本發(fā)明涉及電磁閥互鎖技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種模塊化總線式電磁閥組的互鎖裝置。

背景技術(shù)：

目前的模塊化總線式電磁閥組在實(shí)際應(yīng)用中無法對(duì)閥組其中某個(gè)電磁閥或某幾個(gè)電磁閥進(jìn)行硬件互鎖?？偩€式電磁閥組的供電端口只有兩個(gè)，分別是控制電源和驅(qū)動(dòng)電源，將模塊化總線式電磁閥組的控制電源或驅(qū)動(dòng)電源設(shè)定為互鎖的執(zhí)行對(duì)象，當(dāng)互鎖的執(zhí)行條件滿足時(shí)，將模塊化總線式電磁閥組的驅(qū)動(dòng)電源斷掉，使閥組中的電磁閥全部進(jìn)入關(guān)斷狀態(tài)。因此，無論是將互鎖端連接到控制電源或驅(qū)動(dòng)電源都難以達(dá)成目的。

然而，在電磁閥的應(yīng)用過程中，當(dāng)現(xiàn)場(chǎng)的實(shí)際情況或工藝流程不需要、不允許當(dāng)互鎖條件滿足時(shí)所有的電磁閥全部關(guān)斷，只要求關(guān)斷指定閥組中某個(gè)或某幾個(gè)電磁閥的時(shí)候，目前的模塊化總線式電磁組的互鎖方法就無法滿足硬件互鎖的需求。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明旨在至少解決上述技術(shù)問題之一。

為此，本發(fā)明的一個(gè)目的在于提出一種模塊化總線式電磁閥組的互鎖裝置，該互鎖裝置能按照實(shí)際需求對(duì)目標(biāo)電磁閥個(gè)體進(jìn)行互鎖，實(shí)現(xiàn)了指定電磁閥的互鎖功能，從而能夠滿足不同的工藝需求。

本發(fā)明的另一個(gè)目的在于提出一種模塊化總線式電磁閥組。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明第一方面的實(shí)施例提出了一種模塊化總線式電磁閥組的互鎖裝置，所述模塊化總線式電磁閥組包括總線耦合器、電磁閥閥座及集成在所述電磁閥閥座上的多個(gè)電磁閥，所述互鎖裝置包括：輸入接口，所述輸入接口與所述總線耦合器相連，以接收所述總線耦合器傳輸?shù)碾姶砰y控制指令；輸出接口，所述輸出接口與通過所述電磁閥閥座與所述多個(gè)電磁閥相連；控制器，所述控制器用于根據(jù)所述電磁閥控制指令從所述多個(gè)電磁閥中確定目標(biāo)電磁閥，并控制所述目標(biāo)電磁閥進(jìn)行互鎖。

根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的模塊化總線式電磁閥組的互鎖裝置，通過輸入接口接收電磁閥控制指令，根據(jù)電磁閥控制指令從多個(gè)電磁閥中確定目標(biāo)電磁閥，并控制目標(biāo)電磁閥進(jìn)行互鎖。因此，該互鎖裝置能按照實(shí)際需求對(duì)目標(biāo)電磁閥個(gè)體進(jìn)行互鎖，實(shí)現(xiàn)了指定電磁閥的互鎖功能，從而能夠滿足不同的工藝需求。

另外，根據(jù)本發(fā)明上述實(shí)施例的模塊化總線式電磁閥組的互鎖裝置還可以具有如下附加的技術(shù)特征：

在一些示例中，所述控制器還包括：多個(gè)常閉觸點(diǎn)、互鎖輸入輸出接口和多個(gè)互鎖繼電器，其中，所述多個(gè)常閉觸點(diǎn)與所述多個(gè)互鎖繼電器一一對(duì)應(yīng)相連；所述多個(gè)電磁閥通過所述互鎖輸入輸出接口與所述多個(gè)互鎖繼電器相連，以在滿足互鎖條件時(shí)，向?qū)?yīng)于所述目標(biāo)電磁閥的目標(biāo)互鎖繼電器傳輸互鎖信號(hào)，以使所述目標(biāo)互鎖繼電器的電源接通，以使對(duì)應(yīng)于所述目標(biāo)互鎖繼電器的常閉觸點(diǎn)斷開，以完成所述目標(biāo)電磁閥的互鎖。

