本技術(shù)涉及真空閥，尤其涉及一種低振高潔凈真空閥。

背景技術(shù)：

1、傳輸閥的作用就是在維持既定真空度需求的同時，來傳輸各種物料。主要是工作在各種工藝腔體之間。目前傳輸門使用最多的場合就是半導(dǎo)體行業(yè)的晶圓傳輸、液晶等有機(jī)面板的傳輸。這類產(chǎn)品有共同的特點就是極易被污染粒子損壞，因此傳輸閥最重要的特性就是低粒子性。金屬閥門的粒子產(chǎn)生主要來源于金屬零部件之間的摩擦，會產(chǎn)生各種金屬碎屑。因此要提高傳輸閥的低粒子性就需要盡可能避免發(fā)生金屬摩擦。目前國內(nèi)傳輸閥多是閥板直上直下型運動，這樣會造成閥板與殼體的金屬摩擦，故當(dāng)前國內(nèi)的半導(dǎo)體設(shè)備公司多是采用進(jìn)口的低粒子傳輸閥，這樣不僅增加了企業(yè)的成本，因為國外的技術(shù)封鎖，也面臨著斷供的風(fēng)險。因此目前傳輸閥市場隨著國產(chǎn)化替代的興起，將會有巨大的市場前景。

2、當(dāng)前在傳統(tǒng)真空領(lǐng)域應(yīng)用較廣泛的閥門大都采用如下形式的設(shè)計：

3、1.直接由單作用氣缸驅(qū)動閥板進(jìn)行上下運動，通過傳統(tǒng)閥芯結(jié)構(gòu)進(jìn)行密封；

4、2.同樣采用單作用氣缸驅(qū)動閥板上下運動的同時，將閥板密封圈改為異形結(jié)構(gòu)進(jìn)行擠壓密封；

5、但是以上形式的設(shè)計存在以下問題：

6、1.開關(guān)閥時，閥芯金屬面與閥體金屬面直接接觸，易磨損產(chǎn)生粉塵和污染顆粒；

7、2.異形密封圈的材料為橡膠，在多次擠壓后易產(chǎn)生嚴(yán)重磨損，進(jìn)而產(chǎn)生污染顆粒。

8、以上缺點導(dǎo)致傳統(tǒng)傳輸閥不符合半導(dǎo)體等高端市場的應(yīng)用要求。

9、半導(dǎo)體行業(yè)對晶圓的質(zhì)量要求非常高，任何粒子的污染或振動都可能導(dǎo)致產(chǎn)品質(zhì)量下降或廢品率增加。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、為了克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實用新型解決了目前真空閥易磨損產(chǎn)生粉塵和污染顆粒以及振動較多的問題。

2、一種低振高潔凈真空閥，包括氣缸筒，所述氣缸筒下端設(shè)置有氣缸座，氣缸座下端設(shè)置有頂蓋，頂蓋下端設(shè)置有閥殼，所述氣缸筒內(nèi)部設(shè)置有閥桿，閥桿頂端與氣缸筒固定連接，閥桿底端與連接塊固定連接。

3、進(jìn)一步地，還包括閥殼底部設(shè)置有橫向氣缸，連接塊與橫向氣缸固定連接，橫向氣缸底部還設(shè)置有調(diào)節(jié)閥，橫向氣缸與調(diào)節(jié)閥固定連接，橫向氣缸外側(cè)設(shè)置有閥板固定塊，橫向氣缸與閥板固定塊固定連接，閥板與閥板固定塊固定連接。

4、進(jìn)一步地，還包括氣缸筒為倒置錐筒，氣缸筒頂部設(shè)置有關(guān)閥氣嘴，氣缸筒內(nèi)部設(shè)置有活塞，活塞表面設(shè)置有活塞密封圈，活塞底部與閥桿連接。

5、進(jìn)一步地，還包括閥桿內(nèi)部設(shè)置有閥桿中心氣路，閥桿中心氣路兩側(cè)設(shè)置有閥桿邊緣氣路。

6、進(jìn)一步地，還包括連接塊底部預(yù)留有行程空腔。

7、進(jìn)一步地，還包括閥殼底部設(shè)置有閥口，閥口為矩形通槽。

8、進(jìn)一步地，還包括閥板為矩形平板，其表面水平方向平行設(shè)置有兩條梯形凹槽，凹槽內(nèi)部設(shè)置有閥板密封圈，閥板密封圈設(shè)置在閥口邊緣外側(cè)。

