專利名稱：旋轉(zhuǎn)速率傳感器、傳感器裝置、用于運行旋轉(zhuǎn)速率傳感器的方法和用于運行傳感器裝置的方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明 涉及一種如權(quán)利要求1前序部分所述的旋轉(zhuǎn)速率傳感器。
背景技術(shù)：
這種旋轉(zhuǎn)速率傳感器通常是公知的。例如由文獻DE 195 19 488 Al已知一種具有第一和第二振動質(zhì)量的旋轉(zhuǎn)速率傳感器，其中，利用激勵器件將第一和第二振動質(zhì)量分別激勵至工作振動，第一振動質(zhì)量的第一科里奧利偏轉(zhuǎn)和第二振動質(zhì)量的第二科里奧利偏轉(zhuǎn)分別利用分析處理器件被檢測并且為了確定旋轉(zhuǎn)速率相應被差分地分析處理。在此它涉及所謂的有源傳感器，因為為了測量科里奧利偏轉(zhuǎn)第一和第二振動質(zhì)量必需持續(xù)地被激勵至工作振動。因此當不存在要被測量的旋轉(zhuǎn)速率時旋轉(zhuǎn)速率傳感器也消耗能量。

發(fā)明內(nèi)容
與現(xiàn)有技術(shù)相比按照并列權(quán)利要求的按照本發(fā)明的旋轉(zhuǎn)速率傳感器、按照本發(fā)明的傳感器裝置、按照本發(fā)明的用于運行旋轉(zhuǎn)速率傳感器的方法和按照本發(fā)明的用于運行傳感器裝置的方法的優(yōu)點是，只要在旋轉(zhuǎn)速率傳感器上出現(xiàn)中斷信號，則旋轉(zhuǎn)速率傳感器的能耗降低。以有利的方式將中斷信號通過中斷接口直接施加在旋轉(zhuǎn)速率傳感器本身上，由此直接引起工作振動的頻率和/或振幅的降低以減小旋轉(zhuǎn)速率傳感器的能耗，而無需附加的外部的控制單元、如微控制器或處理器來接通旋轉(zhuǎn)速率傳感器的節(jié)能模式。通過這種方式一方面節(jié)省這種外部控制單元的能耗，另一方面顯著更快地(尤其無需通過外部的控制單元的繞道路徑)引起旋轉(zhuǎn)速率傳感器上的能耗降低。此外可能的是，外部的控制單元在時間上在旋轉(zhuǎn)速率傳感器之前已經(jīng)置于節(jié)能模式中，由此可進一步降低總能耗。在此有利地將中斷接口相對簡單地、成本有利地且結(jié)構(gòu)空間緊湊地集成到旋轉(zhuǎn)速率傳感器中。工作振動的頻率和/或振幅的降低在本發(fā)明的意義上尤其意味著，旋轉(zhuǎn)速率傳感器從運行模式被置于節(jié)能模式、尤其“睡眠模式”或者“低能耗模式”中，在睡眠模式中完全關(guān)停工作振動 (頻率和振幅基本等于零)，在低能耗模式中工作振動以降低的能耗工作(頻率和/或振幅與正常運行模式相比降低)。中斷信號優(yōu)選由外部部件產(chǎn)生，外部部件尤其包括無源傳感器，由此通過外部部件引起的能耗小于通過旋轉(zhuǎn)速率傳感器在運行模式中引起的能耗。無源傳感器包括例如加速度傳感器，當沒有測量到加速力和/或測到的加速力不超過確定的閾值時，加速度傳感器在中斷接口上產(chǎn)生中斷信號。通過這種方式優(yōu)選保證，不出現(xiàn)可由旋轉(zhuǎn)速率傳感器測到的旋轉(zhuǎn)速率并因此有理由將旋轉(zhuǎn)速率傳感器置于節(jié)能模式中，在此不會 “忽略”要測量的旋轉(zhuǎn)速率。該旋轉(zhuǎn)速率傳感器優(yōu)選包括微機械的旋轉(zhuǎn)速率傳感器，其中襯底包括半導體襯底、尤其是硅。中斷接口優(yōu)選包括旋轉(zhuǎn)速率傳感器的連接管腳，它起到電觸點并且尤其起到簡單的插接觸點的作用。本發(fā)明的有利擴展結(jié)構(gòu)和改進方案可由從屬權(quán)利要求以及借助于附圖的描述得
出ο
