用于高粘度含液體材料的壓力配送的設備和方法
【專利摘要】一種基于襯里的壓力配送容器，包括基于連接器安裝的探針，該探針被設置為使得汲取管坐靠在襯里配件的內表面上以用于密封功能。汲取管和探針可以包括增大的和/或匹配的流動區(qū)域。逆流防止元件可以被設置為靠近液體抽取開口以防止液體從汲取管到容器中的逆流。缺少襯里的容器可以包括被設置為接收汲取管的直徑減小的下部，其中至少一個相關聯的傳感器感測指示來自下部的液體的排空的狀態(tài)。運輸蓋可以被包含以用于從襯里中移除頂部空間氣體。在一個實施例中，運輸蓋適于直接連接到配送過程。
【專利說明】
用于高粘度含液體材料的壓力配送的設備和方法
[0001] 相關聯申請的交叉引用
[0002] 本申請要求2013年9月20日提交的美國臨時專利申請No.61/880,330的優(yōu)先權，該 申請的內容通過引用全部納入此文。
技術領域
[0003] 本公開涉及流體處理和配送系統(tǒng)，該流體處理和配送系統(tǒng)諸如可以被用于配送基 于襯里的容器的內容物。更具體地，本公開的多個實施例涉及使用加壓氣體而配送高粘度 含液體材料(該材料包括但不限于，透明樹脂），同時最小化或降低氣泡的形成，并且最小化 或降低這些材料和周圍環(huán)境之間的接觸。特定的實施例涉及此種系統(tǒng)的制造、使用和部署。
【背景技術】
[0004] 在很多工業(yè)應用中，化學試劑和混合物需要在高純狀態(tài)下被供給，并且已經開發(fā) 了專用的包裝以保證被供給的材料在包裝填充、儲存、運輸和配送操作期間被保持在純凈 和適當的形式下。
[0005] 在微電子裝置和顯示面板制造領域，適當包裝的需求對于多種液體或含液體混合 物而言是尤其強烈的，因為包裝材料中的污染物或者浸入到包裝中的被容納材料的環(huán)境污 染物可以不利地影響利用此種液體或含液體混合物制成的微電子設備和顯示面板產品，導 致最終的產品存在缺陷或者甚至對于它們的預期用途而言是無用的。在此種液體或含液體 混合物中存在氣泡可以具有類似的不利結果。
[0006] 由于這些考慮，已經針對用在微電子設備和顯示面板制造中的液體或含液體混合 物，諸如光刻膠、蝕刻劑、化學蒸汽沉積試劑、溶劑、晶片和工具清洗劑、化學機械拋光混合 物、顏色過濾化學制品、涂料、液晶材料等，研發(fā)了很多類型的高純度包裝。
[0007] 用于高純度材料的一種傳統(tǒng)類型的包裝包括剛性的、大致剛性的、或半剛性的容 器(也稱為外包裝），該容器容納柔性襯里或包中的液體或基于液體的混合物，該柔性襯里 或包通過諸如蓋或封蓋等的保持結構在外包裝中被固定就位。此種包裝通常被稱為"罐中 包（BIC)"，"瓶中包（BIB)"和"鼓中包（BID)"包裝。此種一般類型的包裝可從Advanced Technology Materials公司（美國康乃迪克州丹伯里市)購得(例如，以商標1\1_0\￥1_>31<：(?售 賣的）。
[0008] 在一個實施例中，襯里包括柔性材料，并且外圍（例如，外包裝)容器包括比所述柔 性材料基本更加剛性的壁材料。包裝的剛性或半剛性容器可以由（例如）高密度聚乙烯形 成，或者由其他聚合物或金屬制成，并且襯里可以被設置為聚合薄膜材料的預清潔的、無菌 可折疊包，聚合薄膜材料諸如為聚四氟乙烯(PTEE)、低密度聚乙烯、中密度聚乙烯、基于聚 四氟乙烯的薄片、聚酰胺、聚酯、聚氨酯等，并且被選擇為對容納在襯里中的材料(例如，液 體)呈非活性?？梢允褂冒ㄇ笆霾牧系娜我粋€的多層薄片。包括多層薄片的襯里的示例在 由本申請的受讓人所擁有的美國專利申請公開No. 2009/021207 IAl中被公開，該申請的除 了容納在本文中的明確定義之外的其他內容通過引用全部納入此文。襯里的構造的示例性 材料還包括:金屬膜、箱、聚合物/共聚物、薄片、擠壓材料、共擠壓材料、吹塑和澆鑄膜。
[0009]在基于襯里的包裝的配送液體或基于液體的混合物的用途中，一般地，通過將包 括汲取管或短探針的配送組件連接到襯里的端口，而從襯里中一般地配送液體或含液體混 合物，其中汲取管被浸沒在所容納的液體中。流體(例如，氣體)壓力被施加到襯里的外表面 (即，襯里和外圍容器之間的空間中），從而逐漸地折疊襯里，并且因此迫使液體流過配送組 件，以排出到相關聯的流動回路，從而流到終端使用工具或地點。使用容納待被配送的液體 的襯里防止與加壓氣體直接接觸，該加壓氣體被設置成向襯里施加壓力，這將消除或基本 上降低氣體溶解到待被配送到使用點的液態(tài)化學制品中。
[0010]用在電子裝置和/或顯示裝置的制造中的特定液體體現出高粘度（例如，250-35000厘泊或以上的范圍中），其中此種液體的示例包括透明樹脂(OCR)材料和諸如聚酰亞 胺等的其他有用樹脂(該樹脂可以被用作保護涂層、介電夾層或微電子應用中的鈍化層）。 [0011]配送高粘度過程液體的傳統(tǒng)方法包括使用專用的轉運栗和大直徑管道。由于期望 將栗定位在供給容器的高度的下方從而滿足栗吸頭部需求，因此使用栗從供給容器中抽吸 液體限定了管道構造的適應性。使用栗也可能基本上攪動液體并且導致形成有害的氣泡。
[0012] 期望提供如下的系統(tǒng)和方法，該系統(tǒng)和方法在克服與傳統(tǒng)設備相關聯的多種局限 的情況下，壓力配送超純含液體材料。本公開涉及克服出現在傳統(tǒng)系統(tǒng)中的多種問題的流 體和配送系統(tǒng)和方法

【發(fā)明內容】

[0013] 本公開的多個實施例在所容納的液體的配送期間消除了基于襯里的液體配送系 統(tǒng)中的濕式彈性密封件(例如，濕式〇形環(huán)）的出現或需求。消除濕式彈性密封件導致了更少 的部件和更少的機械加工部件，由此簡化了液體配送系統(tǒng)的制造、安裝和維修(例如，清潔） 并且提高了可靠性。缺少濕式彈性密封件也減少了微量金屬到被配送的流體的轉移，因為 此種微量金屬否則將可能來自于濕式彈性密封件的制造過程。也降低了微粒的產生，因為 公開的密封件基本上比彈性密封件所提供的密封性更加穩(wěn)固。
[0014] 在本文中公開的改進的流體處理設備和方法可以有利地使用高粘度材料，包括 (但不限于)透明樹脂。此種樹脂例如對于粘合包括液晶顯示器件(例如，包括但不限于諸如 前面板、電容觸屏面板、和/或LCD面板）的多層電子設備而言是有用的。在本文中公開的高 粘度材料可以具有1000厘泊-50000厘泊或以上的量級的粘度范圍。
[0015] 在特定的實施例中，在本文中公開的流體處理設備和方法使用基于襯里的壓力配 送容器，該基于襯里的壓力配送容器具有被設置為降低背壓、促進簡單的制造、促進較高一 體化的機械連接、和/或使得汲取管部件能夠被放在具有容納液態(tài)化學制品的襯里的、基于 襯里的壓力配送容器內部中以運輸。
[0016] 所采用的降低背壓的特定策略包括增加汲取管和連接器中的流體通道的流動區(qū) 域，降低與壓力配送包裝相關聯的不同流體導管之間的過渡部的數量，并且降低不同的流 體導管之間的流動區(qū)域的改變。例如通過消除汲取管聯接件可以達到流體導管之間的過渡 部的數量的降低，該汲取管聯接件否則可以被中間地設置在汲取管和探針之間。通過匹配 相鄰的部件的內部尺寸，并且通過將密封界面移動得盡可能靠近相鄰的導管的內直徑(例 如，使用表面類型的密封件），可以完成不同的流體導管之間的流動區(qū)域的改變的減少。例 如，限定在探針和汲取管中的流體通道的內部尺寸可以被匹配在流動區(qū)域中（例如，直徑或 流動區(qū)域的改變少于大約5%、少于大約3%、少于大約2%、少于大約1 %、少于大約0.5%或 者少于大約0.1 % )。有利地，降低輸送液態(tài)化學制品(包括諸如OCR材料的高粘度液體)的流 體導管之間的過渡部中的壓降，從而防止氣泡的形成，如果被配送到用于制造微電子裝置 的工具那么該氣泡將導致缺陷。
[0017]
【申請人】已經發(fā)現因為擴散系數與粘度成反比，因而高粘度液體即使直接暴露到高 壓氣體(例如，加壓氣體)時也不是特別能容易利用溶解的氣體而變得飽和。因為消除了襯 里摩擦造成的能量消散，因而與使用基于襯里的壓力配送容器相比，加壓氣體和缺少襯里 的壓力配送容器中的液態(tài)化學制品之間的直接接觸能夠降低用于加壓氣體的加壓需求。加 壓需求的降低能夠允許使用薄壁配送容器，由此降低容器成本和運輸成本。
[0018] 如本文之前所述，在壓力配送的環(huán)境下降低背壓的一個策略是增大汲取管和連接 器中的通道的流動區(qū)域。雖然大直徑汲取管對于降低壓降是有利的，但是如果配送被中斷 并且液態(tài)化學制品（例如，由于重力）經由汲取管回流到容器中，那么此種逆流可以將氣泡 引入到液體中，并且此種氣泡一旦被夾帶在高粘度液體中可能是很難移除的。為了解決該 問題，本文公開的特定實施例使用與汲取管相關聯的逆流防止元件從而防止液體從汲取管 流動到容器(或襯里）中。在特定的實施例中，逆流防止元件可以被設置成靠近容器(或襯 里）中的液體抽取開口。逆流防止元件的示例包括浮閥，翼形閥、蝶形止回閥和在操作中被 動的其他止回閥。
[0019] 多種方法可以被用于感測何時缺少襯里的壓力配送容器接近排空狀態(tài)，該方法包 括但不限于感測液面(例如，通過電容裝置、導電裝置、超聲波裝置、磁裝置、或包括觀察孔 的用途的光學裝置），感測壓力配送容器的重量(或重量的改變），感測被配送的液體中的第 一氣泡的存在、或者使用累加流量計來感測被配送的液體的累加量。
[0020] 結構上講，多個實施例可以使用連接器探針的被設置為接收汲取管的上端的下 部，其中，探針的下邊緣被設置為使得汲取管的上部坐靠或壓靠在襯里配件的內表面上，從 而將汲取管密封地接合在探針和配件之間。在多個實施例中，探針包括特征在于具有比汲 取管的材料(例如，聚乙烯、PTFE或其他聚合材料)的硬度明顯大的硬度的材料(例如不銹鋼 或其他適當的惰性金屬），從而相對于容器頸部擰緊連接器導致探針的下邊緣促使配件塑 性地變形（例如，在其中留下凹陷）以促進主動的密封，并且在第一襯里的流體內容物被排 空之后，在新的襯里中重新使用探針。在特定的實施例中，探針的下邊緣可以沿著其外半徑 被倒角。
[0021] 在多個實施例中，公開了壓力配送設備，該壓力配送設備包括：剛性容器，該剛性 容器包括限定容器開口的頸部;配件保持件，該配件保持件限定孔并且被設置在容器的頸 部中或者沿著容器的頸部；以及被設置在容器中的可折疊襯里，該可折疊襯里包括由配件 保持件保持的孔限定(aperture-defining)式襯里配件。向下延伸式汲取管可以被設置在 襯里中并且連接器包括探針，該探針限定從其中通過的流體流動通道。在一個實施例中，探 針的下部包括應力集中器，該應力集中器被設置為，當連接器被固定到剛性容器的頸部時 直接接合汲取管的上部，從而提供液體緊密密封。應力集中器可以包括從探針徑向地向外 突出的連續(xù)的肋部。探針的應力集中器可以被設置為被設置成使得汲取管的上部坐靠在配 件的內表面上，從而將汲取管密封地接合在探針和配件之間。在一個實施例中，逆流防止元 件與汲取管相關聯。在一些實施例中，應力集中器被定位在汲取管或配件上，而不是在探針 上。在一個實施例中，汲取管包括接觸探針的下部的應力集中器。在一個實施例中，汲取管 包括接觸配件的應力集中器。在一個實施例中，配件包括接觸汲取管的應力集中器。
[0022] 在特定的實施例中，在將連接器添加到容納液體的容器時，完成探針和汲取管之 間的連接，從而在連接器與容納汲取管的容器配合之前，接觸液體的汲取管可以被裝在容 器中而被運輸到使用點。
[0023] 在用于流體材料的儲存和配送的基于襯里的包裝的用途中，其中，襯里被安裝在 (例如，基本剛性的，但是可選地半剛性的）外部容器或者外包裝中，配送操作經常涉及使得 壓力配送氣體流動到容器中，流動到襯里的外部空間，從而由氣體施加的壓力迫使襯里逐 漸被壓縮，從而襯里中的流體材料被迫使流動到襯里之外?；谝r里的包裝能夠與諸如栗、 壓縮機、壓縮的氣箱等適當的加壓氣體源聯接。被配送的流體材料可以被流動到，或者經由 管道、歧管、連接器、閥等而流動到，諸如使用流體的處理工具等的使用地點。