在一些示例中，當(dāng)所述目標(biāo)互鎖繼電器處于非工作狀態(tài)時(shí)，對(duì)應(yīng)的常閉觸點(diǎn)處于閉合狀態(tài)，以使對(duì)應(yīng)的所述目標(biāo)電磁閥的控制回路導(dǎo)通；當(dāng)所述目標(biāo)互鎖繼電器處于工作狀態(tài)時(shí)，對(duì)應(yīng)的常閉觸點(diǎn)處于斷開狀態(tài)，以使對(duì)應(yīng)的所述目標(biāo)電磁閥的控制回路斷開。

在一些示例中，當(dāng)所述目標(biāo)互鎖繼電器處于工作狀態(tài)時(shí)，對(duì)應(yīng)的所述目標(biāo)電磁閥不響應(yīng)所述電磁閥控制指令。

在一些示例中，所述互鎖輸入輸出接口還用于根據(jù)用戶輸入的狀態(tài)設(shè)置指令將所述目標(biāo)互鎖繼電器設(shè)置為非工作狀態(tài)。

在一些示例中，所述電磁閥、所述常閉觸點(diǎn)和所述互鎖繼電器的數(shù)量相同。

在一些示例中，所述總線耦合器與上位機(jī)相連，以接收所述上位機(jī)提供的所述電磁閥控制指令。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明第二方面的實(shí)施例提出了一種模塊化總線式電磁閥組，包括本發(fā)明上述實(shí)施例所述的模塊化總線式電磁閥組的互鎖裝置。

根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的模塊化總線式電磁閥組，通過互鎖裝置的輸入接口接收電磁閥控制指令，根據(jù)電磁閥控制指令從多個(gè)電磁閥中確定目標(biāo)電磁閥，并控制目標(biāo)電磁閥進(jìn)行互鎖。因此，該模塊化總線式電磁閥組能按照實(shí)際需求對(duì)目標(biāo)電磁閥個(gè)體進(jìn)行互鎖，實(shí)現(xiàn)了指定電磁閥的互鎖功能，從而能夠滿足不同的工藝需求。

本發(fā)明的附加方面和優(yōu)點(diǎn)將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本發(fā)明的實(shí)踐了解到。

附圖說明

本發(fā)明的上述和/或附加的方面和優(yōu)點(diǎn)從結(jié)合下面附圖對(duì)實(shí)施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中：

圖1是現(xiàn)有模塊化總線式電磁閥組的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的模塊化總線式電磁閥組的互鎖裝置的整體示意圖；以及

圖3是根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的控制器的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面詳細(xì)描述本發(fā)明的實(shí)施例，所述實(shí)施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標(biāo)號(hào)表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實(shí)施例是示例性的，僅用于解釋本發(fā)明，而不能理解為對(duì)本發(fā)明的限制。

在本發(fā)明的描述中，需要理解的是，術(shù)語(yǔ)“中心”、“縱向”、“橫向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底”、“內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本發(fā)明和簡(jiǎn)化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本發(fā)明的限制。此外，術(shù)語(yǔ)“第一”、“第二”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對(duì)重要性。

在本發(fā)明的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語(yǔ)“安裝”、“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機(jī)械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個(gè)元件內(nèi)部的連通。對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理解上述術(shù)語(yǔ)在本發(fā)明中的具體含義。

以下結(jié)合附圖描述根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的模塊化總線式電磁閥組的互鎖裝置及模塊化總線式電磁閥組。

圖2是根據(jù)本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的模塊化總線式電磁閥組的互鎖裝置的整體結(jié)構(gòu)示意圖。

在描述該互鎖裝置之前，首先結(jié)合圖1描述目前的模塊化總線式電磁閥組基本結(jié)構(gòu)。如圖1所示，目前的模塊化總線式電磁閥組包括：總線耦合器1、多個(gè)電磁閥4及電磁閥閥座5，其中，多個(gè)電磁閥4集成在電磁閥閥座5上。其中，總線耦合器4具有輸出接口2，電磁閥閥座5具有輸入接口3?？偩€耦合器1的功能是按照相應(yīng)的技術(shù)規(guī)范協(xié)議與上位機(jī)進(jìn)行通信，按照上位機(jī)的控制指令實(shí)現(xiàn)對(duì)電磁閥的控制。電磁閥閥座5和電磁閥4是集成一起的，其主要功能是按照總線耦合器1的輸出指令和電源通斷，來對(duì)閥組中各個(gè)電磁閥進(jìn)行開通和關(guān)斷?；诖耍景l(fā)明的實(shí)施例是在不改變上述電磁閥組的兩個(gè)單元的內(nèi)部結(jié)構(gòu)和外形的基礎(chǔ)上，新增加一個(gè)相對(duì)獨(dú)立的互鎖裝置。該互鎖裝置安裝的位置介于總線耦合器1與電磁閥閥座5和電磁閥4的集成單元的中間。

