專(zhuān)利名稱(chēng)：微流體溫度場(chǎng)測(cè)量裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種微流體溫度場(chǎng)測(cè)量裝置。
背景技術(shù)：
采用光學(xué)方法解決與折射率相關(guān)的流場(chǎng)的溫度場(chǎng)參數(shù)測(cè)量問(wèn)題，在流場(chǎng)溫度場(chǎng)分布的測(cè) 量中使用廣泛。
參照?qǐng)D2，文獻(xiàn)2 "Application of holographic interferometry and 2D PIV for HSC convective flow diagnostics. Meas. Sci. Technol. 2004, 15: 664~672"公開(kāi)了一種利用Mach-Zehnder干涉儀
進(jìn)行溫度場(chǎng)測(cè)量的裝置和方法，其干涉儀光路圖為光線(xiàn)從光源6發(fā)出，在反射鏡3處發(fā)生 反射；經(jīng)過(guò)擴(kuò)束準(zhǔn)直之后，在半透半反射棱鏡7處一半光線(xiàn)直接透射出去成為物光， 一半光 線(xiàn)反射成為參考光。物光經(jīng)過(guò)被測(cè)物體2，再經(jīng)過(guò)反射鏡3反射到半透半反射棱鏡7上；同 時(shí)，參考光也經(jīng)過(guò)反射鏡3反射到半透半反射棱鏡7上；物光與參考光在半透半反射棱鏡7 匯聚，產(chǎn)生干涉圖像。
Mach-Zehnder干涉儀屬于分光路系統(tǒng)，很容易受外界影響，當(dāng)參考光臂與物光臂的溫度、 空氣密度或臂長(zhǎng)不一樣時(shí)，都會(huì)引起測(cè)量不確定度誤差，所以，該干涉儀只適合宏觀(guān)流場(chǎng)測(cè) 量，不適合微流場(chǎng)的測(cè)量。 發(fā)明內(nèi)容為了克服現(xiàn)有技術(shù)的分光路光學(xué)系統(tǒng)存在測(cè)量誤差的不足，本實(shí)用新型提供一種微流體 溫度場(chǎng)測(cè)量裝置，采用共光路光學(xué)系統(tǒng)，可以消除外界因素對(duì)光路的干擾，減少測(cè)量誤差。
本實(shí)用新型解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案 一種微流體溫度場(chǎng)測(cè)量裝置，包括光源，
其特點(diǎn)是，還包括起偏器；聚光鏡、半透半反射棱鏡、偏振分光棱鏡、物鏡、四分之一波片、
檢偏器、CCD，光源射出的光束通過(guò)起偏器起偏，變成偏振光，再經(jīng)過(guò)聚光鏡，會(huì)聚成平行光 同時(shí)消除光線(xiàn)中的雜散光；該光線(xiàn)經(jīng)過(guò)半透半反射棱鏡，反射至偏振分光棱鏡，偏振分光棱 鏡將該光束剪切成振動(dòng)方向正交的兩束光；這兩束光通過(guò)物鏡，匯聚成兩束平行光，該平行 光分別射到微流體芯片的不同位置，再按照原方向反射出去，通過(guò)物鏡、偏振分光棱鏡合成 為一束光線(xiàn)；該光線(xiàn)穿過(guò)半透半反射棱鏡、四分之一波片、檢偏器，最終成像在CCD靶面上。
本實(shí)用新型的有益效果是由于本實(shí)用新型微流體溫度場(chǎng)測(cè)量裝置，采用共光路光學(xué)系 統(tǒng)，消除了外界因素對(duì)光路的干擾，減少了測(cè)量誤差。
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作詳細(xì)說(shuō)明。

圖l是本實(shí)用新型微流體溫度場(chǎng)測(cè)量裝置的光路圖。 圖2是現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)2中Mach-Zehnder干涉儀光路圖。