[0024] 在多個實施例中，公開了用于將頂部空間氣體從基于襯里的配送系統(tǒng)中移除的方 法。該方法包括:提供外包裝和被設置在外包裝中的襯里;提供用于與外包裝聯接的蓋，該 蓋限定用于與被設置在外包裝中的襯里的內部體積流體連通的第一端口，該蓋限定用于與 外包裝的內部和襯里的外部流體連通的第二端口；并且在有形介質上提供一組操作指令， 該操作指令包括:用液體來填充襯里;將蓋固定到外包裝;并且在第一端口打開的情況下加 壓第二端口以經由第一端口從襯里中移除頂部空間氣體。操作指令還可以包括:利用惰性 氣體源將第一端口加壓到預定壓力；以及在第一端口被加壓到預定壓力之后，閉合第一端 口和第二端口。在一個實施例中，在將第一端口加壓到預定壓力的操作指令步驟中，惰性氣 體源是氮氣源。在提供蓋的步驟中被提供的蓋可以包括可操作地聯接到第一端口的第一接 頭和可操作地聯接到第二端口的第二接頭;第一接頭和第二接頭中的至少一個能夠是Luer 蓋。此外，在提供基于襯里的配送系統(tǒng)的步驟中被提供的外包裝可以是剛性外包裝。
[0025] 在一些實施例中，公開了用于將頂部空間氣體從基于襯里的配送系統(tǒng)中移除的方 法。該方法包括:提供外包裝和被設置在外包裝中的襯里;提供用于與外包裝聯接的蓋，該 蓋限定用于與被設置在外包裝中的襯里的內部流體連通的第一端口和第二端口，該蓋限定 用于與外包裝的內部和襯里的外部流體連通的第三端口；并且在有形介質上提供一組操作 指令，該操作指令包括:將預定的第一壓力下的加壓惰性氣體施加到第二端口；并且在將預 定的第一壓力下的加壓惰性氣體施加到第二端口的同時，經由第一端口利用液體來填充襯 里，在比第一壓力高的第二壓力下，將液體施加到的第一端口。在一個實施例中，操作指令 還包括在將加壓惰性氣體施加到第二端口的步驟之前膨脹襯里。操作指令還可以包括:從 第二端口上移除加壓惰性氣體;并且蓋住第一端口、第二端口和第三端口。在一個實施例 中，該方法還包括在將加壓惰性氣體施加到第二端口的步驟之前折疊襯里。折疊襯里的步 驟可以包括向第三端口施加壓力。
[0026] 在多個實施例中，公開了用于聯接到基于襯里的配送容器的運輸蓋。該運輸蓋包 括用于可操作地聯接到基于襯里的配送容器的連接器。氣體移除探針被可操作地聯接到連 接器，氣體移除探針限定液體填充端口和惰性氣體端口，其中運輸蓋的氣體移除探針被構 造為直接與配送系統(tǒng)連接。運輸蓋還可以包括被設置在連接器中的內部保持件，氣體移除 探針被夾在連接器和內部保持件之間，并且該連接器還可以包括上連接器主體和下連接器 主體，氣體移除探針被夾在上連接器主體和內部保持件之間。基蓋能夠將連接器連接到基 于襯里的配送容器。在一個實施例中，運輸蓋還包括被設置在連接器中的用于聯接在探針 和襯里的配件之間的配件保持件。運輸蓋的探針還可以包括用于接合基于襯里的配送容器 的汲取管的應力集中器。
[0027] 基于襯里的包裝能夠包括與襯里連通的配送端口，以用于通過該端口配送材料。 配送端口繼而與適當的配送組件聯接。配送組件能夠采用多種形式中的任一個，例如，包括 探針的組件或包括具有汲取管的連接器的組件，該汲取管接觸襯里中的材料并且通過該汲 取管從容器中配送材料。包裝可以是大尺寸包裝，其中襯里具有多至2000升或以上的材料 容積。
[0028] 在本公開的多個實施例中，襯里可以以任何適當的形式形成，例如通過使用一個 或多個膜片或者可以沿著它們的邊緣被密封(例如，焊接)的其他材料。在一個實施例中，多 個平坦薄片沿著它們的邊緣被疊置(堆疊)和密封從而形成襯里。一個或多個薄片可以包括 沿著該薄片的表面的上部的端口或蓋結構。在另一個實施例中，通過使用管狀吹塑成型而 在容器的上端形成一體的填充開口，該容器可以被結合到端口或蓋結構。襯里因此可以具 有用于使得襯里聯接到適當的連接器的開口，以用于填充或配送操作，該填充或配送操作 涉及相應的流體的引入或排出。此種開口可以利用被稱為"配件"的結構被加固。配件典型 地包括:側向延伸凸緣部，薄膜被結合到該凸緣部;和管狀部，該管狀部在基本上垂直于凸 緣部的方向上延伸。襯里配件可以配合或以其他方式接觸容器端口、端口蓋或封蓋或其他 適當的結構。蓋或封蓋也可以被設置為與汲取管聯接以引入或配送流體。
[0029] 在多個實施例中，擠出成型管薄膜可以被切片以形成可以被焊接以形成2D包的薄 片，或者擠出管可以具有通過焊接被結合到一起的上部和下部。薄膜可以被層壓。不同薄膜 的薄片可以被焊接在一起以形成襯里的部件，例如，側壁。配件可以沿著襯里表面在接縫或 任何其他點被密封到2D和3D包。柔性襯里可以被吹塑成型，諸如在由本申請的受讓人所擁 有的國際公開No. W02009/076101中說明的，并且該申請的除了容納在本文中的明確定義之 外的其他內容通過引用全部納入此文。此外，襯里可以基本是剛性的或者半支撐性的（吹塑 成型），如在本申請的受讓人所擁有的國際公開No. W02011 /001646中說明的，并且該申請的 除了容納在本文中的明確定義之外的其他內容通過引用全部納入此文。在一個實施例中， 襯里和外包裝被共同吹塑成型。在多個實施例中，基本剛性的襯里限定集液器。
[0030] 在特定的實施例中，襯里可以由管狀原料形成。通過使用諸如吹塑管狀聚合薄膜 材料等的管狀原料，避免沿著襯里的側邊的加熱密封件和焊接接縫。對于由被疊置的和在 它們的周邊被熱密封的平坦面板形成的襯里而言，側邊的焊接接縫的缺少對于更好地承受 趨于向襯里施壓的力和壓力來說可以是有利的。在特定的實施例中，襯里可以由被縱向地 切割的并且然后被焊接以形成一個或多個焊接接縫的管狀原料形成。
[0031] 襯里可以是一次性的薄膜襯里，該襯里被設置為在每次使用之后(例如，當容納在 容器中的液體被排空時）被移除并且更換為新的且預清潔的襯里以能夠循環(huán)使用外部容 器。此種襯里可以不包含可能是污染源的或者變成污染源的混合物，諸如塑化劑、抗氧化 劑、UV穩(wěn)定劑、填充物等，這些混合物例如通過過濾成為被容納在襯里中的液體或者通過降 解以獲得降解產品而變成污染源，這些降解產品在襯里中具有更大的擴散率并且迀移到表 面并且溶解或以其他方式變成襯里中的液體的污染物。
[0032] 在多個實施例中，基本純凈的膜被用于襯里，諸如未經處理的（不含添加劑）的聚 乙烯薄膜、未經處理的聚四氟乙烯(PTEE)薄膜或其他適當的未經處理的的聚合物材料，諸 如聚乙烯醇、聚丙烯、聚氨酯、聚偏二氯乙烯、聚氯乙烯、聚縮醛、聚苯乙烯、聚丙烯腈、聚丁 烯等。更具體地，襯里可以在具有或不具有敷金屬和箱的情況下由層壓制品、共擠出物、二 次成型擠出物、合成物、共聚物和材料混合物形成。襯里材料可以是任何適當的厚度，例如， 從大約1密耳(0.001英寸）到大約120密耳(0.120英寸）的范圍內。在一個實施例中，襯里具 有20密耳(0.020英寸）的厚度。
[0033] 在特定的實施例中，襯里可以有利地由適當厚度的薄膜材料形成，從而在特征上 是柔性的和可折疊的。在一個實施例中，襯里是可壓縮的，從而其內部體積可以被減少到額 定的填充體積的大約10 %或以下，g卩，當液體被完全填充在殼體14中時一定量的液體能夠 被容納在襯里中。在多個實施例中，襯里的內部體積可以被壓縮到額定的填充體積的大約 0.25 %或以下，例如4000毫升包裝中的10毫升以下，或者額定的填充體積的大約0.05 %或 以下（19L的包裝中剩下IOml或以下），或者額定的填充體積的大約0.005%或以下（200L的 包裝中剩下IOml或以下）。在多個實施例中，襯里材料是足夠柔韌的，從而允許在運輸期間 將襯里折疊或壓縮為可替換單元。襯里能夠具有如下的成分和特征：當液體被容納在襯里 中時，對顆粒和微小氣泡的形成是有抵抗力的；足夠柔性以允許液體由于溫度和壓力改變 而膨脹和壓縮;對于維持使用液體的特定終端應用(例如，在半導體制造或其他高臨界純度 液體的供給應用中）的純度而言是有效的。
[0034] 在特定的實施例中，剛性或大致剛性可折疊襯里可以被使用。如用在本文中的，術 語"剛性"或"基本剛性"意味著也包括具有如下的特征的物體或材料:當在第一壓力的環(huán)境 下基本上保持其形狀和/或體積，但是在增大的或減小的壓力的環(huán)境下可以改變其形狀和/ 或體積。改變物體或材料的形狀和/或體積所需的增大或減小的壓力的量可以取決于需要 材料或物體的應用，并且可以根據應用而逐個變化。在一個實施例中，襯里的至少部分可以 是剛性或基本剛性的，并且襯里的至少部分在壓力配送的狀態(tài)下通過將加壓流體施加到襯 里或者施加到該襯里的至少部分上將經受折疊。在一個實施例中，剛性或基本剛性的可折 疊襯里可以由足夠厚的材料和當用于襯里被填充液體時自支撐的襯里的混合物制成。剛性 或基本剛性的可折疊襯里可以是單壁的或者多壁的，并且可以包括聚合材料?？梢允褂镁?合材料和/或其他材料的多層的層壓合成物(例如，通過加熱和/或加壓而進行層壓）。剛性 或基本剛性的可折疊襯里可以由一個或多個適當的層壓、擠出、成型、構型和焊接步驟形 成。剛性或基本剛性的可折疊襯里可以具有與襯里一體地形成的基本剛性開口或端口，因 此避免了對通過焊接或其他的密封方法而被固定到襯里的分開的配件的需求。本文中公開 的配送組件和配送設備可以使用剛性或基本剛性的可折疊襯里。
[0035] 在本公開的多個實施例中，可折疊襯里可以被設置在基本剛性的容器(也稱為殼 體或外包裝）中，該容器可以是基本圓形形狀、矩形平行六面體形狀以有利于堆疊性，或者 任何其他適當的形狀或構造。大致剛性殼體可以可選地包裝外包裝蓋，該外包裝蓋被防漏 地結合到殼體的壁，以限定容納襯里的內部空間。設置在襯里和外圍容器之間的間隙空間 可以與加壓氣體源流體連通，從而將加壓氣體施加到間隙空間以壓縮襯里從而導致液體從 襯里中排出。
[0036] 在特定的實施例中，含液體材料可以被維持在襯里中并且被包含惰性氣體的頂部 空間覆蓋。在其他實施例中，含液體材料可以被維持在具有零頂部空間或接近零頂部空間 的襯里中。如用在本文中的，表示襯里中的流體的術語"零頂部空間"意味著襯里完全被液 體介質填充，并且在襯里中的液體介質之上沒有氣體的體積。用在本文中的，表示襯里中的 流體的術語"接近零頂部空間"意味著襯里基本上完全填充有液體介質，除了在襯里中的液 體介質之上的非常小體積的氣體，例如，氣體的體積小于襯里中的液體的總體積的5%，小 于襯里中的液體的總體積的3 %，或者小于襯里中的液體的總體積的2 %或者小于襯里中的 液體的總體積的1 %，或者小于襯里中的液體的總體積的0.5% (或者以其他方式表示的，襯 里中的液體或含液體材料的體積大于襯里的總體積的96%，或者大于該總體積的97%，或 者大于總體積的98%，或者大于該總體積的99%，或者或者大于該總體積的99.5%)。在特 定的實施例中，頂部空間可以被最小化或消除（即，零頂部空間構造或接近零頂部空間構 造），其中襯里的內部體積被完全填充有液體介質。在其他實施例中，頂部空間可能有必要 在運輸期間容納所包含的材料由于溫度改變而引起的膨脹，但是頂部空間在使用地點在從 襯里中配送含液體材料之前可以被從襯里中移除。
[0037] 多種方法可以被用于感測何時基于襯里的壓力配送容器接近排空狀態(tài)，該方法包 括但不限于感測壓力配送容器的重量(或重量的改變），感測被配送的液體中的第一氣泡的 存在、或者使用累加流量計來感測被配送的液體的累加量、感測襯里張力或變形以及感測 被配送液體的壓力的衰減或"降低"。在由本申請的受讓人所擁有的美國專利申請公開 NO.2010/0112815A1中公開了使用壓力變送器或壓力開關來感測壓降的狀態(tài)，該申請的除 了容納在本文中的明確定義之外的其他內容通過引用全部納入此文。期望（i)在完全排出 襯里的內容物之前可靠地結束配送，從而防止流體使用過程工具的流體供給的中斷，（ii) 防止氣泡被配送到流體使用過程工具，以及（iii)降低被排空或"空"的容器中剩余的殘留 量。上述排空探測技術中的一個或多個可以被用于如本文公開的基于襯里的壓力配送容 器;然而，由于其非侵入的特征和接近排空狀態(tài)的可靠早期預警，并且因為此種壓力感測不 需要知道包裝和相關聯部件的重力或體積，因而感測被配送液體的壓力(例如，以識別壓降 狀態(tài))是尤其期望的。因為一旦在此種液體中夾帶進氣泡很難移除氣泡，因而第一氣泡的探 測在配送高粘度液體的環(huán)境下也可能是尤其不期望的。