按照一種優(yōu)選的實施形式規(guī)定，旋轉(zhuǎn)速率傳感器具有電路單元，該電路單元與中斷接口并且與驅(qū)動單元功能耦聯(lián)，其中，電路單元被配置用于檢測中斷信號并且電路單元被這樣地配置用于根據(jù)中斷信號控制驅(qū)動單元，使得在檢測到中斷信號時降低工作振動的頻率和/或振幅。以有利的方式通過電路單元這樣控制驅(qū)動單元，使得旋轉(zhuǎn)速率傳感器的能耗在檢測到中斷信號時無延遲地被降低。在此電路單元尤其利用簡單且特別低能耗的電和/或電子的電路實現(xiàn)，但是變換地也可以設(shè)想使用ASIC (Application Specified Integrated Circuit)和/或微控制器作為電路單元。驅(qū)動單元優(yōu)選包括例如呈指形電極驅(qū)動器和/或電容板驅(qū)動器形式的電容式驅(qū)動器，使得由驅(qū)動單元利用靜電的交互作用驅(qū)動振動質(zhì)量(seismischen Masse)至工作振動。在此優(yōu)選利用驅(qū)動單元的電極與振動質(zhì)量的配對電極之間的交變電壓感應出靜電的交互作用。該電路單元特別優(yōu)選配置用于降低交變電壓的頻率和/或振幅和/或關(guān)斷交變電壓，只要在中斷接口上檢測到中斷信號。
按照一種優(yōu)選的實施形式規(guī)定，旋轉(zhuǎn)速率傳感器被配置用于當在中斷接口上的中斷信號消失時接通工作振動和/或?qū)㈩l率和/或振幅提高到初始值。以有利的方式，只要在中斷接口上不再出現(xiàn)中斷信號，就將旋轉(zhuǎn)速率傳感器從節(jié)能模式中重新喚醒并且返回到其運行模式中，在該運行模式中由旋轉(zhuǎn)速率傳感器精確地檢測旋轉(zhuǎn)速率。例如只要外部部件和尤其加速度傳感器檢測到相應的加速度信號，該加速度信號充分證實要被測量的旋轉(zhuǎn)速率的存在性，就實現(xiàn)這個喚醒過程，以便將旋轉(zhuǎn)速率傳感器置于運行模式中。按照一種優(yōu)選的實施形式規(guī)定，旋轉(zhuǎn)速率傳感器具有數(shù)據(jù)接口，其中旋轉(zhuǎn)速率傳感器通過數(shù)據(jù)接口與工作處理器連接，其中旋轉(zhuǎn)速率傳感器優(yōu)選配置用于通過數(shù)據(jù)接口將與科里奧利偏轉(zhuǎn)有關(guān)的輸出信號輸出到工作處理器，其中數(shù)據(jù)接口特別優(yōu)選與中斷接口無關(guān)。以有利的方式在旋轉(zhuǎn)速率傳感器的運行模式中將由旋轉(zhuǎn)速率傳感器測到的輸出信號傳導到工作處理器，輸出信號尤其與出現(xiàn)的旋轉(zhuǎn)速率成比例。在此中斷接口和數(shù)據(jù)接口優(yōu)選相互獨立或相互分開，使得中斷信號由外部部件不必強制地通過工作處理器傳導到旋轉(zhuǎn)速率傳感器，而是取而代之直接施加在旋轉(zhuǎn)速率傳感器上。數(shù)據(jù)接口優(yōu)選是數(shù)字的數(shù)據(jù)接口。 中斷接口的結(jié)構(gòu)與數(shù)據(jù)接口無關(guān)的構(gòu)造的優(yōu)點是，不必通過數(shù)據(jù)接口傳遞附加的信息并因此不限制數(shù)據(jù)接口的帶寬。工作處理器優(yōu)選包括微控制器，它被設(shè)置用于應用或繼續(xù)處理旋轉(zhuǎn)速率信息。本發(fā)明的另一內(nèi)容是傳感器裝置，具有按照本發(fā)明的旋轉(zhuǎn)速率傳感器和一個傳感器，其特征在于，旋轉(zhuǎn)速率傳感器通過中斷接口與該傳感器耦聯(lián)，其中該傳感器配置用于根據(jù)傳感器信號通過中斷接口輸出中斷信號。因此該傳感器起到上述的外部部件的作用。傳感器信號以有利的方式用作旋轉(zhuǎn)速率存在或缺失的指標。因此根據(jù)傳感器信號例如尤其在一定的時間間隔上確定旋轉(zhuǎn)速率的缺失并接著產(chǎn)生中斷信號，通過中斷信號將旋轉(zhuǎn)速率傳感器從運行模式置于節(jié)能模式中。