圖中，2-被測(cè)物體，3-反射鏡，6-光源，7-半透半反射棱鏡，8-起偏器，9-聚光鏡，10-偏振分光棱鏡，11-物鏡，12-微流體芯片，13-四分之一波片，14-檢偏器，15-CCD。
具體實(shí)施方式
參照?qǐng)D1，本實(shí)用新型微流體溫度場(chǎng)測(cè)量裝置包括光源6、起偏器8、聚光鏡9、半 透半反射棱鏡7、偏振分光棱鏡IO、物鏡ll、四分之一波片13、檢偏器14和CCD15。 光源6選擇波長(zhǎng)為632.8nm的氦氖激光，射出的光束通過(guò)起偏器8起偏，變成偏振光， 再經(jīng)過(guò)聚光鏡9，會(huì)聚成平行光同時(shí)消除光線(xiàn)中的雜散光。該光線(xiàn)經(jīng)過(guò)半透半反射棱鏡7， 一部分直接射出光路系統(tǒng)， 一部分反射至偏振分光棱鏡10。本實(shí)施例的偏振分光棱鏡10 為諾曼斯基棱鏡，也可以用沃拉斯頓棱鏡。偏振分光棱鏡io將該光束剪切成振動(dòng)方向正 交的兩束光，剪切量為g。這兩束光通過(guò)物鏡11，匯聚成兩束平行光，該平行光分別射 到微流體芯片12的不同位置，再按照原方向反射出去，通過(guò)物鏡11、偏振分光棱鏡10 合成為一束光線(xiàn)。該光線(xiàn)穿過(guò)半透半反射棱鏡7、四分之一波片13、檢偏器14，最終成 像在CCD15靶面上。
權(quán)利要求1、一種微流體溫度場(chǎng)測(cè)量裝置，包括光源，其特征在于還包括起偏器、聚光鏡、半透半反射棱鏡、偏振分光棱鏡、物鏡、四分之一波片、檢偏器、CCD，光源射出的光束通過(guò)起偏器起偏，變成偏振光，再經(jīng)過(guò)聚光鏡，會(huì)聚成平行光同時(shí)消除光線(xiàn)中的雜散光；該光線(xiàn)經(jīng)過(guò)半透半反射棱鏡，反射至偏振分光棱鏡，偏振分光棱鏡將該光束剪切成振動(dòng)方向正交的兩束光；這兩束光通過(guò)物鏡，匯聚成兩束平行光，該平行光分別射到微流體芯片的不同位置，再按照原方向反射出去，通過(guò)物鏡、偏振分光棱鏡合成為一束光線(xiàn)；該光線(xiàn)穿過(guò)半透半反射棱鏡、四分之一波片、檢偏器，最終成像在CCD靶面上。
2、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的微流體溫度場(chǎng)測(cè)量裝置，其特征在于所述的偏振分光棱鏡是 諾曼斯基棱鏡。
3、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的微流體溫度場(chǎng)測(cè)量裝置，其特征在于所述的偏振分光棱鏡是 沃拉斯頓棱鏡。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種微流體溫度場(chǎng)測(cè)量裝置，包括光源，其特點(diǎn)是還包括起偏器、聚光鏡、半透半反射棱鏡、偏振分光棱鏡、物鏡、四分之一波片、檢偏器和CCD，光源射出的光束通過(guò)起偏器變成偏振光，再經(jīng)過(guò)聚光鏡會(huì)聚成平行光，該光線(xiàn)經(jīng)過(guò)半透半反射棱鏡，反射至偏振分光棱鏡后被剪切成兩束光；這兩束光通過(guò)物鏡射到微流體芯片上，再按照原方向反射，通過(guò)物鏡、偏振分光棱鏡、半透半反射棱鏡、四分之一波片、檢偏器，最終成像在CCD靶面上。由于采用共光路光學(xué)系統(tǒng)，消除了外界因素對(duì)光路的干擾，減少了測(cè)量誤差。
文檔編號(hào)G01N21/00GK201141832SQ20072031125
公開(kāi)日2008年10月29日 申請(qǐng)日期2007年12月14日 優(yōu)先權(quán)日2007年12月14日
發(fā)明者呂湘連, 虹 唐, 維 張, 黎永前 申請(qǐng)人:西北工業(yè)大學(xué)