基于此，結(jié)合圖2所示，本發(fā)明實(shí)施例的模塊化總線式電磁閥組的互鎖裝置，包括：輸入接口110、輸出接口120和控制器130。

其中，輸入接口110與總線耦合器1相連，以接收總線耦合器1傳輸?shù)碾姶砰y控制指令。更為具體地，例如，總線耦合器1的輸入接口與外部的上位機(jī)相連，用于接收上位機(jī)下達(dá)的電磁閥控制指令，并傳輸該電磁閥控制指令。

輸出接口120與通過電磁閥閥座5與多個(gè)電磁閥4相連。

綜上，輸入接口110和輸出接口120分別用于完成與總線耦合器1和電磁閥閥座5和多個(gè)電磁閥4的連接功能。

控制器130用于根據(jù)電磁閥控制指令從多個(gè)電磁閥4中確定目標(biāo)電磁閥，并控制目標(biāo)電磁閥進(jìn)行互鎖。

具體地，在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，結(jié)合圖3所示，控制器130包括：多個(gè)常閉觸點(diǎn)131(例如圖3中的常閉觸點(diǎn)k1至kn)、互鎖輸入輸出接口132和多個(gè)互鎖繼電器133(例如圖3中的繼電器K1至Kn)。其中，多個(gè)常閉觸點(diǎn)131與多個(gè)互鎖繼電器133一一對(duì)應(yīng)相連；多個(gè)電磁閥4通過互鎖輸入輸出接口132與多個(gè)互鎖繼電器133相連，以在滿足互鎖條件時(shí)，向?qū)?yīng)于目標(biāo)電磁閥的目標(biāo)互鎖繼電器傳輸互鎖信號(hào)，以使目標(biāo)互鎖繼電器的電源接通，從而使對(duì)應(yīng)于目標(biāo)互鎖繼電器的常閉觸點(diǎn)斷開，以完成目標(biāo)電磁閥的互鎖。

綜上，控制器130主要用于完成目標(biāo)電磁閥的互鎖功能。其中，通過互鎖輸入輸出接口132完成互鎖信號(hào)的通信功能。

其中，當(dāng)目標(biāo)互鎖繼電器處于非工作狀態(tài)時(shí)，對(duì)應(yīng)的常閉觸點(diǎn)處于閉合狀態(tài)，以使對(duì)應(yīng)的目標(biāo)電磁閥的控制回路導(dǎo)通，目標(biāo)電磁閥處于工作狀態(tài)；當(dāng)目標(biāo)互鎖繼電器處于工作狀態(tài)時(shí)，對(duì)應(yīng)的常閉觸點(diǎn)處于斷開狀態(tài)，以使對(duì)應(yīng)的目標(biāo)電磁閥的控制回路斷開，目標(biāo)電磁閥實(shí)現(xiàn)互鎖，不工作。

進(jìn)一步地，當(dāng)目標(biāo)互鎖繼電器處于工作狀態(tài)時(shí)，對(duì)應(yīng)的目標(biāo)電磁閥不響應(yīng)電磁閥控制指令。換言之，當(dāng)目標(biāo)互鎖繼電器處于工作狀態(tài)下，對(duì)應(yīng)的目標(biāo)電磁閥的電源回路將斷開，此時(shí)無論上位機(jī)對(duì)目標(biāo)電磁閥控制指令如何，目標(biāo)電磁閥都會(huì)處于停止工作的狀態(tài)，從而實(shí)現(xiàn)硬件互鎖的功能。

在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，互鎖輸入輸出接口132還用于根據(jù)用戶輸入的狀態(tài)設(shè)置指令將目標(biāo)互鎖繼電器設(shè)置為非工作狀態(tài)。換言之，即互鎖輸入輸出接口132還具有相應(yīng)的跳線功能，可以根據(jù)用戶的實(shí)際使用條件靈活的將互鎖繼電器設(shè)置在不工作的狀態(tài)。

