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集成電路中的集成測試電路的制作方法

文檔序號:5931241閱讀:176來源:國知局
專利名稱:集成電路中的集成測試電路的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本案涉及一種在集成電路中之集成測試電路,其可被用來測試集成電路之內(nèi)電壓。本案亦有關(guān)于一種測試在集成電路中內(nèi)電壓之方法。
背景技術(shù)
關(guān)于集成半導(dǎo)體電路的正確功能系在其制造期間與制造完成后進(jìn)行檢驗,當(dāng)測試半導(dǎo)體電路時必須,特別是,測試在半導(dǎo)體電路內(nèi)部所產(chǎn)生的電壓,也就是測試內(nèi)部所產(chǎn)生的電壓是否對應(yīng)于期望的電壓。為了此一目的,通常的狀況是內(nèi)部所產(chǎn)生的電壓藉由特定的測試端而可由外部所存取,以至于連接的測試器裝置可將電壓引并且可以將后者與參考電壓進(jìn)行比較。
為了節(jié)省在集成電路上的測試終端,已知的是,當(dāng)有復(fù)數(shù)內(nèi)部產(chǎn)生的電壓時,在連接的外部測試器裝置或是集成測試電路的控制之下,來提供可將不同的電壓施用至為其所提供的共享測試終端之多任務(wù)器裝置。透過該共享測試終端,內(nèi)部所產(chǎn)生電壓然后可與各自的參考電壓依次地進(jìn)行比較,其因而可能來檢查內(nèi)部所產(chǎn)生的電壓是否對應(yīng)于期望的電壓。
大體而言,為此所使用的測試終端僅僅是在前端測試期間是可利用,也就是在集成半導(dǎo)體電路未切割(unsawn)的狀態(tài)。在電路已經(jīng)切割與封裝(housing)之后,已不再使用測試終端,因此,一般而言其已不再可能用來檢查內(nèi)電壓。而其缺點是由于集成半導(dǎo)體電路系會受到在前端測試后發(fā)生的測試步驟、與切割以及封裝的影響,因而內(nèi)部所產(chǎn)生的電壓也會改變。
而另外的缺點是為了量測電壓時,對應(yīng)的資源,亦即測試器信道必須由測試器裝置來提供。此種狀況是不利的,特別是在半導(dǎo)體電路有效的平行測試時,因為將被測試的半導(dǎo)體電路必須透過相當(dāng)大量的測試信道而被連接到測試器,而此等相當(dāng)大量的測試線路將會使平行性降低,并且當(dāng)測試半導(dǎo)體電路時,也會降低通量(throughput)。

發(fā)明內(nèi)容
本案的一目的為提供一種測試電路,其可簡化復(fù)數(shù)內(nèi)電壓之測試,而且其仍然能夠使復(fù)數(shù)內(nèi)電壓的測試同樣地在后端測試方法中。
此等目的可藉由根據(jù)權(quán)利要求第1項的集成測試電路以及根據(jù)權(quán)利要求第11項的方法而達(dá)成。
而本案進(jìn)一步有利的細(xì)步改進(jìn)則于權(quán)利要求附屬項中具體說明之。
本案的第一觀點為提供一種在集成電路中的集成測試裝置,其可用以測試復(fù)數(shù)內(nèi)電壓。一交換裝置被提供,其系用以根據(jù)為了測試目的之選擇信號而來選擇其中一內(nèi)電壓;一比較器裝置被提供,其系依據(jù)該選擇的內(nèi)電壓,以比較一量測電壓與一外部指定的參考電壓,并且用以輸出由于該比較之一錯誤信號。
根據(jù)本案之集成測試電路所具有的優(yōu)點是內(nèi)電壓的檢查可以在集成電路內(nèi)實行,因而可能節(jié)省連接的測試器裝置資源。換言之,測試器裝置不必提供資源以比較內(nèi)電壓與參考電壓。再者,其亦可能藉由切換裝置來選擇內(nèi)電壓,以至于在集成測試電路中僅必須有比較器裝置,并且比較的結(jié)果可以在比較器的輸出端被讀出。在此種方式下,其可避免提供復(fù)數(shù)外部終端,透過此等外部終端個別的內(nèi)電壓系可被讀出。因為外部終端的數(shù)量通常是非常有限的,因而,本案之集成測試電路可架構(gòu)出相當(dāng)大的好處。