[0038] 對于半導體或微電子裝置制造應用，在填充襯里時，如本文公開的容納在壓力配 送容器中的襯里內的含液體材料典型地含有的具有0.2微米或以上的直徑的微粒少于75 顆/毫升（少于50,或少于35或少于20顆/毫升）。更具體地，半導體制造商規(guī)定含有的具有 0.1微米的直徑的微粒少于5顆/毫升，并且此外含有的具有0.04微米的直徑的微粒少于40 顆/毫升。襯里的液體可以具有少于十億分之三十(在一些情況下少于十億分之十五）的總 有機碳(T0C);諸如|丐、鉆、銅、絡、鐵、鑰、猛、納、銀和媽等的每種關鍵兀素的金屬可提取量 少于兆分之十；用于氟化氫、過氧化氫和氫氧化銨的襯里內容物的每種元素的鐵和銅可提 取量少于兆分之一百五十，這些與半導體工業(yè)協會、國際半導體技術藍圖（SIA，ITRS) 1999 版中列出的規(guī)范相符。如本文公開的被容納在缺少襯里的壓力配送容器中的含液體材料可 以滿足相同的規(guī)范。
[0039] 壓力配送設備可以被用于特征廣泛變化的化學試劑和混合物的儲存和配送。雖然 本公開的實施例在后文中說明的主要指用在微電子裝置產品的制造中的液體或含液體混 合物的儲存和配送，但是也應當理解本發(fā)明的使用不因此被限定，而是可以延伸到和包括 廣泛變化的其他應用和所包含的材料。例如，此種液體容納系統(tǒng)可以用于多種其他應用，包 括醫(yī)藥產品、建筑材料、食品飲料產品、化石燃油、農業(yè)化學制品等，其中液體介質或液體材 料需要包裝。
[0040] 用在本文中的術語"微電子裝置"是指涂覆抗蝕劑的半導體基板、平板顯器示、薄 膜記錄頭部、微機電系統(tǒng)和其他先進的微電子部件。微電子裝置可以包括圖案化的硅晶片、 平板顯示基板、聚合物基板或多微孔的/介孔無機固體。
[0041] 在特定的實施例中，流體處理設備可以包括控制器(例如，包括被設置為執(zhí)行機器 可讀指令的微處理器，諸如可以被嵌入在微控制器、可編程邏輯控制器、個人計算機、分布 式控制系統(tǒng)等中），該控制器被設置為接收來自一個或多個傳感器的輸入，被設置為控制一 個或多個閥或其他流動控制元件的操作，被設置為控制諸如流體配送的開始和停止等的操 作，調整流體流量，調整在排出時壓力配送容器的改變，向操作者通知異常狀態(tài)，管理材料 存貨需求和/或控制使用液體的過程工具的操作。在特定的實施例中，控制器可以在接收到 指示第一壓力配送容器接近排空狀態(tài)的信號時，通過終止來自第一壓力配送容器的配送， 并且啟動來自于第二壓力配送容器的配送，自動地完成配送操作的從第一壓力配送容器到 第二壓力配送容器的切換。在特定的實施例中，控制器可以在配送容器和過程工具之間的 點處控制混合、稀釋或其他液態(tài)化學制品操作。
[0042] 在特定的實施例中，在本文公開的壓力配送設備可以被設置為接收來自加壓氣體 源的加壓氣體(例如，向液態(tài)化學制品直接或間接地施加壓力，從而有利于從容器和/或容 器襯里中配送液態(tài)化學制品），并且可選地通過干預流體管線和/或其他部件(例如，排空探 測傳感器，儲液器)可以被設置為向下游使用液體過程工具提供液體。當使用缺少襯里的壓 力配送容器時，氣體入口可以被設置為使得加壓氣體流通到容器的內部，從而接觸設置在 容器中的液體，從而促進液體的直接壓力配送。當使用基于襯里的壓力配送容器時，氣體入 口可以被設置為使得加壓氣體流通到襯里和剛性容器壁之間的壓縮空間，從而向襯里施加 壓力并且壓縮襯里以實現從襯里中配送液體。
[0043]在特定的實施例中，本文公開的流體處理設備和方法使用缺少襯里的壓力配送容 器（即，包括加壓氣體和液態(tài)化學制品之間的直接接觸），該缺少襯里的壓力配送容器具有 被設置為降低對加壓氣體的壓力需求、降低背壓、促進簡單的制造、降低液態(tài)化學制品的逆 流、和/或促進來自配送容器的液態(tài)化學制品的接近排空狀態(tài)的探測。
[0044]在特定的實施例中，缺少襯里的壓力配送容器包括：寬度減小的下部;汲取管，其 包括設置在寬度減小的下部中的液體抽取開口；以及至少一個液位傳感器，其被設置在寬 度減小的下部中或沿著寬度減小的下部以提供表示容器接近液體排空的狀態(tài)的指示。寬度 減小的下部可以具有小于容器的上部的標稱寬度的大約50%、大約40%、大約30%、大約 20%或大約10%的截面面積。提供容器的寬度減小的下部的益處包括，提供提高的液位感 測能力和/或降低當液體配送完成時容器中的不可回收的殘留液態(tài)化學制品的量。液位感 測設備可以被設置在容器外部(例如，被設置為感測靠近寬度減小的下部的液位），或者在 一些實施例中，液位感測設備的至少部分可以被設置在容器的內部中或者與容器的內部流 體連通。可選的秤或其他稱重設備可以進一步被設置為感測容器的重量從而提供對于確定 容器是否接近液體的排空而言有用的信息。汲取管可以進一步包括逆流防止元件，其被設 置為接近汲取管的液體抽取開口。
[0045] 在特定的實施例中，可選的儲液器可以被設置在壓力配送容器和使用點（例如，使 用液體的過程工具)之間以在被排空的壓力配送容器被替換為新的壓力配送容器的同時允 許配送操作的連續(xù)進行，和/或諸如通過從儲液器的底部抽取液體并且允許氣體從儲液器 的頂部排出而促進夾帶在液體中的氣體(例如，氣泡)的移除。
[0046] 在特定的實施例中，壓力配送設備可以包括剛性容器，該剛性容器包括限定容器 開口的頸部;可折疊襯里，該可折疊襯里被設置在容器中并且包括孔限定式襯里配件，該襯 里配件被設置在剛性容器的頸部中或者沿著剛性容器的頸部;被設置在襯里中的向下延伸 式汲取管;連接器，所述連接器被接合到剛性容器的頸部并且包括探針，該探針限定從其中 通過的流體流動通道。探針的下部可以被設置為接收汲取管的上部，并且其中探針的下邊 緣被設置成使得汲取管的上部坐靠在配件的內表面上，從而將汲取管密封地接合在探針和 配件之間。
[0047] 在特定的實施例中，配件保持件可以被定位成沿著剛性容器的頸部，其中襯里的 配件被配件保持件保持在容器的頸部中。在特定的實施例中，圓周密封元件可以被設置為 沿著探針的外壁以密封地接合配件保持件。在特定的實施例中，汲取管的上端被定位在配 件保持件的上端處或者配件保持件的上端之下。在特定的實施例中，連接器可以限定至少 一個氣體流動通道，該氣體流動通道被設置為允許與可折疊襯里和剛性容器之間的壓縮空 間流體連通。在特定的實施例中，第一氣體流動通道可以被設置為允許來自外部加壓氣體 源的加壓氣體進入壓縮空間中；以及第二氣體流動通道被設置為與減壓閥流體連通，從而 防止壓縮空間的超壓。在特定的實施例中，汲取管限定包括第一內直徑的內部通道;探針的 流體流動通道包括第二內直徑;并且第二內直徑與第一內直徑基本相等。在特定的實施例 中，汲取管可以具有相關聯的逆流防止元件。
[0048] 在特定的實施例中，探針的下部可以沿著其外半徑被倒角。在特定的實施例中，探 針包括特征在于具有比汲取管的材料(例如，聚乙烯、PTFE或其他聚合材料）的硬度明顯大 的硬度的材料(例如不銹鋼），從而相對于容器頸部擰緊連接器導致探針的下邊緣使配件塑 性地變形（例如，在其中留下凹陷）以促進主動的密封，并且在第一襯里的流體內容物被排 空之后，在新的襯里中重新使用探針。
[0049] 特定的實施例包括一種用于基于襯里的壓力配送設備的連接器，該基于襯里的壓 力配送設備包括可折疊襯里，該可折疊襯里被設置在剛性容器中，其中襯里的配件被設置 為與被定位成沿著剛性容器的頸部的配件保持件協作;并且包括被設置在襯里中的向下延 伸式汲取管。該連接器可以包括:主體結構，該主體結構包括被設置為與剛性容器的頸部的 外螺紋部協作的內螺紋側壁并且可以包括靠近內螺紋側壁的內凹部。該連接器還可以包括 探針，該探針限定貫穿其中的流體流動通道，其中，探針的下部延伸到內凹部中并且被設置 為接收汲取管的上端。探針的下部可以沿著其外半徑被倒角(例如，厚度逐漸變?。A周密 封元件可以被設置為在下部之上沿著探針的外壁，從而當連接器與基于襯里的壓力配送設 備配合時接合配件保持件。至少一個氣體流動通道被設置為當連接器與基于襯里的壓力配 送設備配合時允許與可折疊襯里和剛性容器之間的壓縮空間流體連通。探針的被倒角的下 邊緣可以被設置為：當連接器與基于襯里的壓力配送設備配合時，使得汲取管的上部坐靠 在配件的內表面上以使得汲取管密封地接合在探針和配件之間。
[0050] 在特定的實施例中，探針的至少下部可以包括不銹鋼材料，汲取管的至少上部可 以包括聚合物材料。在特定的實施例中，第一氣體流動通道可以被設置為允許來自外部加 壓氣體源的加壓氣體進入壓縮空間中；以及第二氣體流動通道可以被設置為與減壓閥流體 連通，從而防止壓縮空間的超壓。在特定的實施例中，汲取管的上端可以被定位在配件保持 件的上端處或者配件保持件的上端之下。
[0051] 特定的實施例涉及用于使用壓力配送設備配送含液體材料的方法，該壓力配送設 備包括：剛性容器，該剛性容器包括限定容器開口的頸部;可折疊襯里，該可折疊襯里被設 置在容器中并且包括孔限定式襯里配件，該襯里配件被設置在剛性容器的頸部中或者沿著 剛性容器的頸部;被設置在襯里中的向下延伸式汲取管;連接器，所述連接器包括探針，該 探針限定從其中通過的流體流動通道。所述方法還可以包括:將連接器螺紋地接合到剛性 容器的頸部以使得探針的下邊緣抵靠在汲取管的內表面上以座接汲取管的上部，從而使得 汲取管密封地接合在探針和配件之間；以及經由連接器將加壓氣體供給到剛性容器和可折 疊襯里之間的壓縮空間，從而壓縮可折疊襯里。在特定的實施例中，該方法還可以包括在將 連接器螺紋地接合到剛性容器的頸部之前，從剛性容器的頸部上移除蓋，從而暴露襯里配 件的一部分和暴露汲取管的由襯里配件保持的一部分。在特定的實施例中，前述的蓋移除 和連接器接合步驟可以在凈化室環(huán)境下被執(zhí)行。在多個實施例中，該方法的步驟被設置為 有形介質上的指令，諸如紙質文件或電子或計算機可讀文件。
[0052] 在特定的實施例中，壓力配送設備包括:剛性容器，該剛性容器包括限定容器開口 的頸部;配件保持件，該配件保持件限定開口并且被設置在容器的頸部中或者沿著容器的 頸部;可折疊襯里，該可折疊襯里被設置在容器中并且包括被配件保持件保持的孔限定式 襯里配件;被設置在襯里中的向下延伸式汲取管;包括探針的連接器，該探針限定從其中通 過的流體流動通道。探針的下部可以被設置為，當連接器結合剛性容器的頸部時在不具有 中間汲取管聯接件的情況下直接接合汲取管的上部。該壓力配送設備還可以包括如下的特 征(a)和(b)中的至少一個：（a)限定在探針中的流動通道的內直徑是襯里配件的被設置在 配件保持件的孔中的一部分的內直徑的至少約65%;以及(b)限定在探針和汲取管中的每 一個中的流動通道的內直徑是至少0.62英寸。在特定的實施例中，壓力配送設備包括特征 (a)和(b)。此種尺寸閾值使得設備尤其適于配送高粘度液體(例如在特定的實施例中具有 可以具有1000-50000厘泊或從3000-30000厘泊的范圍內的粘度）。在特定的實施例中，探針 的下邊緣(可以由不銹鋼材料制成)可以被設置為使得汲取管的上部(可以由聚合物材料制 成)坐靠在配件的內表面上從而將汲取管密封地接合在探針和配件之間。在特定的實施例 中，密封接合可以包括通過探針的下邊緣使得汲取管的上部塑性地變形。在特定的實施例 中，逆流防止元件可以與汲取管相關聯。