在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，例如，電磁閥、常閉觸點(diǎn)和互鎖繼電器的數(shù)量相同，即多個(gè)電磁閥、多個(gè)常閉觸點(diǎn)和多個(gè)互鎖繼電器的數(shù)量一一對(duì)應(yīng)。例如，圖3中包括n個(gè)常閉觸點(diǎn)(k1至kn)，則相應(yīng)地應(yīng)該有n個(gè)電磁閥及n個(gè)互鎖繼電器(K1至Kn)。

為了更好地理解本發(fā)明實(shí)施例的模塊化總線式電磁閥組的互鎖裝置，以下結(jié)合一個(gè)具體實(shí)施例，以模塊化的互鎖單元的實(shí)際應(yīng)用進(jìn)行舉例。在本實(shí)施例中，以華海清科公司的Universal300系列化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)的清洗單元為例。在CMP單元對(duì)晶圓進(jìn)行拋光后要通過清洗單元將晶圓表面的附著物清洗干凈，完成拋光。清洗的過程主要是通過清洗液和DIW的刷洗，因此在通過機(jī)械手放置晶圓完成后，會(huì)通過清洗腔室內(nèi)部的液路系統(tǒng)向晶圓表面噴灑液體，腔室的外邊緣配置了漏液傳感器。當(dāng)箱體發(fā)生不明原因的泄露，互鎖信號(hào)會(huì)觸發(fā)互鎖單元將相應(yīng)對(duì)應(yīng)DIW和清洗液供液的氣動(dòng)閥的電源回路斷開，實(shí)現(xiàn)硬件互鎖功能。因此，使用本發(fā)明實(shí)施例的互鎖裝置，可以只對(duì)總線式電磁閥組的目標(biāo)電磁閥個(gè)體進(jìn)行互鎖。如果互鎖信號(hào)關(guān)斷閥組的電源入口回路，整個(gè)閥組所有電磁都會(huì)關(guān)斷，但如果機(jī)械手正在取放片，如果此關(guān)斷相應(yīng)的電磁閥會(huì)造成機(jī)械手撞到門上發(fā)生碰撞事故，而使用了本發(fā)明實(shí)施例的互鎖裝置將會(huì)避免此種事故的發(fā)生。

綜上，根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的模塊化總線式電磁閥組的互鎖裝置，通過輸入接口接收電磁閥控制指令，根據(jù)電磁閥控制指令從多個(gè)電磁閥中確定目標(biāo)電磁閥，并控制目標(biāo)電磁閥進(jìn)行互鎖。因此，該互鎖裝置能按照實(shí)際需求對(duì)目標(biāo)電磁閥個(gè)體進(jìn)行互鎖，實(shí)現(xiàn)了指定電磁閥的互鎖功能，從而能夠滿足不同的工藝需求。

本發(fā)明的進(jìn)一步實(shí)施例還提出了一種模塊化總線式電磁閥組。該模塊化總線式電磁閥組包括本發(fā)明上述實(shí)施例所描述的模塊化總線式電磁閥組的互鎖裝置。

綜上，根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的模塊化總線式電磁閥組，通過互鎖裝置的輸入接口接收電磁閥控制指令，根據(jù)電磁閥控制指令從多個(gè)電磁閥中確定目標(biāo)電磁閥，并控制目標(biāo)電磁閥進(jìn)行互鎖。因此，該模塊化總線式電磁閥組能按照實(shí)際需求對(duì)目標(biāo)電磁閥個(gè)體進(jìn)行互鎖，實(shí)現(xiàn)了指定電磁閥的互鎖功能，從而能夠滿足不同的工藝需求。

在本說明書的描述中，參考術(shù)語(yǔ)“一個(gè)實(shí)施例”、“一些實(shí)施例”、“示例”、“具體示例”、或“一些示例”等的描述意指結(jié)合該實(shí)施例或示例描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點(diǎn)包含于本發(fā)明的至少一個(gè)實(shí)施例或示例中。在本說明書中，對(duì)上述術(shù)語(yǔ)的示意性表述不一定指的是相同的實(shí)施例或示例。而且，描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點(diǎn)可以在任何的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施例或示例中以合適的方式結(jié)合。

盡管已經(jīng)示出和描述了本發(fā)明的實(shí)施例，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員可以理解：在不脫離本發(fā)明的原理和宗旨的情況下可以對(duì)這些實(shí)施例進(jìn)行多種變化、修改、替換和變型，本發(fā)明的范圍由權(quán)利要求及其等同限定。