根據(jù)本案,其可提供正好對應(yīng)于選擇的內(nèi)電壓之量測電壓,或者是提供一分壓器,用以產(chǎn)生量測電壓,以做為被測試的內(nèi)電壓之預(yù)先決定的部分。分壓器的優(yōu)點在于成為可用的參考電壓系被用來測試復(fù)數(shù)內(nèi)電壓,其包含不同的內(nèi)電壓,并相繼地使用比較器裝置。
為了選擇交換裝置之被量測的內(nèi)電壓,一控制電路可被提供以用來將復(fù)數(shù)分壓器的其中一連接至比較器裝置。
錯誤信號一方面可在集成電路的終端直接被讀出另一方面,一儲存組件可被提供來緩沖-儲存此錯誤信號。然后,錯誤信號在一適合的點上及時的從外部而被讀出,例如,藉由一信號終端。
較佳地,信號終端能在可切換的方式下,依序透過一切換組件與透過信號終端而被連接至儲存組件或是比較器裝置,用以讀取儲存組件或是將參考電壓運用至比較器裝置。在此方式下,其可實行參考電壓的配備與藉由信號終端而讀出內(nèi)電壓的測試結(jié)果。在此狀況下,首先將參考電壓實施至信號終端,并根據(jù)一選擇信號來選擇內(nèi)電壓,而比較器裝置則提供參考電壓與量測電壓的比較結(jié)果,并將結(jié)果儲存在儲存組件中。經(jīng)由交換裝置的轉(zhuǎn)換,該儲存組件然后被連接至信號終端,如此儲存在儲存組件中的錯誤信號可被連接的測試器裝置讀出。
另外的交換組件可被提供,藉此,信號終端能被連接至集成電路的內(nèi)部信號線路,用以接收及/或輸出信號。在此種方式下,其可使用信號終端來測試集成電路,此信號終端可在稍后正常的運作中建構(gòu)資料的輸入/輸出(舉例而言)。
較佳地,交換裝置及/或另外的交換裝置能夠被測試控制信號控制,其系在集成電路中由內(nèi)部地被配備或是由連接的測試器裝置配備。
本案另一方面系提供一種測試集成電路的方法,其中該集成電路具有根據(jù)本案的測試電路。在此種狀況下,首先選擇一集成電路的內(nèi)電壓,并且使參考電壓成為由外部可茲使用。一量測電壓其系取決于選擇的內(nèi)電壓,此量測電壓系被與成為可用的參考電壓進(jìn)行比較,而由于此一比較,因此可產(chǎn)生一錯誤信號,而用以輸出至一測試器裝置。


本案的較佳實施例將由以下參考所附圖式而更詳細(xì)的說明,其中第1圖系顯示根據(jù)本案測試電路的第一較佳實施例以及第2圖系顯示本案另一較佳實施例。
具體實施例方式
第1圖系顯示的集成電路1,其具有用以測試復(fù)數(shù)內(nèi)電壓V0、V1、V2、...Vn之測試電路2。該測試電路系包含復(fù)數(shù)分壓器3,每個包含一第一電阻器R1與一第二電阻器R2。
每個分壓器3系藉由一開關(guān)4而被連接至比較器裝置5的第一輸入,開關(guān)4則透過控制單元6而被控制,以至于在每一狀況中,為了將分別的分壓器連接至比較器裝置5的第一輸入,僅有其中一開關(guān)4被關(guān)閉。
分壓器會產(chǎn)生一量測電壓,此量測電壓系與在比較器裝置5的第二輸入上呈現(xiàn)的參考電壓進(jìn)行比較。比較器裝置5具有一輸出,一錯誤信號可藉由信號終端而在此輸出上被輸出,而參考電壓Vref通常透過另外的信號終端8而成為可被比較器裝置5使用。
開關(guān)4系透過控制單元6而被控制,其控制方式為在每一情況下僅其中一開關(guān)4被關(guān)閉,以為了將僅其中一量測電壓實施至比較器裝置5的第一輸入。取代控制單元6以控制開關(guān)4,也可針對開關(guān)4由另一信號終端的配備而提供一外部的控制,開關(guān)4可藉由其而受到控制。此種狀況下,在集成電路1的測試期間,一連接的測試器將必須透過該另外的信號終端而進(jìn)行開關(guān)4的控制。