相反，在檢測到旋轉(zhuǎn)速率時，通過關(guān)斷中斷信號使旋轉(zhuǎn)速率傳感器從節(jié)能模式返回到運行模式中。特別優(yōu)選該傳感器包括無源傳感器，它比在運行模式中的旋轉(zhuǎn)速率傳感器具有更低的能耗，使得傳感器裝置的總能耗在旋轉(zhuǎn)速率傳感器的節(jié)能模式期間相對低。按照一種優(yōu)選的實施形式規(guī)定，該傳感器被配置用于根據(jù)傳感器信號與傳感器閾值的比較通過中斷接口輸出中斷信號和/或該傳感器包括加速度傳感器和/或接近傳感器。以有利的方式所述傳感器包括加速度傳感器，其中傳感器信號包括由加速度傳感器測得的加速度值，它用作旋轉(zhuǎn)速率的存在或缺失的指標，使得當沒有檢測到加速力和/或測到的加速力不超過確定的閾值時，在中斷接口上產(chǎn)生中斷信號。中斷接口尤其與加速度傳感器的“ANY-MOTION”輸出端耦聯(lián)本發(fā)明的另一內(nèi)容是一種用于運行旋轉(zhuǎn)速率傳感器的方法，其中利用驅(qū)動單元激勵振動質(zhì)量到工作振動并且檢測振動質(zhì)量垂直于工作振動的科里奧利偏轉(zhuǎn)，其中當在旋轉(zhuǎn)速率傳感器的中斷接口上檢測到中斷信號時，降低工作振動的頻率和/或振幅。以有利的方式如同上面已經(jīng)詳細描述地那樣，只要在中斷接口上出現(xiàn)中斷信號，就使旋轉(zhuǎn)速率傳感器從運行模式置于節(jié)能模式中。通過這種方式與現(xiàn)有技術(shù)相比能以簡單的方式和方法降低旋轉(zhuǎn)速率傳感器的能耗，無需附加的耗能的外部控制單元、例如微控制器或處理器來接通旋轉(zhuǎn)速率傳感器的節(jié)能模式。按照一種優(yōu)選的實施形式規(guī)定，利用電路單元監(jiān)控中斷接口出現(xiàn)中斷信號并且利用電路單元這樣控制驅(qū)動單元，使得在檢測到中斷信號時降低工作振動的頻率和/或振幅，其中工作振動的頻率和/或振幅優(yōu)選這樣多地降低，使得停止工作振動。因此以有利的方式持久地由電路單元監(jiān)控中斷接口，使得節(jié)能模式以“睡眠模式”或者“低能耗模式”形式被接通，在該睡眠模式中工作振動完全關(guān)斷(頻率和振幅基本等于零)，在低能耗模式中工作振動以降低的能耗工作(頻率和/或振幅與正常的運行模式相比降低)。按照一種優(yōu)選的實施形式規(guī)定，只要不再檢測到中斷信號，就再接通工作振動和/ 或?qū)⒐ぷ髡駝拥念l率和/或振幅再提高到初始值。只要中斷信號消失或中斷(例如由傳感器或外部部件)，則以有利的方式尤其利用電路單元使旋轉(zhuǎn)速率傳感器從節(jié)能模式返回到運行模式。按照一種優(yōu)選的實施形式規(guī)定，當檢測不到中斷信號時，根據(jù)科里奧利偏轉(zhuǎn)優(yōu)選產(chǎn)生輸出信號，它通過尤其與中斷接口無關(guān)的數(shù)據(jù)接口傳導到工作處理器。本發(fā)明的另一內(nèi)容是一種用于運行傳感器裝置的方法，該傳感器裝置具有旋轉(zhuǎn)速率傳感器和傳感器，其特征在于，通過按照本發(fā)明的用于運行旋轉(zhuǎn)速率傳感器的方法運行所述旋轉(zhuǎn)速率傳感器，其中由傳感器產(chǎn)生中斷信號，優(yōu)選根據(jù)傳感器信號與傳感器閾值的比較產(chǎn)生中斷信號并且特別優(yōu)選當由傳感器、尤其加速度傳感器測到確定的加速度值時產(chǎn)生中斷信號。因此以有利的方式尤其產(chǎn)生由加速度傳感器測到的加速度值，它用作旋轉(zhuǎn)速率的存在或缺失的指標，從而當沒有測到值得一提的加速力和/或測到的加速力不超過一定的閾值時，在中斷接口上產(chǎn)生中斷信號。


本發(fā)明的實施例在附圖中示出并且在下面的描述中詳細解釋。附圖中圖1示出按照本發(fā)明第一實施形式的傳感器裝置的示意圖，和圖2和3示出按照本發(fā)明第二實施形式的傳感器裝置的兩個運行狀態(tài)的示意圖。在不同的圖中相同的部件總是配有相同的附圖標記并因此通常也只列舉或提及一次。
