技術(shù)總結(jié)
本申請公開了一種抽真空系統(tǒng)，用于對真空室進(jìn)行抽真空。抽真空系統(tǒng)包括前級泵、主抽泵、預(yù)抽閥和主閥，其中主閥設(shè)有進(jìn)口、預(yù)抽口和出口，主閥的進(jìn)口與真空室的抽真空口連通，主閥的預(yù)抽口與預(yù)抽閥的入口連通，主閥的出口與主抽泵的抽氣口連通，以及前級泵的抽氣口經(jīng)由三通接頭同時(shí)與主抽泵的排氣口和預(yù)抽閥的出口直接連通。本申請的抽真空系統(tǒng)能夠使得真空室在非常短的時(shí)間內(nèi)達(dá)到所需的真空度。

技術(shù)研發(fā)人員：王宏宇;黃曉霞;張國棟
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器股份有限公司
文檔號碼：201720119504
技術(shù)研發(fā)日：2017.02.08
技術(shù)公布日：2017.09.08