分壓器6系被按尺寸切割,以致其可從內(nèi)電壓Vo、V1、V2...Vn產(chǎn)生各自的量測電壓,其實質(zhì)上具有彼此類似而適合的電位,其較理想地是完全相同的電位,亦即,所有的內(nèi)電壓皆具有期望的電壓。在此種狀況下,僅必須使一參考電壓成為可用的,以至于關(guān)于參考電壓Vref的配備則僅需要一信號終端8。不言而喻,在不同參考電壓被提供之情況中,其所可提供的是,分壓器3會產(chǎn)生彼此顯著不同的量測電壓。然后,分壓器3必須被分大小,使得其所提供之電壓實質(zhì)上遠(yuǎn)離于比較器裝置5的較高與較低的供應(yīng)電壓,而比較器裝置5的晶體管以一最小電壓來驅(qū)動。
控制單元6可藉由一由外部連接的測試器裝置或是自動地實行預(yù)先決定的測試方法而受到控制。
在使用測試器裝置之集成電路1的測試期間,首先,參考電壓Vref被施用至另外的信號終端8,之后,每一開關(guān)4分別地被關(guān)閉,其實際上是以一接著一的方式進(jìn)行,其系為了將從內(nèi)電壓Vo、V1、V2...Vn所形成的各自的量測電壓實施至比較器裝置的第一輸入。接著,比較器裝置將參考電壓Vref與各自的量測電壓進(jìn)行比較,并將比較的結(jié)果輸出至信號終端7,其可被測試器裝置由此處而讀出。
第2圖系顯示根據(jù)本案測試電路之另一較佳實施例,相同的參考符號系對應(yīng)于相同的組件。
第2圖中所顯示的測試電路2同樣地包含一比較器裝置5,比較器的第一輸入系被連接至一多任務(wù)器電路10,復(fù)數(shù)內(nèi)電壓Vo、V1、V2...Vn可藉由此多任務(wù)器電路10以可切換的方式而被應(yīng)用??刂茊卧?系決定哪一內(nèi)電壓Vo、V1、V2...Vn會被施用至比較器的第一輸入。
代替將內(nèi)電壓Vo、V1、V2...Vn直接實施至比較器裝置5,第2圖中所示的較佳實施例也提供藉由分壓器而產(chǎn)生量測電壓與以可切換的方式將該量測電壓實施至比較器裝置5的第一輸入的可能性。
比較器裝置5的第二終端系被連接至一切換組件12,藉由其,參考電壓Vref可被實施至比較器裝置5的第二輸入。
比較器裝置5較佳是以使用一錯誤資料來具體說明電壓實質(zhì)上是否相等或是不同的方式而組態(tài)。
比較器裝置5的一輸出系被連接至一儲存組件11,其系儲存在參考電壓Vref與分別選擇的內(nèi)電壓Vo、V1、V2...Vn間的比較結(jié)果。切換組件12系以下述方式來組態(tài),其系透過一連接切換組件1 與控制單元6的測試控制線路13而被控制,其系將一信號終端14連接至比較器裝置5的第二輸入或是連接至儲存組件11的輸出或是集成電路的內(nèi)部信號線路15。
儲存組件11最好是以具有兩個相對耦合的反向器之閂(latch)來設(shè)計。
第2圖中所示的測試電路,其可使為了集成電路的正常運轉(zhuǎn)而被使用、與在正常運轉(zhuǎn)期間被連接至內(nèi)部信號線路15、以及也可被用來測試復(fù)數(shù)內(nèi)電壓Vo、V1、V2...Vn之信號終端成為可能。為了此等目的,首先,切換裝置10系被切換,以至于其中一內(nèi)電壓(例如內(nèi)電壓V0)被實施至比較器裝置5的第一輸入,同時,切換組件12亦被切換,使得信號終端14被連接至比較器裝置5的第二終端,用以將一參考電壓Vref實施至比較器裝置5的第二輸入。
參考電壓Vref通常是透過一連接的測試器裝置(未顯示)而變成可用的,之后,切換組件12被切換使得信號終端14被連接至儲存組件11的輸出上。所進(jìn)行最后比較的結(jié)果系被儲存在儲存組件11中,并且具體指出在特定的狀況下該選擇的內(nèi)電壓是否以及以何種方式偏離該參考電壓。透過信號終端14,其因而可能從測試器裝置將比較的結(jié)果讀出。
切換組件12的切換系與切換裝置10的切換方式相同,其切換系受控制單元6之控制。控制單元6可獨立地或是根據(jù)測試器裝置所配備的方法來進(jìn)行測試順序。
如第2圖所示根據(jù)本案測試電路的較佳實施例,其可僅使用一信號終端14來測試內(nèi)電壓,此外,信號終端14在正常運轉(zhuǎn)期間系被連接至一內(nèi)部信號線路15,以至于信號終端14也可做為資料輸入及/或輸出而操作。由于內(nèi)電壓的測試差不多是完全地在集成電路之內(nèi)進(jìn)行的事實,因而可解省測試器資源。僅有一信號終端必須被使用的事實其意為也僅需要一測試線路來連接集成電路1與測試器裝置,此可減少連接的測試線路之總數(shù)量,使得大量的集成電路1可同時地在一測試器裝置進(jìn)行測試。
