專利名稱：真空設(shè)備的偏擺式驅(qū)動裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種驅(qū)動裝置，特別是涉及一種用來驅(qū)動真空設(shè)備的一個轉(zhuǎn)動件旋轉(zhuǎn)的偏擺式驅(qū)動裝置。
背景技術(shù)：
一般例如半導(dǎo)體制程中的真空設(shè)備除了具有一個腔體供加工物件進出，以進行各項加工之外，通常會在腔體上安裝各種的控制裝置，以進行各項的控制，有些控制裝置適合以直線方式進行控制，而例如閥門等等的控制裝置則適合以轉(zhuǎn)動方式來控制。為了驅(qū)動以旋轉(zhuǎn)方式工作的轉(zhuǎn)動件，一般真空設(shè)備都會在鄰近該轉(zhuǎn)動件的腔體上裝設(shè)一個具有氣壓缸的驅(qū)動裝置來控制。然而由于一般氣壓缸的缸體都是固定在腔體上,而該氣壓缸的伸縮軸桿只能直線伸縮，此種設(shè)計即使再利用一片連板來連接轉(zhuǎn)動件，也無法讓伸縮軸桿的直線運動軌跡改變成弧線運動軌跡，因此，在驅(qū)動的過程中，旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)動件會對該缸體產(chǎn)生一個偏轉(zhuǎn)作用力。此種設(shè)計的驅(qū)動裝置用來驅(qū)動運動軌跡較小的轉(zhuǎn)動件時，該轉(zhuǎn)動件的弧形運動軌跡會對該壓缸產(chǎn)生偏擺作用力，所以容易造成伸縮軸桿彎曲變形，但是目前真空設(shè)備的轉(zhuǎn)動件有逐漸大型化的趨勢，此種驅(qū)動裝置的壓缸會承受更大的偏擺作用力，所以零件很容易損壞變形。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型的目的在于提供一種利用偏擺方式來承受元件運作過程的偏擺作用力，從而提高元件使用壽命的真空設(shè)備的偏擺式驅(qū)動裝置。本實用新型真空設(shè)備的偏擺式驅(qū)動裝置，所述真空設(shè)備包含一個腔體，以及一個安裝在該腔體上的轉(zhuǎn)動件，所述偏擺式驅(qū)動裝置用來驅(qū)動該轉(zhuǎn)動件轉(zhuǎn)動，并包含一個安裝在該腔體上的支撐架、一個壓缸，以及一個與該轉(zhuǎn)動件連動地結(jié)合并可樞擺地連接該轉(zhuǎn)動件與該壓缸的傳動連板，所述壓缸包括一個缸體，以及一個自該缸體突出的伸縮軸桿，該伸縮軸桿具有一個可樞轉(zhuǎn)地結(jié)合在該傳動連板上的驅(qū)動端；該偏擺式驅(qū)動裝置的壓缸還包括一個將該缸體以可樞擺方式安裝在該支撐架上的偏擺樞軸。本實用新型的偏擺式驅(qū)動裝置，該支撐架包括一個朝該壓缸方向突出的支撐座部，該壓缸的缸體具有一個朝向該支撐座部突出的偏擺座部，所述偏擺樞軸是樞接該支撐座部與該偏擺座部。本實用新型的偏擺式驅(qū)動裝置，該壓缸為一個氣壓缸。本實用新型的偏擺式驅(qū)動裝置，該傳動連板包括一個與該轉(zhuǎn)動件連動地結(jié)合的支點部，以及一個可樞轉(zhuǎn)地結(jié)合在該伸縮軸桿的驅(qū)動端上的樞擺部。本實用新型的有益功效在于將該缸體以可偏擺方式樞接在該支撐架上，使得該缸體能夠以左右擺動方式吸收該轉(zhuǎn)動件轉(zhuǎn)動時在弧線軌跡的受力，從而避免該缸體與該伸縮軸桿在驅(qū)動該轉(zhuǎn)動件旋轉(zhuǎn)時因為偏擺作用力而變形。


圖I是一個示意圖，主要顯示本實用新型偏擺式驅(qū)動裝置的一個較佳實施例與一個腔體及一個轉(zhuǎn)動件的相對關(guān)系，圖中該偏擺式驅(qū)動裝置位在一個第一位置；圖2是一個類似圖I的示意圖，主要顯示該較佳實施例由該第一位置轉(zhuǎn)換到一個第二位置的過程；圖3是一個類似圖I的示意圖，說明該較佳實施例位在該第二位置。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖及實施例對本實用新型進行詳細說明。