專利名稱：水冷式閥座的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種閥門裝置，特別是一種單晶爐用密封閥門裝置。
背景技術(shù)：
在單晶棒的生長之前需要對(duì)單晶棒的技術(shù)參數(shù)進(jìn)行理論計(jì)算，但是在實(shí)際的生產(chǎn)過程中存在多種多樣的因素會(huì)影響單晶棒的某些技術(shù)參數(shù)。為了使得單晶棒的技術(shù)參數(shù)達(dá)到預(yù)期的工藝要求，在拉晶的過程中就需要對(duì)單晶棒的技術(shù)參數(shù)進(jìn)行檢測，但是由于如果將整個(gè)單晶棒取出檢測單晶棒就很容易被氧化，這時(shí)只能先拉制小樣，然后將小樣取出對(duì)其技術(shù)參數(shù)進(jìn)行檢測。一方面由于單晶爐內(nèi)的溫度很高，另一方面由于單晶爐對(duì)密封性的要求很高，所以需要一種冷卻閥門裝置來確保取小樣時(shí)單晶爐內(nèi)的密封不受影響。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型需要解決的技術(shù)問題是提供一種單晶爐的冷卻密封閥門裝置。為解決上述的技術(shù)問題，本實(shí)用新型的水冷式閥座包括閥門座體、閥門和開關(guān)，所述閥門座體上端與爐筒相連接，所述閥門座體下端與單晶爐相連接；所述閥門設(shè)置在閥門座體底部與單晶爐的連接處；所述閥門與設(shè)置在閥門座體側(cè)面的開關(guān)相連接，所述開關(guān)與閥門座體轉(zhuǎn)動(dòng)連接；所述開關(guān)內(nèi)設(shè)置有冷卻裝置。所述的冷卻裝置為冷卻水道。所述開關(guān)與閥門座體的轉(zhuǎn)動(dòng)連接處貼有密封條。采用上述結(jié)構(gòu)后，開關(guān)內(nèi)的冷卻裝置可以冷卻開關(guān)因單晶爐熱傳導(dǎo)所引起的溫度過高。通過開關(guān)可以調(diào)節(jié)與單晶爐連接處的閥門將小樣取出，再關(guān)閉閥門，確保單晶爐的密封性。
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式
對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說明。


圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本實(shí)用新型開關(guān)的內(nèi)部放大示意圖。圖3為本實(shí)用新型俯視圖。圖中1為閥門座體，2為爐筒，3為單晶爐，4為開關(guān)，5為冷卻水道，6為密封條，7 為閥門
具體實(shí)施方式
如
圖1所示的水冷式閥座包括閥門座體1、閥門7和開關(guān)4，所述閥門座體1上端與爐筒2相連接，所述閥門座體1下端與單晶爐3相連接，在取小樣進(jìn)行參數(shù)檢測時(shí)不能直接將小樣從單晶爐3中沿爐筒2拉出，因?yàn)檫@樣單晶爐3內(nèi)的晶體容易被氧化。為了確保單晶爐3的密封性，需要在單晶爐3與爐筒2之間設(shè)置閥座來控制。[0014]如圖3所示，所述閥門7設(shè)置在閥門座體1底部與單晶爐3的連接處；所述閥門7 與設(shè)置在閥門座體1側(cè)面的開關(guān)4相連接，所述開關(guān)4與閥門座體1轉(zhuǎn)動(dòng)連接；這樣可以通過在閥門座體1外部控制開關(guān)4的旋轉(zhuǎn)來達(dá)到控制閥門座體1內(nèi)部閥門7的打開與閉合。如圖2所示，所述開關(guān)4內(nèi)設(shè)置有冷卻裝置，所述的冷卻裝置為冷卻水道5。在單晶硅棒的拉長生長過程中，單晶爐3內(nèi)的溫度會(huì)達(dá)到一千四百多度，這樣通過熱傳導(dǎo)或者熱輻射，使得開關(guān)4的溫度很高，不方便對(duì)開關(guān)4進(jìn)行操作。在開關(guān)4內(nèi)設(shè)置冷卻水道5后， 在冷卻水道5內(nèi)通入循環(huán)冷卻水，對(duì)開關(guān)4進(jìn)行冷卻，這樣確保開關(guān)4的溫度在可操作的范圍之內(nèi)。所述開關(guān)4與閥門座體1的轉(zhuǎn)動(dòng)連接處貼有密封條6，在開關(guān)4與閥門座體1的轉(zhuǎn)動(dòng)連接處常常會(huì)留下縫隙，這樣會(huì)影響整個(gè)裝置的密封性。開關(guān)4控制閥門7工作的過程如下在單晶爐3中做好小樣后，提拉裝置將小樣從單晶爐3中拉出，通過閥門7后，通過開關(guān)4控制閥門7關(guān)閉，這時(shí)提拉裝置將小樣從爐筒2 中取出進(jìn)行參數(shù)檢測。檢測完成后，進(jìn)行參數(shù)對(duì)比，可以對(duì)單晶爐3內(nèi)的單晶硅幫生長環(huán)境參數(shù)進(jìn)行調(diào)整。在小樣從爐筒2中取出后，將爐筒2密封，抽真空，然后可以通過開關(guān)4的旋轉(zhuǎn)來控制閥門7打開，提拉裝置可以伸入到單晶爐3中拉長制作單晶硅棒。當(dāng)然，開關(guān)4上可以采用其他使用的冷卻裝置，這樣的變換均落在本實(shí)用新型保護(hù)的范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種水冷式閥座，包括閥門座體、閥門和開關(guān)，其特征在于所述閥門座體上端與爐筒相連接，所述閥門座體下端與單晶爐相連接；所述閥門設(shè)置在閥門座體底部與單晶爐的連接處；所述閥門與設(shè)置在閥門座體側(cè)面的開關(guān)相連接，所述開關(guān)與閥門座體轉(zhuǎn)動(dòng)連接； 所述開關(guān)內(nèi)設(shè)置有冷卻裝置。
2.按照權(quán)利要求1所述的水冷式閥座，其特征在于所述的冷卻裝置為冷卻水道。
3.按照權(quán)利要求1所述的水冷式閥座，其特征在于所述開關(guān)與閥門座體的轉(zhuǎn)動(dòng)連接處貼有密封條。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種閥門裝置，特別是一種水冷式閥座，包括閥門座體、閥門和開關(guān)，所述閥門座體上端與爐筒相連接，所述閥門座體下端與單晶爐相連接；所述閥門設(shè)置在閥門座體底部與單晶爐的連接處；所述閥門與設(shè)置在閥門座體側(cè)面的開關(guān)相連接，所述開關(guān)與閥門座體轉(zhuǎn)動(dòng)連接；所述開關(guān)內(nèi)設(shè)置有冷卻裝置。采用上述結(jié)構(gòu)后，通過開關(guān)可以調(diào)節(jié)與單晶爐連接處的閥門將小樣取出，再關(guān)閉閥門，確保單晶爐的密封性。
文檔編號(hào)F16K49/00GK202140667SQ20112024310
公開日2012年2月8日 申請(qǐng)日期2011年7月12日 優(yōu)先權(quán)日2011年7月12日
發(fā)明者房志剛 申請(qǐng)人:常州江南電力光伏科技有限公司