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抽真空系統(tǒng)的制造方法與工藝技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):11331191

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本實(shí)用新型涉及真空設(shè)備,具體涉及對(duì)真空室進(jìn)行抽真空的抽真空系統(tǒng)。背景技術(shù)常規(guī)的抽真空系統(tǒng)通常包括前級(jí)泵、主抽泵、前級(jí)閥、預(yù)抽閥以及主閥,其中前級(jí)泵經(jīng)由管道與真空室的預(yù)抽口連接,該管道上設(shè)有上述預(yù)抽閥。主抽泵的抽氣口經(jīng)由主閥與真空室的抽真空口連接,主抽泵的排氣口經(jīng)由管道與前級(jí)泵的排氣口連接,該管道上設(shè)有前級(jí)泵。該常規(guī)抽真空系統(tǒng)的工作過(guò)程如下:首先關(guān)閉前級(jí)閥和主閥,開(kāi)啟前級(jí)泵,開(kāi)啟預(yù)抽閥,當(dāng)真空室內(nèi)達(dá)到預(yù)定真空度時(shí),關(guān)閉預(yù)抽閥,然后開(kāi)啟主抽泵、前級(jí)閥和主閥,繼續(xù)抽真空,直到達(dá)到所需的真空度。采用目前...
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