9、進(jìn)一步地，還包括橫向氣缸頂部設(shè)置有橫向氣缸蓋，橫向氣缸中心處設(shè)置有橫向氣缸活塞，橫向氣缸與閥板間設(shè)置有閥板緩沖墊。

10、本實用新型的有益效果：

11、1.閥門低粒子性能：通過杜絕物料通過閥口的腔體內(nèi)的金屬摩擦，最大限度的減少了低粒子的產(chǎn)生；

12、2.低振動性能：通過增加各個軸向運動處的導(dǎo)向環(huán)，使閥門的開關(guān)過程更加穩(wěn)定；

13、3.模塊化設(shè)計，易拆卸：閥門整體結(jié)構(gòu)采用模塊化設(shè)計，避免了零件之間的焊接，因此在拆卸零部件時更加的簡易和方便；

14、4.氣缸、活塞結(jié)構(gòu)緊湊：獨特的氣缸、活塞結(jié)構(gòu)大幅優(yōu)化了真空閥安裝的空間需求。

技術(shù)特征：

1.一種低振高潔凈真空閥，其特征在于，包括氣缸筒（1），所述氣缸筒（1）下端設(shè)置有氣缸座（2），氣缸座（2）下端設(shè)置有頂蓋（3），頂蓋（3）下端設(shè)置有閥殼（4），所述氣缸筒（1）內(nèi)部設(shè)置有閥桿（5），閥桿（5）頂端與氣缸筒（1）固定連接，閥桿（5）底端與連接塊（7）固定連接；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種低振高潔凈真空閥，其特征在于，還包括閥桿（5）內(nèi)部設(shè)置有閥桿中心氣路（501），閥桿中心氣路（501）兩側(cè)設(shè)置有閥桿邊緣氣路（502）。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種低振高潔凈真空閥，其特征在于，還包括連接塊（7）底部預(yù)留有行程空腔（703）。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種低振高潔凈真空閥，其特征在于，還包括閥殼（4）底部設(shè)置有閥口（41），閥口（41）為矩形通槽。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種低振高潔凈真空閥，其特征在于，還包括閥板（8）為矩形平板，其表面水平方向平行設(shè)置有兩條梯形凹槽，凹槽內(nèi)部設(shè)置有閥板密封圈（81），閥板密封圈（81）設(shè)置在閥口（41）邊緣外側(cè)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種低振高潔凈真空閥，其特征在于，還包括橫向氣缸（6）頂部設(shè)置有橫向氣缸蓋（61），橫向氣缸（6）中心處設(shè)置有橫向氣缸活塞（62），橫向氣缸（6）與閥板（8）間設(shè)置有閥板緩沖墊（63）。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了一種低振高潔凈真空閥，包括氣缸筒，所述氣缸筒下端設(shè)置有氣缸座，氣缸座下端設(shè)置有頂蓋，頂蓋下端設(shè)置有閥殼，所述氣缸筒內(nèi)部設(shè)置有閥桿，閥桿頂端與氣缸筒固定連接，閥桿底端與連接塊固定連接，閥門低粒子性能：通過杜絕物料通過閥口的腔體內(nèi)的金屬摩擦，最大限度的減少了低粒子的產(chǎn)生；低振動性能：通過增加各個軸向運動處的導(dǎo)向環(huán)，使閥門的開關(guān)過程更加穩(wěn)定；模塊化設(shè)計，易拆卸：閥門整體結(jié)構(gòu)采用模塊化設(shè)計，避免了零件之間的焊接，因此在拆卸零部件時更加的簡易和方便；氣缸、活塞結(jié)構(gòu)緊湊：獨特的氣缸、活塞結(jié)構(gòu)大幅優(yōu)化了真空閥安裝的空間需求。

技術(shù)研發(fā)人員：王蓮冀,魏瓊林,郭宇瀟,周思遙,林江,羅一
受保護(hù)的技術(shù)使用者：成都中科唯實儀器有限責(zé)任公司
技術(shù)研發(fā)日：20240428
技術(shù)公布日：2024/12/19