[0053]特定的實施例包括使用壓力配送設備的方法，該壓力配送設備包括:剛性容器，該 剛性容器包括限定容器開口的頸部；可折疊襯里，該可折疊襯里被設置在容器中并且包括 孔限定式襯里配件，該襯里配件被設置在剛性容器的頸部中或者沿著剛性容器的頸部;被 設置在襯里中的向下延伸式汲取管;連接器，所述連接器包括探針，該探針限定從其中通過 的流體流動通道。該方法步驟還可以包括將連接器螺紋地接合到剛性容器的頸部以使得探 針的下邊緣在不具有中間汲取管聯接件的情況下直接接合汲取管的上部；以及經由連接器 將加壓氣體供給到剛性容器和可折疊襯里之間的壓縮空間，從而壓縮可折疊襯里。在特定 的實施例中，該方法還可以包括在將連接器螺紋地接合到剛性容器的頸部之前，從剛性容 器的頸部上移除蓋，從而暴露襯里配件的一部分和暴露汲取管的由襯里配件保持的一部 分，接下來將汲取管通過蓋密封在容器中進行運輸。在多個實施例中，該方法的步驟被設置 為有形介質上的指令，諸如紙質文件或電子或計算機可讀文件。
[0054] 在特定的實施例中，壓力配送設備可以包括:容器，該容器包括沿著頂面的開口、 具有第一寬度的上部和具有比第一寬度小的第二寬度的下部；向下延伸式汲取管，該汲取 管包括被設置在容器的下部中的液體抽取開口；以及以下特征(a)和(b)中的至少一個：（a) 逆流防止元件可以被設置為靠近液體抽取開口以防止液體從汲取管流動到容器中；以及 (b)傳感器可以被設置在容器的下部中或者靠近容器的下部以感測指示容器的下部中的液 體的缺失或液體的低液位的狀態(tài)。在特定的實施例中，壓力配送設備可以包括特征(a)和 (b)。在特定的實施例中，逆流防止元件可以包括浮閥或蝶形止回閥。在特定實施例中，傳感 器可以被設置在容器的下部中或者靠近容器的下部以感測指示容器的下部中的液體的缺 失或液體的低液位的狀態(tài)。在特定的實施例中，此種傳感器可以包括液位傳感器或任何適 當類型。在特定的實施例中，傳感器可以包括電容的、導電的、超聲波的、磁性的、或光學傳 感器。在特定的實施例中，此種傳感器可以被設置在容器外部。在特定的實施例中，傳感器 的至少部分可以被設置在容器的內部或者與容器的內部流體連通。在特定的實施例中，壓 力配送設備可以適于響應于指示容器的下部中的液體的缺失或液體的低液位的狀態(tài)的感 測而開始從其他容器中配送液體。在特定的實施例中，壓力配送容器可以包括氣體入口，該 氣體入口被設置為將加壓氣體傳輸到容器的內部中以接觸被設置在容器中的液體，從而促 進液體的缺少襯里的壓力配送。
[0055] 特定的實施例涉及用于降低配送自壓力配送容器的流體流中的氣泡的出現的方 法，包括:將加壓氣體施加到剛性容器的內部以直接接觸被設置在內部的液態(tài)化學制品，由 此使得液態(tài)化學制品流入到汲取管的抽取口，其中抽取口被設置在容器的下部中，該容器 的下部包括與容器的上部相比減小的寬度；以及執(zhí)行如下的步驟(a)和(b)中的至少一個： (a)使用與汲取管相關聯的逆流防止元件防止液態(tài)化學制品在汲取管中回流；以及(b)感測 指示容器的下部中的液態(tài)化學制品的缺失或低液位的狀態(tài)。在特定的實施例中，執(zhí)行步驟 (a)和(b) 〇
[0056] 在特定的實施例中，壓力配送設備可以包括:容器，該容器包括沿著頂面的開口； 向下延伸式汲取管，該汲取管包括被設置在容器的下部中的液體抽取開口；氣體入口，該氣 體入口被設置為將加壓氣體傳輸到容器的內部以接觸被設置在容器中的液體；以及逆流防 止元件，該逆流防止元件被設置為靠近液體抽取開口以防止液體從汲取管流動到容器中。
[0057] 在特定的實施例中，剛性容器(包括襯里或者不包括襯里）可以由無孔金屬制成 (與諸如特定的聚合物的可能的多孔材料相反)從而最小化或消除大氣環(huán)境氣體或蒸汽到 容器中的迀移。在特定的實施例中，如本文公開的容器可以包括主體和/或由金屬(例如不 銹鋼)制成的探針從而類似地最小化或消除大氣環(huán)境氣體或蒸汽的迀移。
[0058] 在特定的實施例中，含液體材料可以包括以下材料中的任一種:光刻膠、蝕刻劑、 化學蒸汽沉積試劑、溶劑、晶片清洗劑、工具清洗劑、化學機械拋光混合物、顏色過濾化學制 品、涂料、液晶材料和可選的透明樹脂。
[0059] 結合附圖以下將解釋示例性實施例的進一步細節(jié)。
[0060] 結構上講，在多個實施例中，一種壓力配送設備，包括:剛性容器，該剛性容器包括 限定容器開口的頸部;可折疊襯里，該可折疊襯里被設置在容器中并且包括孔限定式襯里 配件，該襯里配件被設置在剛性容器的頸部中或者沿著剛性容器的頸部;被設置在襯里中 的向下延伸式汲取管;連接器，所述連接器被接合到剛性容器的頸部并且包括探針，該探針 限定從其中通過的流體流動通道，其中汲取管的上部被設置為接收探針的下部，并且其中 探針的下邊緣被設置成使得汲取管的上部坐靠在配件的內表面上，從而將汲取管密封地接 合在探針和配件之間。
[0061]在一些實施例中，一種用于基于襯里的壓力配送設備的連接器，該基于襯里的壓 力配送設備包括可折疊襯里，該可折疊襯里被設置在剛性容器中，其中襯里的配件被設置 為與被定位成沿著剛性容器的頸部的配件保持件協作;并且包括被設置在襯里中的向下延 伸式汲取管，該連接器包括:主體結構，該主體結構包括被設置為與剛性容器的頸部的外螺 紋部協作的內螺紋側壁并且包括靠近內螺紋側壁的內凹部;探針，該探針限定貫穿其中的 流體流動通道，其中，探針的下部延伸到內凹部中并且被設置為接收汲取管的上端，其中， 探針的下部可以沿著其外半徑被倒角，其中，圓周密封元件可以被設置為在下部之上沿著 探針的外壁，從而當連接器與基于襯里的壓力配送設備配合時接合配件保持件；以及至少 一個氣體流動通道，其設置為當連接器與基于襯里的壓力配送設備配合時允許與可折疊襯 里和剛性容器之間的壓縮空間流體連通;其中，探針的被倒角的下邊緣可以被設置為：當連 接器與基于襯里的壓力配送設備配合時，使得汲取管的上部坐靠在配件的內表面上以使得 汲取管密封地接合在探針和配件之間。.
[0062]在多個實施例中，一種用于使用壓力配送設備配送含液體材料的方法，該壓力配 送設備包括：（a)剛性容器，該剛性容器包括限定容器開口的頸部；（b)可折疊襯里，該可折 疊襯里被設置在容器中并且包括孔限定式襯里配件，該襯里配件被設置在剛性容器的頸部 中或者沿著剛性容器的頸部；（c)被設置在襯里中的向下延伸式汲取管；（d)連接器，所述連 接器包括探針，該探針限定從其中通過的流體流動通道，所述方法包括:將連接器螺紋地接 合到剛性容器的頸部以使得探針的下邊緣抵靠在汲取管的內表面上而坐接汲取管的上部， 以使得汲取管密封地接合在探針和配件之間；以及經由連接器將加壓氣體供給到剛性容器 和可折疊襯里之間的壓縮空間，從而壓縮可折疊襯里。在多個實施例中，該方法的步驟被設 置為在有形介質上的指令，諸如紙質文件或電子或計算機可讀文件。
[0063] 在一些實施例中，一種壓力配送設備包括:剛性容器，該剛性容器包括限定容器開 口的頸部;配件保持件，該配件保持件限定開口并且被設置在容器的頸部中或者沿著容器 的頸部;可折疊襯里，該可折疊襯里被設置在容器中并且包括被配件保持件保持的孔限定 式襯里配件;被設置在襯里中的向下延伸式汲取管;包括探針的連接器，該探針限定從其中 通過的流體流動通道，其中，探針的下部可以被設置為當連接器結合剛性容器的頸部時在 不具有中間汲取管聯接件的情況下直接接合汲取管的上部;其中，該壓力配送設備還可以 包括如下的特征(a)和(b)中的至少一個：（a)限定在探針中的流動通道的內直徑是襯里配 件的被設置在配件保持件的孔中的一部分的內直徑的至少65%;以及(b)限定在探針和汲 取管中的每一個中的流動通道的內直徑是至少0.62英寸。
[0064]在多個實施例中，一種使用壓力配送設備的方法，該壓力配送設備包括：（a)剛性 容器，該剛性容器包括限定容器開口的頸部；（b)可折疊襯里，該可折疊襯里被設置在容器 中并且包括孔限定式襯里配件，該襯里配件被設置在剛性容器的頸部中或者沿著剛性容器 的頸部；（C)被設置在襯里中的向下延伸式汲取管；（d)連接器，所述連接器包括探針，該探 針限定從其中通過的流體流動通道，該方法包括將連接器螺紋地接合到剛性容器的頸部以 使得探針的下邊緣在不具有中間汲取管聯接件的情況下直接接合汲取管的上部；以及經由 連接器將加壓氣體供給到剛性容器和可折疊襯里之間的壓縮空間，從而壓縮可折疊襯里。
[0065] 在一些實施例中，一種壓力配送設備包括:容器，該容器包括沿著頂面的口部、具 有第一寬度的上部和具有比第一寬度小的第二寬度的下部；向下延伸式汲取管，該汲取管 包括被設置在容器的下部的液體抽取開口；以及以下特征(a)和(b)中的至少一個：（a)逆流 防止元件可以被設置為靠近液體抽取開口以防止液體從汲取管流動到容器中；以及(b)傳 感器可以被設置在容器的下部中或者靠近容器的下部以感測指示容器的下部中的液體的 缺失或液體的低液位的狀態(tài)。
[0066] 在多個實施例中，一種用于降低配送自壓力配送容器的流體流中的氣泡的出現的 方法，包括:將加壓氣體施加到剛性容器的內部以直接接觸被設置在內部的液態(tài)化學制品， 由此使得液態(tài)化學制品流入到汲取管的抽取開口中，其中抽取開口被設置在容器的下部 中，該容器的下部包括與容器的上部相比減小的寬度；以及執(zhí)行如下的步驟(a)和(b)中的 至少一個：（a)使用與汲取管相關聯的逆流防止元件防止液態(tài)化學制品在汲取管中回流；以 及(b)感測指示容器的下部中的液態(tài)化學制品的缺失或低液位的狀態(tài)。
[0067] 在一些實施例中，一種壓力配送設備包括:容器，該容器包括沿著頂面的口部；向 下延伸式汲取管，該汲取管包括被設置在容器的下部中的液體抽取開口；氣體入口，該氣體 入口被設置為將加壓氣體傳輸到容器的內部以接觸被設置在容器中的液體;以及逆流防止 元件，該逆流防止元件被設置為靠近液體抽取開口以防止液體從汲取管流動到容器中。
[0068] 前述實施例和/或任何其他實施例的一個或多個特征和在本文公的特征可以被結 合以用于其他的優(yōu)勢。
[0069] 從以下的公開和所附權利要求，本公開的其他方面、特征和實施例將更加完全地 顯而易見。
【附圖說明】
[0070] 圖IA是在美國專利No. 7，025，234中公開的包括具有再循環(huán)連接器的基于襯里的 壓力配送包裝的傳統(tǒng)流體儲存和配送設備的側視剖視圖。
[0071] 圖1B-1C是根據圖IA的流體儲存和配送設備的放大部分。
[0072]圖2是在美國專利No. 7，025，234中公開的包括基于襯里的壓力配送包裝的另一傳 統(tǒng)流體儲存和配送設備的一部分的側視剖視圖。
[0073]圖3A是根據本公開的一個實施例的包括基于襯里的壓力配送包裝和連接器的流 體儲存和配送設備的側視剖視圖。
[0074]圖3B是圖3A的連接器的放大側視剖視圖。
[0075]圖3C是圖3B的連接器的立體圖。
[0076]圖3D是圖3A的流體儲存和配送設備的上部的放大剖視圖。
[0077]圖3E是本公開的實施例中的圖3D的放大局部視圖。
[0078]圖3F是圖3A和3D的設備的說明連接器探針、汲取管和襯里配件之間的接合的部分 的另一放大側視剖視圖。
[0079] 圖3G是本公開的實施例中的布置在探針上的應力集中器的放大剖視圖。
[0080] 圖3H和31是本公開的實施例中的可選應力集中器裝置的放大剖視圖。
[0081] 圖4是被設置為從根據圖3A的包括基于襯里的壓力配送包裝的流體儲存和配送設 備中配送含液體材料的流體處理系統(tǒng)的簡化示意圖。
[0082] 圖5是被設置為從包括缺少襯里的壓力配送容器的流體儲存和配送設備中配送含 液體材料的流體處理系統(tǒng)的簡化示意圖，該壓力配送容器具有寬度減小的下部、逆流防止 元件和被設置為感測指示容器的下部中的液體的缺失或液體的低液位的狀態(tài)的至少一個 傳感器元件。
[0083] 圖6A-6B分別示出了在打開位置和閉合位置處的浮閥形式的逆流防止元件的示意 側視剖視圖。
[0084] 圖7A-7B分別示出了在打開位置處的蝶形止回閥形式的逆流防止元件和閉合位置 中的示意側視剖視圖。
