1.一種抽真空系統(tǒng)，用于對(duì)真空室進(jìn)行抽真空，其特征在于，所述抽真空系統(tǒng)包括前級(jí)泵、主抽泵、預(yù)抽閥和主閥，其中所述主閥設(shè)有進(jìn)口、預(yù)抽口和出口，所述主閥的進(jìn)口與所述真空室的抽真空口連通，所述主閥的預(yù)抽口與所述預(yù)抽閥的入口連通，所述主閥的出口與所述主抽泵的抽氣口連通，以及所述前級(jí)泵的抽氣口經(jīng)由三通接頭同時(shí)與所述主抽泵的排氣口和所述預(yù)抽閥的出口直接連通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的抽真空系統(tǒng)，其特征在于，所述真空室的容積和所述前級(jí)泵的參數(shù)根據(jù)如下選擇：如果所述真空室的容積是A1L，而所述前級(jí)泵的抽速參數(shù)為B1L/S，則A1*0.5≤B1≤A1。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的抽真空系統(tǒng)，其特征在于，所述前級(jí)泵是機(jī)械泵，所述主抽泵是羅茨泵，以及所述預(yù)抽閥和所述主閥為氣動(dòng)擋板閥。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的抽真空系統(tǒng)，其特征在于，所述機(jī)械泵的抽速為60L/S～120L/S，所述羅茨泵的抽速為300L/S～600L/S，所述主閥的通道口徑為DN150～250mm且所述主閥帶有口徑為DN80～160mm的預(yù)抽口。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的抽真空系統(tǒng)，其特征在于，所述抽真空系統(tǒng)還包括控制裝置，所述控制裝置布置成根據(jù)所述真空室的真空度對(duì)所述前級(jí)泵、所述主抽泵、所述預(yù)抽閥以及所述主閥的啟閉進(jìn)行控制。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的抽真空系統(tǒng)，其特征在于，所述前級(jí)泵為2X-70機(jī)械泵，所述主抽泵為ZJP-300型羅茨泵，所述主閥為DN160氣動(dòng)擋板閥，以及所述預(yù)抽閥為DN100氣動(dòng)擋板閥。