具體實施例方式在圖1中示出按照本發(fā)明第一實施形式的傳感器裝置15的示意圖。該傳感器裝置15包括僅示意地且舉例地構(gòu)成的微機械的旋轉(zhuǎn)速率傳感器1以及微機械加速度傳感器 10形式的無源傳感器10。旋轉(zhuǎn)速率傳感器1包括襯底2和可相對于襯底2運動地懸掛的振動質(zhì)量3 (經(jīng)常也稱為科里奧利元件或傳感器元件)。利用電容式驅(qū)動單元4激勵振動質(zhì)量3至工作振動5，該工作振動在本示例中平行于襯底2的主延伸平面100取向。為此驅(qū)動單元4包括與襯底固定的指形電極結(jié)構(gòu)4’，振動質(zhì)量3的構(gòu)造為指形電極的配對電極4”嵌入指形電極結(jié)構(gòu)之間。在振動質(zhì)量3的每個側(cè)面上分別在指形電極4’與配對電極4”之間施加的交變電壓由于指形電極結(jié)構(gòu)4’與配對電極4”之間的靜電的交互作用而在振動質(zhì)量 3上產(chǎn)生驅(qū)動力，由此感應出工作振動。如果現(xiàn)在出現(xiàn)旋轉(zhuǎn)速率17，它垂直于工作振動5并平行于主延伸平面100取向，則在振動質(zhì)量3上作用垂直于主延伸平面100的科里奧利力， 由此引起振動質(zhì)量3垂直于主延伸平面100的科里奧利偏轉(zhuǎn)6。科里奧利偏轉(zhuǎn)6是要被測量的旋轉(zhuǎn)速率17的尺度，并且利用面狀電極元件14電容地被測量，面狀電極元件例如設(shè)置在振動質(zhì)量3與襯底2之間。取決于科里奧利偏轉(zhuǎn)6的輸出信號13通過數(shù)據(jù)接口 12被發(fā)送到工作處理器6，該工作處理器被設(shè)置用于繼續(xù)處理輸出信號13。數(shù)據(jù)接口 12尤其包括數(shù)字接口，使得輸出信號13作為數(shù)字數(shù)據(jù)傳輸?shù)焦ぷ魈幚砥?1。如果沒有旋轉(zhuǎn)速率17出現(xiàn)并且尤其在一定的時間間隔上沒有測到旋轉(zhuǎn)速率17，則為了節(jié)能應當將旋轉(zhuǎn)速率傳感器 1從所述的運行模式通過降低工作振動5的頻率和/或振幅置于節(jié)能模式中。節(jié)能模式尤其包括“睡眠模式”或 者“低能耗模式”，在睡眠模式中工作振動5完全關(guān)斷(頻率和振幅基本等于零)，在低能耗模式中工作振動5以降低的耗能工作(頻率和/或振幅與正常運行模式相比降低)。為此旋轉(zhuǎn)速率傳感器1具有中斷接口 7，它例如以附加的連接管腳或類似部件的形式實現(xiàn)。中斷接口 7與電路單元9耦聯(lián)，電路單元在出現(xiàn)中斷信號8方面有時或連續(xù)地檢驗中斷接口 7。電路單元9還與驅(qū)動單元4耦聯(lián)，其中驅(qū)動單元4由電路單元9這樣控制，使得旋轉(zhuǎn)速率傳感器1被置于節(jié)能模式中，即只要在中斷接口 7上檢測到中斷信號 8，則降低工作振動5的頻率和/或振幅或者置為零。接著使旋轉(zhuǎn)速率傳感器1優(yōu)選這樣長時間地保持在節(jié)能狀態(tài)中，只要在中斷接口 7上存在中斷信號8。如果中斷接口 7在以后的某時刻又沒有中斷信號8，則使旋轉(zhuǎn)速率傳感器1重新被置于運行模式中，即，這樣控制驅(qū)動單元4，使得工作振動5再接通和/或使工作振動5的頻率和/或振幅再返回到初始值。在此中斷信號8由無源傳感器10 (也稱為外部部件)接通或關(guān)斷，它優(yōu)選包括微機械的加速度傳感器。由加速度傳感器測到的加速度值以傳感器信號的形式與傳感器閾值進行比較。當加速度值低于傳感器閾值(尤其對于一定的時間間隔)時，產(chǎn)生中斷信號8，因為在這種情況下也不出現(xiàn)由旋轉(zhuǎn)速率傳感器1要測量的旋轉(zhuǎn)速率17。