)施例。應(yīng)當(dāng)理解，除了如所附的權(quán)利要求所限定的，本發(fā)明并不限于在說(shuō)明書(shū)中所述的具體實(shí)施例。
權(quán)利要求
1.一種零位傳感器的調(diào)節(jié)定位裝置，其特征在于，包括 底座，所述底座包括凸臺(tái)； XY位移平臺(tái)，所述XY位移平臺(tái)包括底層、頂層以及貫穿所述底層、頂層的通孔，所述XY位移平臺(tái)的底層固定于所述底座； 轉(zhuǎn)接板，所述轉(zhuǎn)接板包括通孔，所述轉(zhuǎn)接板的一側(cè)固定于所述XY位移平臺(tái)的頂層，所述轉(zhuǎn)接板的另一側(cè)與所述零位傳感器的基座固定連接； 所述凸臺(tái)依次穿過(guò)所述XY位移平臺(tái)的通孔和所述轉(zhuǎn)接板的通孔，與所述零位傳感器的調(diào)節(jié)板固定連接； 所述零位傳感器的調(diào)節(jié)板和基座之間的位移隨所述XY位移平臺(tái)的底層和頂層之間的位移而調(diào)整。
2.如權(quán)利要求I所述的零位傳感器的調(diào)節(jié)定位裝置，其特征在于，所述XY位移平臺(tái)還包括微分頭，通過(guò)調(diào)節(jié)所述微分頭調(diào)節(jié)所述XY位移平臺(tái)的底層和頂層之間的位移。
3.如權(quán)利要求I所述的零位傳感器的調(diào)節(jié)定位裝置，其特征在于，所述零位傳感器的基座與所述轉(zhuǎn)接板通過(guò)定位銷和彈簧柱塞固定連接。
4.如權(quán)利要求I所述的零位傳感器的調(diào)節(jié)定位裝置，其特征在于，所述轉(zhuǎn)接板與所述XY位移平臺(tái)的頂層通過(guò)螺紋定位銷固定連接。
5.如權(quán)利要求I所述的零位傳感器的調(diào)節(jié)定位裝置，其特征在于，所述零位傳感器的調(diào)節(jié)定位裝置還包括參考鏡架和參考鏡架調(diào)節(jié)座，所述參考鏡架通過(guò)所述參考鏡架調(diào)節(jié)座固定于所述底座的頂面。
6.如權(quán)利要求I所述的零位傳感器的調(diào)節(jié)定位裝置，其特征在于，所述零位傳感器的調(diào)節(jié)定位裝置還包括用于支撐所述底座的支架，所述支架的底角處設(shè)置有調(diào)平螺絲，用于對(duì)所述支架進(jìn)行概略調(diào)平。
7.如權(quán)利要求I所述的零位傳感器的調(diào)節(jié)定位裝置，其特征在于，所述底座的凸臺(tái)包括旋緊扳手，所述旋緊扳手用于鎖緊所述零位傳感器的調(diào)節(jié)板與所述底座的凸臺(tái)。
8.如權(quán)利要求I到7中任意一項(xiàng)所述的零位傳感器的調(diào)節(jié)定位裝置，其特征在于，所述零位傳感器的調(diào)節(jié)板通過(guò)彈性銷配合插銷的方式與所述底座的凸臺(tái)固定連接。
9.如權(quán)利要求8所述的零位傳感器的調(diào)節(jié)定位裝置，其特征在于，所述零位傳感器的調(diào)節(jié)板包括彈性銷孔，所述彈性銷設(shè)置于所述底座的凸臺(tái)，所述彈性銷穿過(guò)所述彈性銷孔，所述插銷插入所述彈性銷，所述彈性銷與所述彈性銷孔過(guò)盈配合。
10.如權(quán)利要求I所述的零位傳感器的調(diào)節(jié)定位裝置的調(diào)節(jié)定位方法，其特征在于，包括如下步驟 將所述底座的凸臺(tái)貫穿所述XY位移平臺(tái)的通孔和所述轉(zhuǎn)接板的通孔，所述凸臺(tái)包括彈性銷孔； 將所述轉(zhuǎn)接板固定于所述XY位移平臺(tái)的頂層，所述轉(zhuǎn)接板包括定位銷孔； 提供所述XY位移平臺(tái)的定位塊，所述定位塊包括用于與所述轉(zhuǎn)接板的定位銷孔對(duì)準(zhǔn)的第一定位孔和用于與所述凸臺(tái)的彈性銷孔對(duì)準(zhǔn)的第二定位孔，將所述定位塊放置于所述凸臺(tái)的上表面且第二定位孔與所述彈性銷孔對(duì)準(zhǔn)； 將所述第一定位孔與所述轉(zhuǎn)接板的定位銷孔對(duì)準(zhǔn)，在所述定位銷孔內(nèi)插入定位銷，確定所述XY位移平臺(tái)與所述底座的相對(duì)位置。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種零位傳感器的調(diào)節(jié)定位裝置及其調(diào)節(jié)定位方法。所述調(diào)節(jié)定位裝置包括底座；所述XY位移平臺(tái)包括底層、頂層以及貫穿所述底層、頂層的通孔，所述XY位移平臺(tái)的底層固定于所述底座；所述轉(zhuǎn)接板包括通孔，所述轉(zhuǎn)接板的一側(cè)固定于所述XY位移平臺(tái)的頂層，所述轉(zhuǎn)接板的另一側(cè)與所述零位傳感器的基座固定連接；所述凸臺(tái)依次穿過(guò)所述XY位移平臺(tái)的通孔和所述轉(zhuǎn)接板的通孔，與所述零位傳感器的調(diào)節(jié)板固定連接；所述零位傳感器的調(diào)節(jié)板和基座之間的位移隨所述XY位移平臺(tái)的底層和頂層之間的位移而調(diào)整。本發(fā)明的調(diào)節(jié)定位裝置及其調(diào)節(jié)定位方法能夠用于高精度零位傳感器的定位。
文檔編號(hào)G01B11/00GK102829717SQ20111016513
公開(kāi)日2012年12月19日 申請(qǐng)日期2011年6月17日 優(yōu)先權(quán)日2011年6月17日
發(fā)明者王凱 申請(qǐng)人:上海微電子裝備有限公司