[0085] 圖7C示出了在閉合位置處的根據圖7A-7B的蝶形止回閥的俯視圖。
[0086] 圖8是本公開的實施例中的組件的兩端口蓋的局部剖視圖。
[0087]圖9是本公開的實施例中的組件的三端口蓋的局部剖視圖。
[0088]圖10是本公開的實施例中的運輸探針組件的局部剖視圖。
【具體實施方式】
[0089] 參考圖1A-1C(圖1A-1C改編自美國專利No. 7，025，234的圖2)，說明了包括再循環(huán) 探針的基于襯里的壓力配送包裝的示例。已經開發(fā)了此種用于配送和循環(huán)高粘度液體的基 于襯里的容器，但是同時提供液體抽取端口和液體返回端口的需求將抽取流動路徑區(qū)域的 可能尺寸限制為配件開口的較小一部分。包裝10包括外容器42;襯里43(含液化學制品48)， 該襯里43位于容器42中且包括由配件保持件39支撐的配件32;以及再循環(huán)連接器40,該連 接器40被設置為與容器42的頸部41配合。配件保持件39限定氣體通道38,該氣體通道38允 許加壓氣體經由連接器40進入容器42和襯里43之間的壓縮空間36中。連接器40的上部包 括:探針65，探針65被螺紋連接到連接器主體56中（并且被螺母53保持）；排出端口 54，該排 出端口54限定流出通道52(用于接收來自汲取管50的液態(tài)化學制品）；以及保持襯圈49,其 用于接收排出管線（未示出）。探針65的中間表面包括用于抵靠連接器主體56而密封的0形 環(huán)51，并且探針65的下部被插入到汲取管50的被設置在探針65和連接器主體56之間的加寬 上部55。連接器56的下部44包括與容器42的頸部41配合的內螺紋表面。連接器主體56的側 部包括再循環(huán)端口 58,該端口 58利用螺母47和用于容納再循環(huán)管線(未示出）的保持襯圈45 而被固定到主體56。連接器主體56限定再循環(huán)通道60,該再循環(huán)通道60被圍繞汲取管50的 外周設置，從而允許再循環(huán)的液態(tài)化學制品流動通過汲取管和沿著汲取管50的外表面的配 件32之間的開口 46而進入到襯里43中。美國專利No. 7，025，234公開了汲取管的內直徑應該 是從0.35英寸到0.45英寸，汲取管的外半徑應該是從0.45英寸到0.55英寸，并且再循環(huán)通 道60的內直徑應該是從0.60英寸到0.65英寸，其中再循環(huán)通道60的流動區(qū)域應該與汲取管 50中的流動通道52的流動區(qū)域相同（分別是大概0.1104平方英寸）。
[0090]因為需要圍繞汲取管50的外周設置再循環(huán)通道60,所以汲取管50的最大流動區(qū)域 被限定，因此增加了壓降和減小了通過汲取管50的潛在流量，尤其是當非常高粘度的液態(tài) 化學制品被配送時。另外，根據圖1A-1C的設備10需要探針65和汲取管50之間的連接被設置 在連接器主體56的內部和容器的口部的外部，從而對于汲取管而言不可能裝在密封的容器 中被運輸。
[0091]另外，傳統(tǒng)地采用低粘度材料的基于襯里的壓力配送容器可能不適于配送高粘度 材料，由于配送流動路徑的較低流動區(qū)域和/或流動區(qū)域的較多轉變，由此導致增大的背壓 和對于壓縮氣體的不實際的高壓的潛在需求(并且還導致對用于壓力安全殼的大量規(guī)容器 的需求）。
[0092]參考圖2 (改編自美國專利No. 5，435，460的圖6 )，展現了此種用于低粘度材料的傳 統(tǒng)的基于襯里的壓力配送包裝的示例。包裝包括外容器112,該外容器112容納具有配件118 的可折疊襯里120,利用限定氣體通道172的保持件119將該配件118安裝到容器112的口部 130。在襯里120被填充液態(tài)化學制品之后，汲取管122(限定液體通道194)和汲取管聯接件 124(限定液體通道180)被插入在配件118中。蓋和可破裂膜(未示出）可以被設置為用來密 封容器112(例如，具有汲取管122和配件保持件119)以用于運輸。在使用時，連接器114被接 合到容器112。連接器114包括下主體部141、保持件143、上主體部148、適配部149和探針 146，該探針146限定流動通道144和用于接收0形環(huán)125的槽。包括軸部150的探針146可以被 插入通過覆蓋容器口部130的可破裂膜(未示出），從而起作用以釋放襯里120中的頂部空間 氣體。探針的下端被插入到汲取管聯接件124的在配件118內部的空腔176中，其中，汲取管 聯接件124包括上邊緣187和圍繞該上邊緣187的外周的0形環(huán)152。加壓氣體(例如，空氣或 氮氣)被供給通過氣體通道162,142,104,172和190(其中，通道190包括環(huán)形凹部)而進入到 襯里120和容器112之間的壓縮空間139中，從而迫使液態(tài)化學制品向上流過汲取管122,汲 取管聯接件124和探針146而進入到連接管線(未示出）以將液態(tài)化學制品輸送到使用地。
[0093] 如圖2所示，汲取管聯接件124被中間地連接在探針146和汲取管122之間，其中前 述部件之間的過渡部以及從襯里開始穿過連接器的液態(tài)化合物流動通道包括從限定在汲 取管122中的通道194到分別限定在汲取管聯接件124和探針146中的通道180、144的流動區(qū) 域的減小。此種流動區(qū)域的減小將產生明顯的壓降，如果圖2的包裝被用于配送高粘度液態(tài) 化學制品的話。結果，根據圖2的包裝的傳統(tǒng)包裝是可用性受限的。
[0094] 本公開涉及克服在傳統(tǒng)的再循環(huán)和低粘度材料配送系統(tǒng)中出現的多種問題的流 體和配送系統(tǒng)以及方法。
[0095] 參考圖3A-3F，包括基于襯里的壓力配送包裝（包括容器330、襯里340和連接器 360)的流體儲存和配送設備300在本公開的實施例中被說明。圖3B-3F示出了與容器300分 開的連接器360，其中，圖3D提供了配送設備300的放大視圖，圖3E示出了襯里340到配件341 的連接的細節(jié)圖，圖3F提供了圖3A和3D的配送設備300的一部分的另一放大側視剖面圖（例 如，說明了連接器探針380、汲取管350和襯里配件341之間的連接）。
[0096] 如圖3A和3D-般地示出，流體儲存和配送設備300包括剛性或基本剛性容器330， 該容器容納可折疊襯里340,其中壓縮空間339被設置在容器330和襯里340之間。在一個實 施例中，壓縮空間339占據下凹部的環(huán)形區(qū)域，該環(huán)形區(qū)域被限定在主體結構和探針之間。 [0097]容器330的特征能夠是剛性或基本剛性的，并且包括界定內部體積332的下腔壁 333和上腔壁334，其上外周支撐壁335和下外周支撐壁336延伸到下腔壁333和上腔壁334外 部，上外周支撐壁可選地包括允許用作運輸把手的孔337。上外周支撐壁可以可選地端接于 卷曲的上唇緣338處。襯里340界定可以包括含液體材料(例如，可選地該含液體材料被可以 容納惰性氣體的頂部空間覆蓋）的內部體積343。孔限定式配件341界定襯里340的上開口， 其中，配件341的上端被配件保持件356保持，該配件保持件356被中間地設置在汲取管350 和容器頸部331之間。配件保持件356包括凸起的配件保持件頸部357并且包括設置成分別 與限定在內部探針保持件366中的氣體通道368，369流體地連通的氣體通道358，359。配件 341的能夠被外展的上端被設置成接觸凸起的配件保持件頸部357的上表面354。汲取管350 延伸到襯里340的內部中并且包括內部液體通道352、能夠被加寬或外展的上部355、下端 351以及可選的液體浸入下側開口 353(靠近下端351)。
[0098] 如圖3A-3D-般地示出，連接器360被聯接到容器330,其中，連接器360的內部帶螺 紋側壁363被固定到容器頸部331。連接器360包括上連接器主體370、被設置為保持探針380 的內部(探針)保持件366和下連接器主體362。上連接器主體370包括被限定在頂面371中的 且用于接收減壓閥376和加壓氣體管道接頭377的孔，并且還限定分別與減壓閥376和加壓 氣體管道接頭377流體連通的氣體通道378、379。上連接器主體370能夠利用緊固件389被聯 接到下連接器主體362。探針380限定圍繞中心軸線375同心的內部流動通道382,并且探針 380被保持在上連接器主體370和內部保持件366之間，其中0形環(huán)或其他密封元件372沿著 接口表面388被設置在探針380和內部保持件366之間。內部保持件366限定用作被限定在上 連接器主體370中的通道378、379的延伸部的氣體通道368、369，其中0形環(huán)或其他密封元件 373被設置在相應的成對的氣體通道368-378和369-379之間的過渡區(qū)域中。內部保持件366 還限定接收探針380的一部分的凹部367。下連接器主體362抵接上連接器主體370并且圍繞 內部保持件366的側壁365，其中0形環(huán)或其他密封元件374被設置在下連接器主體362和內 部保持件366之間。下連接器主體362的下凹部364沿著側壁363的內表面帶有螺紋，其中下 連接器主體362的下凹部364與內部保持件366的凹部367連續(xù)。下連接器主體362的下邊緣 361界定下凹部364的開口。探針380的下部突出到凹部367、364中，其中探針380的下端381 被設置在下連接器主體362的下端361之上的下凹部364中。探針380的下末端381沿其外半 徑而被界定從而限定錐形表面384,該錐形表面384相對于探針380的中心軸線375是傾斜 的。在一個實施例中，錐形表面384限定倒角表面。探針380的外壁389限定凹部385,該凹部 385被設置為接收0形環(huán)或其他密封元件386,其中凹部385從下面被局部加寬的行程止擋部 387界定。
[0099] 如圖3D至3F-般地示出，汲取管350的上部355被設置在配件341中，其中，配件341 被配件保持件356保持。在一個實施例中，在容器330的襯里340經由配件341而被填充液態(tài) 化學制品之后，汲取管350被插入到配件341中，并且?guī)菁y蓋(例如，蓋800、850或者運輸探 針組件870,根據圖8-10所示)被固定到容器頸部331以將液態(tài)化學制品和汲取管340密封在 襯里340和容器330中以用于運輸。此后，帶蓋容器被運輸到使用點（例如，用于制造電子裝 置的工廠），一旦之前被固定的蓋在一些實施例中被移除，并且連接器360與容器330配合。 (在其他實施例中，諸如在帶有運輸探針組件870的情況下，移除蓋是不必要的，如下文參考 圖10說明的那樣）。隨著連接器360的內螺紋側壁363與容器頸部331配合，探針380的壁厚減 小的下端（凸端)被插入到汲取管350的上部（凹部)355中。汲取管350的上部355能夠被加寬 (例如，外展）。由于汲取管350的上部355被探針380的下端381接收，因而探針380的錐形面 384被設置為使得汲取管350的上部355的表面壓靠或坐靠在配件341的內表面從而在探針 360和配件341之間密封地接合汲取管341。
[0100] 在一個實施例中，稍微旁側的間隙"G"被設置在汲取管的上端和配件341的內壁面 之間。功能上講，通過使得汲取管350坐靠而未束縛在上部355的右側圓筒部的內表面上，間 隙"G"增大汲取管350的上部355在配件341中的坐靠。
[0101] 在操作中，隨著連接器360的內螺紋側壁363與容器頸部331配合，探針380的下端 381與汲取管350的上部355接觸。在一個實施例中，相對于容器頸部331擰緊連接器360使得 探針380的錐形表面384向下平移并且在汲取管350的上部355上施加力。力能夠使得配件 341彈性地變形（例如，在其中留下凹陷），從而促進主動的密封。探針380的外壁389和配件 340的內壁之間的側面密封也通過0形環(huán)或其他密封元件386而被促進。