再者,根據(jù)本案的測試電路所具有的優(yōu)點是,因為測試可藉由在正常運轉(zhuǎn)期間所使用的信號終端來實行,因而內(nèi)電壓的測試甚至可以封裝的集成電路進(jìn)行。
權(quán)利要求
1.一種在集成電路(1)中之集成測試電路,用以測試復(fù)數(shù)內(nèi)電壓(V0、V1、V2、…Vn),一交換裝置(4),其系用以根據(jù)為了測試目的之一選擇信號來選擇其中一該內(nèi)電壓(V0、V1、V2、…Vn)而被提供,一比較器裝置(5),其系依據(jù)該選擇的內(nèi)電壓(V0、V1、V2、…Vn),以比較一量測電壓與一外部指定的參考電壓(Vref),并且用以輸出由于該比較之一錯誤信號。
2.如權(quán)利要求第1項所述之測試電路,其中該量測電壓系對應(yīng)于該選擇的內(nèi)電壓。
3.如權(quán)利要求第1項所述之測試電路,其中為了至少一被測試的內(nèi)電壓,一配備系由一分壓器所構(gòu)成,用以產(chǎn)生該量測電壓以做為該被測試的內(nèi)電壓之預(yù)先決定的部分。
4.如權(quán)利要求第3項所述之測試電路,其中復(fù)數(shù)分壓器(3)被提供,其系以從該內(nèi)電壓(V0、V1、V2、…Vn)所產(chǎn)生的量測電壓分別地在該分壓器上呈現(xiàn)的方式而被組態(tài),其在每個該分壓器(3)上具有相同的電位(potential)。
5.如權(quán)利要求第3項至第4項其中之一所述之測試電路,其中一控制電路(6)被提供,用以將該復(fù)數(shù)分壓器(3)之其中之一連接至該比較器裝置(5)。
6.如權(quán)利要求第1項至第5項其中之一所述之測試電路,其中一儲存組件(11)被提供,用以儲存該錯誤信號。
7.如權(quán)利要求第1項至第6項其中之一所述之測試電路,其中該儲存組件(11)的內(nèi)容可藉由一信號終端(14)而能夠從外面被讀出。
8.如權(quán)利要求第7項所述之測試電路,其中該信號終端(14)能在可切換的方式下,依序透過一切換組件(4)與透過該信號終端而被連接至該儲存組件(11)或是該比較器裝置(5),用以讀取該儲存組件(11)或是將該參考電壓(Vref)運用至該比較器裝置(5)。
9.如權(quán)利要求第7項或第8項所述之測試電路,其中該信號終端可被連接至該集成電路(1)的一內(nèi)部信號線路(15),藉由一另外的切換組件(12)而以一可切換的方式來接收及/或輸出一信號。
10.如權(quán)利要求第8項或第9項所述之測試電路,其中該切換組件及/或該另外的切換組件(12)系可被一測試控制信號控制。
11.一種測試集成電路的方法,該集成電路系具有如權(quán)利要求第1項至第10項其中之一所述之測試電路,其中該集成電路(1)的一內(nèi)電壓(V0、V1、V2、…Vn)被選擇,一可用的參考電壓(Vref),依據(jù)該選擇的內(nèi)電壓(V0、V1、V2、…Vn),一量測電壓系被與該可用的參考電壓比較,由于該比較而產(chǎn)生一錯誤信號。
全文摘要
本案系有關(guān)于一種在集成電路中之集成測試裝置,用以測試復(fù)數(shù)內(nèi)電壓,一切換裝置被提供,用以選擇根據(jù)為了測試目的之選擇信號來選擇其中一內(nèi)電壓;一比較器裝置被提供,其系依據(jù)該選擇的內(nèi)電壓,以比較一量測電壓與一外部指定的參考電壓,以及由于該比較而輸出一錯誤信號。
文檔編號G01R19/165GK1523368SQ20041000544
公開日2004年8月25日 申請日期2004年2月18日 優(yōu)先權(quán)日2003年2月18日
發(fā)明者G·弗蘭科維斯基, R·凱塞, G 弗蘭科維斯基 申請人:因芬尼昂技術(shù)股份公司
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