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一種低振高潔凈真空閥的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):40393065

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本技術(shù)涉及真空閥,尤其涉及一種低振高潔凈真空閥。背景技術(shù)、傳輸閥的作用就是在維持既定真空度需求的同時(shí),來(lái)傳輸各種物料。主要是工作在各種工藝腔體之間。目前傳輸門(mén)使用最多的場(chǎng)合就是半導(dǎo)體行業(yè)的晶圓傳輸、液晶等有機(jī)面板的傳輸。這類(lèi)產(chǎn)品有共同的特點(diǎn)就是極易被污染粒子損壞,因此傳輸閥最重要的特性就是低粒子性。金屬閥門(mén)的粒子產(chǎn)生主要來(lái)源于金屬零部件之間的摩擦,會(huì)產(chǎn)生各種金屬碎屑。因此要提高傳輸閥的低粒子性就需要盡可能避免發(fā)生金屬摩擦。目前國(guó)內(nèi)傳輸閥多是閥板直上直下型運(yùn)動(dòng),這樣會(huì)造成閥板與殼體的金屬摩擦,故...
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