在加速度值超過傳感器閾值的情況下中止中斷信號8，由此旋轉(zhuǎn)速率傳感器1可以執(zhí)行旋轉(zhuǎn)速率測量?？梢栽O(shè)想， 原則上旋轉(zhuǎn)速率傳感器1也可以不同于在圖1中舉例示出的旋轉(zhuǎn)速率傳感器1。例如可以設(shè)想通過差分工作的具有兩個振動質(zhì)量3的旋轉(zhuǎn)速率傳感器1和/或通過多通道的旋轉(zhuǎn)速率傳感器1實現(xiàn)，它用于測量垂直于主延伸平面100和/或垂直于工作振動5的附加旋轉(zhuǎn)速率。此外可以設(shè)想以平板電容驅(qū)動器或類似裝置的形式實現(xiàn)驅(qū)動單元4。
在圖2和3中示出按照本發(fā)明第二實施形式的傳感器裝置15的兩個運行狀態(tài)的示意圖，其中第二實施形式基本與圖1中所示的第一實施形式相同。在圖2中示出在運行模式中的旋轉(zhuǎn)速率傳感器1，在該運行模式中在中斷接口 7上沒有中斷信號8。在這個運行模式中旋轉(zhuǎn)速率傳感器1持久地執(zhí)行旋轉(zhuǎn)速率測量并且根據(jù)測到的科里奧利偏轉(zhuǎn)6通過數(shù)據(jù)接口 12將輸出信號13傳輸?shù)焦ぷ魈幚砥?1，該工作處理器尤其包括微控制器。在圖3 中由傳感器10檢測的傳感器信號低于傳感器閾值，由此在中斷接口 7上出現(xiàn)中 斷信號8。 因此旋轉(zhuǎn)速率傳感器1通過降低工作振動5的振幅和/或頻率置于節(jié)能狀態(tài)中，在該節(jié)能狀態(tài)中不執(zhí)行旋轉(zhuǎn)速率測量。因此沒有輸出信號13通過數(shù)據(jù)接口 12發(fā)送到工作處理器11 上。該事實情況通過虛線的數(shù)據(jù)接口 12示意示出。
權(quán)利要求
1.旋轉(zhuǎn)速率傳感器(1)，具有襯底(2)和能夠相對于所述襯底(2)運動的振動質(zhì)量 (3)，其中，所述振動質(zhì)量(3)能利用驅(qū)動單元(4)激勵至相對于所述襯底(2)的工作振動(5)并且所述振動質(zhì)量(3)垂直于所述工作振動(5)的科里奧利偏轉(zhuǎn)(6)是可檢測的，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)速率傳感器(1)具有中斷接口(7)，其中，所述驅(qū)動單元(4)被配置用于在所述中斷接口(7)上出現(xiàn)中斷信號(8)時降低所述工作振動(5)的頻率和/或振幅。
2.如權(quán)利要求1所述的旋轉(zhuǎn)速率傳感器(1)，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)速率傳感器(1)具有電路單元(9)，所述電路單元與所述中斷接口(7)并且與所述驅(qū)動單元(4)在功能上耦聯(lián)，其中，所述電路單元(9)被配置用于檢測所述中斷信號(8)并且所述電路單元(9)這樣被配置用于根據(jù)所述中斷信號(8)控制所述驅(qū)動單元(4)，使得在檢測到所述中斷信號(8) 時降低所述工作振動(5)的頻率和/或振幅。
3.如上述權(quán)利要求中任一項所述的旋轉(zhuǎn)速率傳感器(1)，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)速率傳感器(1)被配置用于當在所述中斷接口(7)上的中斷信號(8)消失時接通所述工作振動(5)和/或?qū)⑺鲱l率和/或振幅提高到初始值，和/或所述旋轉(zhuǎn)速率傳感器(1)具有數(shù)據(jù)接口(12)，其中，所述旋轉(zhuǎn)速率傳感器(1)通過所述數(shù)據(jù)接口(12)與工作處理器(11) 連接，所述旋轉(zhuǎn)速率傳感器(1)優(yōu)選被配置用于通過所述數(shù)據(jù)接口(12)將與科里奧利偏轉(zhuǎn)(6)有關(guān)的輸出信號(13)輸出到所述工作處理器(11)，所述數(shù)據(jù)接口(12)特別優(yōu)選與所述中斷接口(7)無關(guān)。