[0102]參考圖3G-3I，用于加強探針380、汲取管350和配件341之間的密封的應力集中裝 置也被示出在本公開的實施例中。在圖3G中，說明了從錐形表面384突出的可選肋部392。肋 部392圍繞中心軸線375是連續(xù)的并且垂直于錐形表面384突出距離394,從而接合汲取管 350的上部355。在圖3H中，說明了在汲取管350的上部355上使用肋部396和397中的一個或 兩個的可選裝置，各個肋部的特征在于垂直于錐形配合表面384突出距離394。
[0103]功能上講，圖3G的肋部392當被實現時提供應力集中器，該應力集中器強化錐形表 面384和汲取管350的上部355之間的密封的整體性。本質上，應力集中器被過盈配合到汲取 管350的提供主動密封的外展上部355。應力集中器通過克服汲取管350的上部355的外展配 合表面的表面角度/平面的變化而強化密封的整體性，導致兩個部件之間的改進的密封。在 上部355的內表面上導致的局部變形也可以導致上部355的外表面上的變形，由此強化上部 355和配件341之間的密封的整體性。
[0104]在連接器360被固定到容器330之后，可以通過使得加壓氣體流動通過加壓氣體管 道接頭377、通過限定在連接器360中的氣體通道379,369以及限定在配件保持件356中的氣 體通道359從而對設置在容器330和襯里340之間的壓縮空間339加壓來完成襯里340中的液 體的配送。將壓力施加到壓縮空間339用于壓縮(和逐漸地折疊)襯里340,并且因此對容納 在襯里340中的液態(tài)化學制品加壓。此種行為迫使來自襯里30的液態(tài)化學制品通過汲取管 350的液體浸入開口 353而向上進入到內部液體流動通道352，并且進入和通過探針380的液 體流動通道382,從而被排出到被連接到探針380的上端383的排出管線(未示出），從而被輸 送到使用點(例如，使用液體的處理工具）。如果壓縮空間39中的氣體壓力超過減壓閥376的 預定設定點壓力，那么減壓閥376將自動打開和允許加壓氣體通過限定在配件保持件356中 的氣體通道358和限定在連接器360中的氣體通道368,378而離開壓縮空間339從而通過減 壓閥376而被排出。
[0105] 在一個實施例中，分別限定在汲取管350和探針380中的流動通道352,382的內直 徑是至少0.62英寸。分別限定在汲取管350和探針380中的流動通道352,382的內尺寸分別 能夠被匹配在流動區(qū)域中（例如，直徑或流動區(qū)域的改變少于大約5%、少于大約3%、少于 大約2%、少于大約1 %、少于大約0.5%或者少于大約0.1 % )，從而降低沿著汲取管350和探 針380之間的過渡區(qū)域的潛在壓降，從而防止在配送的液體中形成氣泡。
[0106] 在感測到排空狀態(tài)或接近排空狀態(tài)之后（其中，基于襯里的容器的液態(tài)內容物基 本上被排空），連接器360 (包括探針380)可以被從容器頸部331上拆卸下來，并且連接器360 可以被連接到與容器330基本相同的類型的另一(填充液體的）基于襯里的容器，從而繼續(xù) 將液體從其他容器配送到使用點。在特定的實施例中，在新的基于襯里的壓力配送容器準 備用于配送操作的情況下，含液體材料可以繼續(xù)從可選的下游儲液器被供給到使用液體的 過程。
[0107] 應當注意，在探針380被描述為金屬的情況下，使用聚合物材料也是一種選項。類 似地，附圖中的多種其他部件被描述為是聚合物材料，但是可選地可以是金屬材料的。例 如，上連接器主體370和下連接器主體362經常是金屬的（例如鋁合金或不銹鋼），并且容器 330經常是金屬的（例如，不銹鋼）。
[0108] 參考圖4,用于從流體儲存和配送設備400中配送含液體材料（例如，液態(tài)化學制 品）的流體處理系統(tǒng)401在本公開的實施例中被示意性地說明。在示出的實施例中，配送設 備包括容器430和可折疊襯里440。汲取管450從襯里配件441向下延伸到襯里440的內部中 從而與容納在襯里440中的液體448接觸。汲取管450的特征是細長的，包括液體流動通道 452,并且包括用作靠近襯里440的底部的液體抽取點的下端451。襯里440和容器430之間的 壓縮空間439(i)借助于連接器460中的第一氣體通道479與加壓氣體源412流體連通，并且 (i i)借助于連接器460中的第二氣體通道478與減壓閥476 (和超壓減壓口 476A)流體連通。 連接器460還包括探針480，該探針限定液體流動通道482，該液體流動通道482被設置成在 一個實施例中與限定在汲取管450中的液體流動通道452流體連通，并且具有與該液體流動 通道452相同的流動區(qū)域。在限定在探針480中的液體流動通道482的下游，控制閥413、排空 探測傳感器414和儲液器415可以被設置在使用液體的過程(或過程工具)416的上游。排空 探測傳感器414可以包括被設置成感測被配送的液體的壓力的壓力變送器，從而探測到指 示接近排空狀態(tài)的壓降狀態(tài)(基于襯里的壓力配送的特征）?？蛇x地，排空探測傳感器414可 以采用一個或多個液位傳感器，液位傳感器被設置成感測被中間地設置在襯里440和使用 液體的過程(或過程工具)416之間的（可選)儲液器415中的液位。儲液器415可以包括用于 抽取液體的底部出口和允許流通氣體的頂部出口。為了補充或取代前述的排空探測元件， 秤411可以被設置為感測容器430及其內容物的重量，其中重量的改變對于確定何時襯里 440的液體內容物被排空或者接近排空是有用的?？刂破?10可以被設置為接收來自一個或 多個傳感器的輸入，并且被設置為控制一個或多個閥或其他流動控制元件的操作，被設置 為控制加壓氣體源，被設置為控制諸如流體配送的開始和停止等的操作，調整流體流量，調 整在排出時壓力配送容器的改變，向操作者通知異常狀態(tài)，管理材料存貨需求和/或控制或 影響使用液體的處理工具的操作。
[0109] 參考圖5,被設置為從缺少襯里的流體儲存和配送設備500中配送液體或含液體材 料548的流體處理系統(tǒng)501在本公開的實施例中被示意性地示出。缺少襯里的流體儲存和配 送設備500可以包括具有寬度減小的下部532的容器530、與汲取管552相關聯的逆流防止元 件590以及被設置成感測指示容器530的下部532中的液體的缺失或液體的低液位的狀態(tài)的 至少一個傳感器元件518、518A。在某些實施例中，傳感器元件518僅僅被設置在容器530的 外部(例如，靠近寬度減小的下部532);在其他實施例中，至少一個傳感器元件或該傳感器 元件的一部分518A可以被設置在容器520的寬度減小的下部532(或者與之流體連通）中。汲 取管550向下延伸到容器520的內部中，從而與容納在其中的液體或含液體材料548接觸。汲 取管550的特征是細長的，包括液體流動通道552,并且包括用作靠近容器540的寬度減小的 下部532的底部的液體抽取點的下端551。在一個實施例中，逆流防止元件590(例如，浮閥， 蝶形止回閥，或其他閥元件)與汲取管552相關聯，靠近低端551處的液體抽取開口并且被用 于防止液體從汲取管550流入到容器530中。
[0110] 容器530的內部（i)借助于連接器560中的第一氣體通道579與加壓氣體源512流體 連通，并且（i i)借助于連接器560中的第二氣體通道578與減壓閥476 (和超壓減壓口 576A) 流體連通。連接器560還包括探針580，該探針限定液體流動通道582，該液體流動通道582被 設置成與限定在汲取管550中的液體流動通道552流體連通，并且具有與該液體流動通道 552相同的流動區(qū)域。在限定在探針580中的液體流動通道582的下游，控制閥51和儲液器 515(該儲液器可選地可以包括一個或多個相關聯的排空探測傳感器，諸如一個或多個液位 傳感器)可以被設置在使用液體的過程(或過程工具）516的上游。儲液器515可以被中間地 設置在容器530和使用液體的過程或過程工具516之間；此種儲液器515可以包括用于抽取 液體的底部出口和允許流通氣體的頂部出口。儲液器515可以可選地包括被設置為感測其 中的液位的一個或多個液位傳感器。為了補充或取代前述的排空探測元件，秤511可以被設 置為感測容器530及其內容物的重量，其中重量的改變對于確定何時容器530的液體內容物 被排空或者接近排空是有用的。控制器510可以被設置為接收來自一個或多個傳感器的輸 入，并且被設置為控制一個或多個閥或其他流動控制元件的操作，被設置為控制加壓氣體 源，被設置為控制諸如流體配送的開始和停止等的操作，調整流體流量，調整在排出時壓力 配送容器的改變，向操作者通知異常狀態(tài)，管理材料存貨需求和/或控制或影響使用液體的 處理工具的操作。
[0111] 參考圖6A-6B，在本公開的實施例中示出了逆流防止元件的示意側視剖視圖。在說 明的實施例中，逆流防止元件是分別位于打開位置和閉合位置中的浮閥690的形式。液體流 動通道652中的浮動元件691包括寬度減小的下部693和寬度增大的上部692,該寬度增大的 上部692被設置為與和汲取管650或該汲取管650的延伸部相關聯的閥座元件695協作。可選 的栓繩696可以被設置為防止浮動元件692的脫離。如圖6A所示，當液體在液體流動通道652 中向上流動時，浮動元件691相對于閥座元件695向上升起，由此打開浮動元件691之下的和 圍繞該浮動元件691的間隙，液體通過該間隙經由汲取管650被從容器的內部抽取出。相反 地，當液體的向上流動停止時，重力(或者液體的逆流)可以在液體流動通道65 2中向下拉浮 動元件691從而導致寬度增大的上部692接觸閥座元件695并且防止液體從汲取管650向下 流動（即，逆流)到相關聯的容器中，由此減少氣泡在容器中的液體中的引入。
[0112] 參考圖7A-7C，在本公開的實施例中示出了逆流防止元件。在該說明中，逆流防止 元件是蝶形止回閥790的形式，在圖7A和7B中分別示出為位于打開位置和閉合位置，并且在 圖7C中位于閉合位置。旁側支撐件797貫穿汲取管750的寬度并且支撐被設置成與汲取管 750的壁協作的第一鉸接半圓形翼形元件798A和第二鉸接半圓形翼形元件798B。如圖7A所 示，當液體在液體流動通道752中向上流動時，翼形元件798A-798B向上擺動到打開位置，由 此打開間隙，液體通過該間隙經由汲取管750被從容器的內部抽取出。相反地，當液體的向 上流動停止時，重力(或者液體的逆流)可以向下拉翼形元件798A-798B從而接觸汲取管750 的內壁并且防止液體從汲取管750向下流動（即，逆流)到相關聯的容器中，由此減少氣泡在 容器中的液體中的引入。
[0113] 參考圖8，在本公開的實施例中說明兩端口蓋800。該兩端口蓋800包括頂部802，裙 緣部804從該頂部802下垂。裙緣部804能夠包括內表面806和外表面808,并且能夠包括形成 在其上的螺紋812以用于與容器頸部331聯接。頂部802還限定配送端口 814和加壓端口 816。 配送端口 814與襯里340的內部體積343流體連通。加壓端口 816與容器330的內部體積332和 襯里340的外表面342流體連通。
[0114] 配送端口 814和加壓端口 816能夠分別利用接頭818和822端接于頂部802上。接頭 818和822，諸如Luer接頭，能夠容納蓋或插頭，該蓋或插頭能夠被安裝或移除從而選擇性地 進入到容器330。在一些實施例中，接頭818和822中的一個或兩個能夠容納用于配送端口 814和加壓端口 816中的一個或多個的選擇性隔離的閥。在一個實施例中，柄部824從頂部 802下垂從而接合或幾乎接合汲取管350。柄部824能夠限定配送端口 814,并且能夠包括靠 近遠端的彈性密封件825，例如被設置在適當尺寸的密封壓蓋中的0形環(huán)，彈性密封件825在 柄部824和配件保持件356的保持件頸部357之間形成密封。
