1.一種便于在線維修的電子級高純度氣體用角閥,包括閥體(1)、填料閥蓋(2)、閥桿(3)、閥芯(4)以及閥座(5),其特征在于:所述閥座(5)螺紋連接于閥體(1)內(nèi),閥體(1)上方同軸設(shè)有供填料閥蓋(2)安裝固定的安裝部(6),安裝部(6)上開設(shè)有供填料閥蓋(2)底部嵌入的限位槽(7),安裝部(6)與閥體(1)之間連接有同軸的加長筒(8),閥體(1)、安裝部(6)以及加長筒(8)焊接成一體,閥桿(3)同時穿過閥體(1)、安裝部(6)以及加長筒(8);加長筒(8)內(nèi)設(shè)有同軸套設(shè)于閥桿(3)上的波紋管(9),波紋管(9)的下端焊接于閥桿(3)外壁,波紋管(9)的上端固定有與填料閥蓋(2)底部相抵觸的限位環(huán)(10);閥芯(4)、閥座(5)以及波紋管(9)的最大外徑均小于閥體(1)、加長筒(8)以及限位槽(7)內(nèi)腔的最小內(nèi)徑;
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種便于在線維修的電子級高純度氣體用角閥,其特征在于:所述彈性密封環(huán)(11)包括一端固定于閥座(5)內(nèi)壁上的固定部(111),固定部(111)的另一端一體連接有開口朝下的拱形部(112),拱形部(112)背離固定部(111)的一端與閥芯(4)插入閥座(5)內(nèi)的一部分外壁相抵觸,閥芯(4)插入閥座(5)時擠壓拱形部(112),拱形部(112)被擠壓后拱形開口縮小。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種便于在線維修的電子級高純度氣體用角閥,其特征在于:所述閥座(5)內(nèi)壁上同軸設(shè)有密封環(huán)安裝臺(13),密封環(huán)安裝臺(13)將閥座(5)內(nèi)腔分成由上至下依次連通的密封環(huán)安裝槽(14)和底部通槽(15),且底部通槽(15)的內(nèi)徑小于密封環(huán)安裝槽(14);墊圈(12)固定于密封環(huán)安裝臺(13)上端面,墊圈(12)在豎直方向上超出密封環(huán)安裝臺(13)的部分均勻陣列有若干豎向貫通的通孔(121)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種便于在線維修的電子級高純度氣體用角閥,其特征在于:所述密封環(huán)安裝槽(14)的內(nèi)壁上同軸設(shè)有壓圈(16),壓圈(16)抵觸于彈性密封環(huán)(11)的固定部(111)上端面,固定部(111)抵觸于墊圈(12)的上端面;壓圈(16)沿自身圓周方向穿設(shè)有若干豎直的螺釘(17),螺釘(17)同時穿過固定部(111)和墊圈(12),且下端螺紋連接于密封環(huán)安裝臺(13)內(nèi)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種便于在線維修的電子級高純度氣體用角閥,其特征在于:所述壓圈(16)和彈性密封環(huán)(11)的材質(zhì)設(shè)置為316l,墊圈(12)的材質(zhì)設(shè)置為石墨和316l的組合。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種便于在線維修的電子級高純度氣體用角閥,其特征在于:所述限位環(huán)(10)通過第一密封圈(18)壓緊于限位槽(7)底壁上,限位環(huán)(10)與填料閥蓋(2)底部之間抵觸設(shè)有第二密封圈(19);填料閥蓋(2)上端嵌入有填料壓蓋(20),填料壓蓋(20)用于壓在填料閥蓋(2)內(nèi)填料函中的填料(21)上,閥桿(3)上套設(shè)有抵觸于填料壓蓋(20)上端的填料壓板(22),填料壓板(22)與填料壓蓋(20)之間抵觸連接有防塵圈(23),填料壓板(22)通過螺栓安裝壓緊于填料閥蓋(2)上。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種便于在線維修的電子級高純度氣體用角閥,其特征在于:所述填料閥蓋(2)上螺紋連接有豎直的第一螺柱(24),第一螺柱(24)同時螺紋連接于安裝部(6)上端,第一螺柱(24)上螺紋連接有抵觸于填料閥蓋(2)上端的第一螺母(25);填料壓板(22)上螺紋連接有豎直的第二螺柱(26),第二螺柱(26)同時螺紋連接于填料閥蓋(2)上端,第二螺柱(26)上螺紋連接有抵觸于填料壓板(22)上端的第二螺母(27)。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種便于在線維修的電子級高純度氣體用角閥,其特征在于:所述限位槽(7)包括供填料閥蓋(2)底部嵌入的嵌入槽(71)和供限位環(huán)(10)底部嵌入的中間槽(72),中間槽(72)連通于嵌入槽(71)底部,且中間槽(72)的內(nèi)徑小于嵌入槽(71)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種便于在線維修的電子級高純度氣體用角閥,其特征在于:所述限位環(huán)(10)由上至下依次包括限位部(101)、嵌入部(102)以及連接部(103);限位部(101)上端與填料閥蓋(2)底部相抵觸,且兩者之間抵觸連接有第二密封圈(19),限位部(101)下端與嵌入槽(71)底壁之間抵觸連接有第一密封圈(18);嵌入部(102)嵌入至嵌入槽(71)中,且與嵌入槽(71)內(nèi)壁相抵觸;連接部(103)焊接于波紋管(9)上端。
10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種便于在線維修的電子級高純度氣體用角閥,其特征在于:所述填料閥蓋(2)內(nèi)的填料函中由下至上依次設(shè)有填料(21)座、隔套(29)以及填料壓蓋(20),填料(21)座設(shè)于填料函最底部,填料壓蓋(20)嵌入至填料函上端;隔套(29)套設(shè)于閥桿(3)上,用于將填料函內(nèi)的填料(21)分隔為上下兩組。