4.傳感器裝置(15)，具有如上述權(quán)利要求中任一項所述的旋轉(zhuǎn)速率傳感器(1)和一傳感器(10)，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)速率傳感器(1)通過中斷接口(7)與所述傳感器(10)耦聯(lián)，其中，所述傳感器(10)被配置用于根據(jù)傳感器信號通過所述中斷接口(7)輸出中斷信號⑶。
5.如權(quán)利要求4所述的傳感器裝置(15)，其特征在于，所述傳感器(10)被配置用于根據(jù)所述傳感器信號與傳感器閾值(16)的比較通過所述中斷接口(7)輸出中斷信號(8)，和 /或所述傳感器(10)包括加速度傳感器和/或接近傳感器。
6.用于運行旋轉(zhuǎn)速率傳感器(1)、尤其如權(quán)利要求1至4中任一項所述的旋轉(zhuǎn)速率傳感器(1)的方法，其特征在于，利用驅(qū)動單元(4)將振動質(zhì)量(3)激勵至工作振動(5)并且檢測所述振動質(zhì)量(3)垂直于所述工作振動(5)的科里奧利偏轉(zhuǎn)(6)，其中，當在所述旋轉(zhuǎn)速率傳感器(1)的中斷接口(7)上檢測到中斷信號(8)時，降低所述工作振動(5)的頻率和/或振幅。
7.如權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于，利用電路單元(9)在中斷信號(8)的出現(xiàn)方面監(jiān)控所述中斷接口(7)并且利用所述電路單元(9)這樣控制所述驅(qū)動單元(4)，使得在檢測到中斷信號(8)時降低所述工作振動(5)的頻率和/或振幅，其中，所述工作振動(5) 的頻率和/或振幅優(yōu)選這樣程度地降低，使得所述工作振動(5)停止。
8.如權(quán)利要求6或7所述的方法，其特征在于，只要在所述振動接口(7)上不再檢測到所述中斷信號(8)，就重新接通所述工作振動(5)和/或?qū)⑺龉ぷ髡駝?5)的頻率和/ 或振幅重新提高到初始值。
9.如權(quán)利要求6至8中任一項所述的方法，其特征在于，當檢測不到中斷信號(8)時， 根據(jù)科里奧利偏轉(zhuǎn)(6)優(yōu)選產(chǎn)生輸出信號(13)，所述輸出信號通過尤其與所述中斷接口(7)無關(guān)的數(shù)據(jù)接口(12)傳導到工作處理器(11)。
10.用于運行具有旋轉(zhuǎn)速率傳感器(1)和傳感器(10)的傳感器裝置(15)的方法，其特征在于，通過如權(quán)利要求6至9中任一項所述的方法運行所述旋轉(zhuǎn)速率傳感器(1)，其中，由所述傳感器(10)產(chǎn)生所述中斷信號(8)，并且優(yōu)選根據(jù)傳感器信號與傳感器閾值(16)的比較產(chǎn)生所述中斷信號(8)并且特別優(yōu)選當?shù)陀诖_定的加速度值時產(chǎn)生所述中斷信號(8)。
全文摘要
本發(fā)明提出一種旋轉(zhuǎn)速率傳感器、一種傳感器裝置、一種用于運行旋轉(zhuǎn)速率傳感器的方法和一種用于運行傳感器裝置的方法，該旋轉(zhuǎn)速率傳感器具有襯底和振動質(zhì)量，其中該振動質(zhì)量可利用驅(qū)動單元被激勵至相對于襯底的工作振動并且振動質(zhì)量相對于襯底的科里奧利偏轉(zhuǎn)是可檢測的，其中所述旋轉(zhuǎn)速率傳感器還具有中斷接口，驅(qū)動單元被配置用于在中斷接口上出現(xiàn)中斷信號時降低工作振動的頻率和/或振幅。
文檔編號G01C19/56GK102353367SQ20111015210
公開日2012年2月15日 申請日期2011年6月1日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月1日
發(fā)明者F·本尼泥, J·巴托洛邁奇克, O·科恩, R·庫 申請人:羅伯特·博世有限公司