[0115] 在一個實施例中，兩端口蓋800被分為基部800a和閉合部800b，基部800a和閉合部 8〇〇b分別具有其頂部802a和802b。在圖8說明的實施例中，使用此種被分開的裝置。在該實 施例中，基部800a包括向上延伸到閉合部800b中的頸部826，該頸部826還限定旁路828，該 旁路828使得能夠在加壓端口 816和容器的內部體積332之間進行流體連通。例如通過螺紋 地接合（如上所述），閉合部800b能夠被聯接到基部800a。例如通過如上所述的坐接于密封 壓蓋中的0形環(huán)，彈性密封件832能夠被設置在閉合部800b和基部800a的頂部802a之間。
[0116] 功能上講，兩端口蓋800能夠被使用以從填充有液體的襯里340中移除頂部空間氣 體，并且將頂部空間氣體替換為諸如氮氣的用于儲存或運輸的惰性氣體。柄部824延伸經過 密封件825以向下延伸到配件341中，以用于使得配送端口814和汲取管350與柄部824外部 的區(qū)域隔開。被分開的裝置使得:通過提供較大的基于合適尺寸的蓋800a，被設計為用于諸 如圖3A至3G的連接器360等的較小容器的蓋能夠適用于較大的容器。
[0117] 在操作中，被設置在容器330中的襯里340被填充有液體和汲取管350,該汲取管 350被插入到填充液體的襯里340中并且被聯接到配件341。兩端口蓋800被固定到容器頸部 331。在配送端口 814被打開的情況下，加壓端口 816能夠被加壓，導致填充液體的襯里340局 部地收縮和導致頂部空間氣體經由配送端口 814被向外推。被用于使得加壓端口 816加壓的 氣體能夠是任何適當的氣體，諸如空氣或惰性氣體。應當注意，在多個實施例中，柄部824不 接觸汲取管350或者不限制汲取管350的豎直移動；因此，被定位在汲取管350外部的任何頂 部空間氣體能夠逸入到配件保持件356的保持件頸部357中，從而經由配送端口814消除。
[0118] 惰性氣體源然后被連接到配送端口 814，并且加壓端口 816暴露向大氣。加壓端口 816暴露向大氣能夠使得來自惰性氣體源的惰性氣體被吸入到配送端口814中。在一個實施 例中，惰性氣體源被控制成大氣壓力之上的預定壓力，例如1或2鎊/平方英寸。利用此技術， 在填充操作被惰性氣體取代或基本取代之后，頂部空間氣體原始地存在于襯里中。配送端 口 814和可選地加壓端口 816然后可以被加蓋，以用于運輸或儲存。
[0119] 參考圖9，三端口蓋850在本公開的實施例中被說明。三端口蓋能夠包括很多與兩 端口蓋800相同的特征和屬性，這些特征和屬性以相同的附圖標記表示。另外，三端口蓋850 包括與襯里340的內部體積343流體連通的分開的惰性氣體端口 852。對于使用柄部824的實 施例，惰性氣體端口 852能夠被限定在該柄部824中，如圖9所示。惰性氣體端口852能夠利用 諸如Luer接頭等的能夠被加蓋的接頭854端接于頂部802上，該接頭能夠容納蓋或插頭，該 蓋或插頭能夠被安裝或移除從而選擇性地訪問襯里340的內部體積343。
[0120] 在操作中，被設置在具有襯里340的容器330中的襯里340是空的。汲取管350被插 入到空的襯里340中，并且被聯接到配件341。三端口蓋850被固定到容器頸部331。通過首先 向加壓端口 816施加壓力以圍繞汲取管350折疊襯里，然后從加壓端口 816移除壓力并且經 由惰性氣體端口 852向襯里充氣，襯里340能夠被循環(huán)一次(折疊和膨脹）。典型地，通過惰性 氣體來執(zhí)行充氣。惰性氣體也可以以較低的但是正的壓力，例如1或2鎊/平方英寸，被施加 到惰性氣體端口 852。在一個實施例中，惰性氣體源被控制為該正壓，從而保證襯里被完全 地填充氣體。在將襯里340加壓到低壓之后，襯里340被填充有經由配送端口 814而被供給的 液體。在一個實施例中，以比大氣壓力高的壓力施加用于液體填充的壓力，從而保證在填充 期間在襯里340上維持正壓，從而減少大氣進入到襯里340中。在完成填充操作之后，配送端 口 814、惰性氣體端口 852和可選地加壓端口 816能夠被加蓋以用于運輸或儲存。
[0121] 參考圖10,在本公開的實施例中，說明了用于向襯里340填充和從襯里340中移除 非惰性氣體的運輸探針組件870。運輸探針組件870包括與本文公開的其他實施例的部件類 似的部件，包括兩端口蓋800和三端口蓋850的基蓋800a，以及連接器360(上連接器主體370 和下連接器主體362)和內部保持件366。這些部件包括很多（但不一定是全部）與之前說明 的特征和屬性相同的特征和屬性，它們在圖10中將以相同數字的附圖標記表示。
[0122] 另外，運輸探針組件870包括氣體移除探針872，該氣體移除探針872能夠替代配送 設備300的探針380(例如，圖3D)。氣體移除探針872限定液體填充端口 874和惰性氣體端口 876，液體填充端口 874和惰性氣體端口 876能夠分別利用連接器878和882外部地端接。氣體 移除探針872以與探針389被夾持在力圖3B的連接器360的方式相同的方式被夾持和固定到 運輸探針組件870。氣體移除探針872也可以包括諸如圖3G中說明的應力集中器(例如，肋部 392) 〇
[0123] 功能上講，運輸探針組件870以與如上所述的用于三端口蓋850的等同或類似的方 式使得襯里被填充并且頂部空間氣體被移除或被惰性氣體替代。另外，氣體移除探針872能 夠與用于將流體配送到工具或配送系統(tǒng)的探針相同，從而提供到工具或配送系統(tǒng)的就緒連 接。
[0124] 在具有容器以及具有配件341和襯里340的組件中說明蓋800和蓋850以及運輸探 針組件870中的每一個。然而，應當理解，蓋800和蓋850以及運輸探針組件870中的每一個能 夠被認為是可交換的，并且因此每一個組成能夠與容器330、配件341和襯里分開地提供的 一個獨立部件或系統(tǒng)，
[0125] 本文說明的實施例能夠提供以下的有利技術效果中的一個或多個:在尤其是高粘 度液體的液體配送中降低壓降(或者背壓）；連接器和基于襯里的容器之間的提高的機械連 接整體性;配送設備的簡化制造;使得汲取管部件能夠被放在具有容納液態(tài)化學制品的襯 里的基于襯里的壓力配送容器內部中運輸;減小液態(tài)化學制品從汲取管的逆流（由此防止 氣泡形成）；減少用于加壓氣體的壓力需求(例如，在缺少襯里的實施例中），并且改進來自 配送容器的液態(tài)化學制品接近排空的探測。
[0126] 雖然已經參考本公開的特定的方面、特征和示出的實施例說明了本發(fā)明，但是應 當理解本發(fā)明的使用不因此被限定，而是可以延伸到和包括多種其他變化、修改和替代實 施例，如對本公開的技術領域中的普通技術人員有所啟發(fā)的變化、修改和替代實施例。結合 一個或多個實施例而說明的任何一個或多個特征試圖與其他任何實施例的一個或多個特 征組合，除非本文具體地相反地指示。相應地，如后文請求保護的本發(fā)明試圖被廣泛地理解 和解釋為包含該精神和范圍中的所有的此種變化、修改和替代實施例。
[0127] 本文公開的附加附圖和方法中的每一個可以被單獨地使用，或者與其他特征和方 法組合，從而提供改進的裝置和用于制造和使用該裝置的方法。因此，本文公開的特征和方 法的組合對于實現最廣泛意義上的本公開可能是非必要的，并且僅僅被公開以具體地說明 代表性的實施例。
[0128] 在閱讀本公開的基礎上，實施例的多種修改對于本領域的技術人員而言是顯而易 見的。例如，相關領域的技術人員將意識到被說明為用于不同實施例的多種特征能夠適當 地被組合、拆開和重新與其他特征組合、單獨使用或者不同地組合。類似地，上述的多個特 征應該全部被理解為示例性實施例，而不是對本公開的范圍或精神的限定。
[0129] 相關領域的技術人員將意識到多個實施例可以包括比在如上所述的任何單獨的 實施例中說明的特征少的特征。本文描述的實施例不試圖是多個特征可以組合的方式的詳 盡展示。因此，實施例是特征的非相互排斥的組合，而是權利要求能夠包括選自不同的單獨 的實施例的不同的單獨的特征的組合，如本領域的技術人員理解的那樣。
[0130] 通過引用上述文件的任何納入被限定，從而沒有不包含與本文詳述的公開相反的 主題。通過引用上述文件的任何納入進一步被限定，從而包含在這些文件中的權利要求不 通過引用而被納入此文。通過引用上述文件的任何納入又進一步被限定，從而在這些文件 中提供的任何定義不通過引用而被納入此文，除非明確地被包含在本文中。
[0131 ]對于包含在本文中的"實施例"、"公開"、"本公開"、"本公開的實施例"、"被公開的 實施例"等的解釋參考現有技術沒有公開的本專利申請的說明書(包括權利要求和附圖的 文本）。
[0132]為了解釋權利要求，明確的意圖是35U.S.C. 112(f)的規(guī)定不被援用，除非特定的 術語"用于……的裝置"或"用于……的步驟"在相應的權利要求中被敘述。
【主權項】
1. 一種壓力配送設備，包括： 剛性容器，該剛性容器包括限定容器開口的頸部； 可折疊襯里，該可折疊襯里被設置在容器中并且包括孔限定式襯里配件，該孔限定式 襯里配件被設置在剛性容器的頸部中或者沿著剛性容器的頸部設置； 被設置在襯里中的向下延伸式汲取管； 連接器，所述連接器被接合到剛性容器的頸部并且包括探針，該探針限定從其中通過 的流體流動通道，其中汲取管的上部被設置為接收探針的下部，并且其中探針的下部被設 置成使得汲取管的上部坐靠在配件的內表面上，汲取管與探針的下部直接接觸并且與配件 直接接觸，從而將汲取管密封地接合在探針和配件之間。2. 根據權利要求1所述的壓力配送設備，其中，探針的下部的外半徑限定錐形表面，該 錐形表面相對于探針的中心軸線傾斜。3. 根據權利要求2所述的壓力配送設備，其中，探針的下部的外表面被倒角。4. 根據權利要求2所述的壓力配送設備，其中，探針的至少下部包括不銹鋼材料。5. 根據權利要求1所述的壓力配送設備，還包括被沿著剛性容器的頸部定位的配件保 持件，其中配件被配件保持件保持為靠近頸部。6. 根據權利要求5所述的壓力配送設備，其中，圓周密封元件沿著探針的外壁被設置以 密封地接合配件保持件。7. 根據權利要求5所述的壓力配送設備，其中，圓周密封元件包括彈性材料。8. 根據權利要求5所述的壓力配送設備，其中，汲取管的上部被定位在配件保持件的上 端處或者配件保持件的上端下方。9. 根據權利要求1所述的壓力配送設備，其中，連接器限定至少一個氣體流動通道，該 至少一個氣體流動通道被設置為允許與壓縮空間流體連通，壓縮空間與容器的內部體積和 可折疊襯里的外表面流體連通。10. 根據權利要求9所述的壓力配送設備，其中，所述至少一個氣體流動通道包括： 第一氣體流動通道，該第一氣體流動通道被設置為允許來自外部加壓氣體源的加壓氣 體進入壓縮空間中；以及 第二氣體流動通道，該第二氣體流動通道被設置為與減壓閥流體連通，從而防止壓縮 空間的超壓。11. 根據權利要求1所述的壓力配送設備，其中，配件被構造為當與汲取管密封地接合 時塑性地變形。12. 根據權利要求1所述的壓力配送設備，其中， 汲取管限定包括第一內直徑的內部通道； 探針的流體流動通道限定第二內直徑；以及 第二內直徑與第一內直徑基本相等。13. 根據權利要求1所述的壓力配送設備，其中，當液體被從壓力配送設備配送時，不存 在濕式彈性密封件。14. 根據權利要求1所述的壓力配送設備，還包括與汲取管相關聯的逆流防止元件。15. 根據權利要求1至14中的任一項所述的壓力配送設備，還包括與汲取管的上部接合 的應力集中器。16. 根據權利要求15所述的壓力配送設備，其中，應力集中器從探針的下部徑向向外地 突出。17. 根據權利要求15所述的壓力配送設備，其中，應力集中器從配件徑向向內突出。18. 根據權利要求15所述的壓力配送設備，其中，應力集中器包括連續(xù)肋部。19. 根據權利要求1至14中的任一項所述的壓力配送設備，還包括與探針的下部和配件 中的至少一個接合的應力集中器20. -種用于基于襯里的壓力配送設備的連接器，包括： 主體結構，該主體結構包括被設置為與剛性容器的頸部的外螺紋部協作的內螺紋側壁 并且限定靠近內螺紋側壁的下凹部； 探針，該探針限定貫穿其中的流體流動通道，其中，探針的下部延伸到下凹部中，以用 于與汲取管的上部可操作地聯接，探針的下部限定相對于探針的中心軸線傾斜的錐形表 面；以及 限定至少一個氣體流動通道的結構，該結構被設置為能夠實現連接器的外表面和下凹 部之間的流體連通， 其中，探針的下部被構造為，當連接器與基于襯里的壓力配送設備配合時，該探針的下 部直接接觸汲取管的上部，從而汲取管的上部坐靠在配件的內表面上以使得汲取管密封地 接合在探針和配件之間。21. 根據權利要求20所述的連接器，其中，圓周密封元件沿著探針的外壁被設置在所述 下部之上，從而當連接器與基于襯里的壓力配送設備配合時，接合配件保持件。22. 根據權利要求20所述的連接器，其中，探針的至少下部包括用于與聚合物材料的汲 取管接合的金屬材料。23. 根據權利要求22所述的連接器，其中，所述至少一個氣體流動通道包括第一氣體流 動通道和第二氣體流動通道，所述第一氣體流動通道和第二氣體流動通道中的每個都與下 凹部的環(huán)形區(qū)域流體連通，環(huán)形區(qū)域開始被限定在主體結構和探針之間。24. 根據權利要求20所述的連接器，還包括被設置在主體結構中的內部保持件，該內部 保持件限定與主體結構的下凹部流體連通的凹部。25. 根據權利要求24所述的連接器，還包括與第二氣體流動通道流體連通的減壓閥。26. 根據權利要求20-25中的任一項所述的連接器，其中，探針包括應力集中器，該應力 集中器從探針的下部的外表面徑向向外延伸以與汲取管接合。27. -種用于配送含液體材料的方法，包括以下步驟： 提供壓力配送設備，該壓力配送設備包括：（a)剛性容器，該剛性容器包括限定容器開 口的頸部；（b)可折疊襯里，該可折疊襯里被設置在容器中并且包括孔限定式襯里配件，該 孔限定式襯里配件被設置在剛性容器的頸部中或者沿著剛性容器的頸部設置；（c)被設置 在襯里中的向下延伸式汲取管；（d)連接器，所述連接器包括探針，該探針限定從其中通過 的流體流動通道；（e)有形介質上的一組指令，所述一組指令包括： 將連接器螺紋地接合到剛性容器的頸部，以使得探針的下部抵接汲取管的內表面而坐 接汲取管的上部，以使得汲取管密封地接合在探針和配件之間；以及 通過連接器將加壓氣體供給到壓縮空間，該壓縮空間與剛性容器和可折疊襯里流體連 通從而壓縮可折疊襯里。28. 根據權利要求27所述的方法，其中，指令還包括以下步驟，在將連接器螺紋地接合 到剛性容器的頸部之前，從剛性容器的頸部上移除蓋，從而暴露襯里配件的一部分并且暴 露汲取管的由襯里配件保持的一部分。29. 根據權利要求26或27所述的方法，其中，在提供壓力配送設備的步驟中提供的探針 的下部包括接觸汲取管的應力集中器。30. 根據權利要求26或27所述的方法，其中，在提供壓力配送設備的步驟中提供的汲取 管包括接觸探針的下部的應力集中器。31. 根據權利要求26或27所述的方法，其中，在提供壓力配送設備的步驟中提供的汲取 管包括接觸配件的應力集中器。32. 根據權利要求26或27所述的方法，其中，在提供壓力配送設備的步驟中提供的配件 包括接觸汲取管的應力集中器。33. -種使用壓力配送設備的方法，該壓力配送設備包括：（a)剛性容器，該剛性容器包 括限定容器開口的頸部；（b)可折疊襯里，該可折疊襯里被設置在容器中并且包括孔限定式 襯里配件，該孔限定式襯里配件被設置在剛性容器的頸部中或者沿著剛性容器的頸部設 置；（c)被設置在襯里中的向下延伸式汲取管；和(d)連接器，該連接器包括探針，該探針限 定從其中通過的流體流動通道;該方法包括以下步驟： 將連接器螺紋地接合到剛性容器的頸部，以使得探針的下邊緣直接接合汲取管的上 部；以及 通過連接器將加壓氣體供給到可折疊襯里和剛性容器之間的壓縮空間以壓縮可折疊 襯里。34. 根據權利要求33所述的方法，還包括以下步驟:在將連接器螺紋地接合到剛性容器 的頸部之前，從剛性容器的頸部上移除蓋，從而暴露襯里配件的一部分并且暴露汲取管的 由襯里配件保持的一部分。35. 根據權利要求33或34所述的方法，其中，探針的下部包括接觸汲取管的應力集中 器。36. 根據權利要求33或34所述的方法，其中，汲取管包括接觸探針的下部的應力集中 器。37. 根據權利要求33或34所述的方法，其中，汲取管包括接觸配件的應力集中器。38. 根據權利要求33或34所述的方法，其中，配件包括接觸汲取管的應力集中器。39. -種壓力配送設備，包括： 容器，該容器包括沿著頂面的口部、具有第一寬度的上部和具有比第一寬度小的第二 寬度的下部； 向下延伸式汲取管，該向下延伸式汲取管包括被設置在容器的下部中的液體抽取開 口；以及 以下特征(a)和(b)中的至少一個： (a) 逆流防止元件被設置為靠近液體抽取開口以防止液體從汲取管流動到容器中；以 及 (b) 傳感器被設置在容器的下部中或者靠近容器的下部設置，以感測指示容器的下部 中的液體的缺失或液體的較低液位的狀態(tài)。40. 根據權利要求39所述的壓力配送設備，其中，逆流防止元件被設置為靠近液體抽取 開口以防止液體從汲取管流動到容器中。41. 根據權利要求40所述的壓力配送設備，其中，逆流防止元件包括浮閥或蝶形止回 閥。42. 根據權利要求39所述的壓力配送設備，其中，傳感器被設置在容器的下部中或者靠 近容器的下部設置，以感測指示容器的下部中的液體的缺失或液體的較低液位的狀態(tài)。43. 根據權利要求42所述的壓力配送設備，適于響應于所述狀態(tài)的感測而開始從另一 容器配送液體。44. 根據權利要求39所述的壓力配送設備，包括氣體入口，該氣體入口被設置為將加壓 氣體傳輸到容器的內部以接觸被設置在容器中的液體，從而促進液體的缺少襯里的壓力配 送。45. -種壓力配送設備，包括： 容器，該容器包括沿著頂面的口部； 向下延伸式汲取管，該向下延伸式汲取管包括被設置在容器的下部中的液體抽取開 P; 氣體入口，該氣體入口被設置為將加壓氣體傳輸到容器的內部以接觸被設置在容器中 的液體；以及 逆流防止元件，該逆流防止元件被設置為靠近液體抽取開口以防止液體從汲取管流動 到容器中。46. -種用于從基于襯里的配送系統(tǒng)中移除頂部空間氣體的方法，包括： 提供外包裝和設置在所述外包裝中的襯里； 提供用于與外包裝聯接的蓋，該蓋限定用于與被設置在外包裝中的襯里的內部體積流 體連通的第一端口，該蓋限定用于與外包裝的內部和襯里的外部流體連通的第二端口； 在有形介質上提供一組操作指令，該操作指令包括以下步驟： 用液體來填充襯里； 將蓋固定到外包裝；以及 在第一端口打開的情況下加壓第二端口以經由第一端口從襯里中移除頂部空間氣體。47. 根據權利要求46所述的方法，其中，操作指令還包括以下步驟： 利用惰性氣體源將第一端口加壓到預定壓力；以及 在第一端口被加壓到預定壓力之后，閉合第一端口和第二端口。48. 根據權利要求47所述的方法，其中，在將第一端口加壓到預定壓力的操作指令步驟 中，惰性氣體源是氮氣源。49. 根據權利要求46所述的方法，其中，在提供蓋的步驟中被提供的蓋包括可操作地聯 接到第一端口的第一接頭和可操作地聯接到第二端口的第二接頭。50. 根據權利要求49所述的方法，其中，第一接頭和第二接頭中的至少一個是Luer蓋。51. 根據權利要求46所述的方法，其中，在提供基于襯里的配送系統(tǒng)的步驟中被提供的 外包裝是剛性外包裝。52. -種用于從基于襯里的配送系統(tǒng)中移除頂部空間氣體的方法，包括以下步驟： 提供外包裝和被設置在所述外包裝中的襯里； 提供用于與外包裝聯接的蓋，該蓋限定用于與被設置在外包裝中的襯里的內部流體連 通的第一端口和第二端口，該蓋限定用于與外包裝的內部和襯里的外部流體連通的第三端 P； 在有形介質上提供一組操作指令，該操作指令包括以下步驟： 將加壓惰性氣體以預定的第一壓力施加到第二端口；以及 在將加壓惰性氣體以預定的第一壓力施加到第二端口的同時，經由第一端口利用液體 來填充襯里，以比第一壓力大的第二壓力，將液體施加到第一端口。53. 根據權利要求52所述的方法，其中，操作指令還包括以下步驟： 在將加壓惰性氣體施加到第二端口的步驟之前對襯里充氣。54. 根據權利要求53所述的方法，其中，操作指令還包括以下步驟： 從第二端口上移除加壓惰性氣體；以及 蓋住第一端口、第二端口和第三端口。55. 根據權利要求52所述的方法，還包括:在將加壓惰性氣體施加到第二端口的步驟之 前折疊襯里。56. 根據權利要求55所述的方法，其中，折疊襯里的步驟包括向第三端口施加壓力。57. -種用于聯接到基于襯里的配送容器的運輸蓋，該運輸蓋包括： 用于可操作地聯接到基于襯里的配送容器的連接器；以及 被可操作地聯接到連接器的氣體移除探針，該氣體移除探針限定液體填充端口和惰性 氣體端口， 其中，運輸蓋的氣體移除探針被構造為與配送系統(tǒng)直接連接。58. 根據權利要求57所述的運輸蓋，還包括被設置在連接器中的內部保持件，氣體移除 探針被夾在連接器和內部保持件之間。59. 根據權利要求58所述的運輸蓋，其中，連接器包括上連接器主體和下連接器主體， 氣體移除探針被夾在上連接器主體和內部保持件之間。60. 根據權利要求57所述的運輸蓋，還包括將連接器連接到基于襯里的配送容器的基 蓋。61. 根據權利要求57所述的運輸蓋，還包括被設置在連接器中以用于聯接在探針和襯 里的配件之間的配件保持件。62. 根據權利要求57至61中的任一項所述的運輸蓋，其中，探針包括用于與基于襯里的 配送容器的汲取管接合的應力集中器。63. -種用于配送被從壓力配送容器配送的流體流的方法，該方法包括以下步驟： 將加壓氣體施加到剛性容器的內部，以直接接觸被設置在內部中的液態(tài)化學制品，由 此使得液態(tài)化學制品流入到汲取管的抽取開口中，其中抽取開口被設置在容器的下部中， 該容器的下部包括與容器的上部相比減小的寬度；以及 執(zhí)行如下的步驟(a)和(b)中的至少一個： (a) 使用與汲取管相關聯的逆流防止元件，以防止液態(tài)化學制品在汲取管中回流；以及 (b) 感測指示容器的下部中的液態(tài)化學制品的缺失或較低液位的狀態(tài)。64. -種壓力配送設備，包括： 剛性容器，該剛性容器包括限定容器開口的頸部； 配件保持件，該配件保持件限定孔并且被設置在容器的頸部中或者沿著容器的頸部設 置； 可折疊襯里，該可折疊襯里被設置在容器中并且包括被配件保持件保持的孔限定式襯 里配件； 被設置在襯里中的向下延伸式汲取管； 包括探針的連接器，該探針限定從其中通過的流體流動通道， 其中，探針的下部包括應力集中器，該應力集中器被設置為當連接器被固定到剛性容 器的頸部時直接接合汲取管的上部從而提供液密密封。65. 根據權利要求64所述的壓力配送設備，其中，探針限定流動通道，該流動通道具有 下述內直徑，所述內直徑是襯里配件的被設置在配件保持件的孔中的部分的內直徑的至少 65%〇66. 根據權利要求64所述的壓力配送設備，其中，探針和汲取管中的每一個限定具有至 少0.62英寸的內直徑的流動通道。67. 根據權利要求64所述的壓力配送設備，其中，探針的應力集中器被設置為使得汲取 管的上部坐靠在配件的內表面上，從而將汲取管密封地接合在探針和配件之間。68. 根據權利要求64所述的壓力配送設備，還包括與汲取管相關聯的逆流防止元件。69. 根據權利要求64所述的壓力配送設備，其中，應力集中器包括從探針徑向向外突出 的連續(xù)肋部。
【文檔編號】B67D7/06GK105934405SQ201480059337
【公開日】2016年9月7日
【申請日】2014年9月17日
【發(fā)明人】唐納德·D·韋爾, 格倫·M·湯姆, 埃米·科蘭, 戴爾·吉恩·莫烏瑞, 布魯斯·穆索爾夫
【申請人】先科材料有限公司