參閱圖1、2、3，本實用新型偏擺式驅(qū)動裝置13的一個較佳實施例是安裝在真空設(shè)備的一個腔體11上，并以偏擺方式驅(qū)動該真空設(shè)備的一個轉(zhuǎn)動件12轉(zhuǎn)動，且該偏擺式驅(qū)動裝置13可在圖I的一個第一位置及圖3的一個第二位置間移動，所述偏擺式驅(qū)動裝置13包含一個支撐架2、一個壓缸3，以及一個傳動連板4。本實施例的支撐架2安裝在該腔體11上，并包括一個往該壓缸3方向突出的支撐座部21。本實施例的壓缸3包括一個具有一個朝向該支撐座部21突出的偏擺座部311的缸體31、一個將該缸體31的偏擺座部311以可樞擺方式樞接在該支撐架2的支撐座部21上的偏擺樞軸32，以及一個自該缸體31突出的伸縮軸桿33，所述伸縮軸桿33具有一個可樞轉(zhuǎn)地結(jié)合在該傳動連板4上的驅(qū)動端331。在本實施例中，該壓缸3為一氣壓缸，然而實施上其也可為一氣油壓缸，或者其他可伸縮的結(jié)構(gòu)，也就是說本實用新型的壓缸3并不以實施例的舉例為限制。本實施例的傳動連板4包括一個與該轉(zhuǎn)動件12連動地結(jié)合的支點部41,以及一個可樞轉(zhuǎn)地和該伸縮軸桿33的驅(qū)動端331結(jié)合的樞擺部42，通過該伸縮軸桿33的突出及縮回,可以帶動該轉(zhuǎn)動件12轉(zhuǎn)動。當本實施例的偏擺式驅(qū)動裝置13位在圖I所示的第一位置時，該伸縮軸桿33呈突伸狀，而該傳動連板4呈上擺的狀態(tài)。當該伸縮軸桿33如圖2所示向下收縮時，該伸縮軸桿33的驅(qū)動端331會帶動該傳動連板4的樞擺部42向下擺動，同時該傳動連板4的支點部41也會連動該轉(zhuǎn)動件12轉(zhuǎn)動，而該缸體31與該伸縮軸桿33會順應(yīng)該傳動連板4向下擺動而朝著箭頭5指示方向側(cè)向偏擺。當該傳動連板4受到該壓缸3的驅(qū)動轉(zhuǎn)換到圖2所示的水平位置時，該缸體31與該伸縮軸桿33的偏擺角度達到最大，之后該缸體31與該伸縮軸桿33便會持續(xù)朝著箭頭5指示方向擺動，最后轉(zhuǎn)換到如圖3所示的第二位置。參閱圖3，在該第二位置時，該伸縮軸桿33呈收縮狀，而該傳動連板4呈下擺的狀態(tài)。相同道理，當該伸縮軸桿33由圖3的第二位置轉(zhuǎn)換到圖I所示的第一位置時，該傳動連板4及轉(zhuǎn)動件12會沿著一個相反于箭頭5的方向轉(zhuǎn)動，也就是由圖3的第二位置轉(zhuǎn)換到圖I的第一位置。綜合上述，由于本實用新型的伸縮軸桿33僅能直線地上下伸縮，來連動該驅(qū)動端331帶動該傳動連板4上下擺動,并驅(qū)動該轉(zhuǎn)動件12旋轉(zhuǎn)。其中，該傳動連板4是以支點部41為圓心，使該樞擺部42以弧線的軌跡上下擺動，而該伸縮軸桿33的驅(qū)動端331則是相對該驅(qū)動裝置13以直線的軌跡上下移動。所以本實用新型偏擺式驅(qū)動裝置13利用該偏擺樞軸32將該缸體31的偏擺座部311樞接在該支撐架2的支撐座部21上，使得該缸體31能以該偏擺樞軸32為支點進行偏擺運動，從而將該驅(qū)動端331與該樞擺部42的運動軌跡重疊在一起。也就是說本實用新型的壓缸3在驅(qū)動該轉(zhuǎn)動件12轉(zhuǎn)動的過程，以偏擺運動的方式承受該轉(zhuǎn)動件12的偏擺作用力，因此該缸體31與該伸縮軸桿33不會因為偏擺作用力而變形，從而延長該壓缸3的使用壽命，所以確實能達成 本實用新型的目的。
權(quán)利要求1.一種真空設(shè)備的偏擺式驅(qū)動裝置，所述真空設(shè)備包含一個腔體，以及一個安裝在該腔體上的轉(zhuǎn)動件，所述偏擺式驅(qū)動裝置用來驅(qū)動該轉(zhuǎn)動件轉(zhuǎn)動，并包含一個安裝在該腔體上的支撐架、一個壓缸，以及一個與該轉(zhuǎn)動件連動地結(jié)合并可樞擺地連接該轉(zhuǎn)動件與該壓缸的傳動連板，所述壓缸包括一個缸體，以及一個自該缸體突出的伸縮軸桿，該伸縮軸桿具有一個可樞轉(zhuǎn)地結(jié)合在該傳動連板上的驅(qū)動端；其特征在于該偏擺式驅(qū)動裝置的壓缸還包括一個將該缸體以可樞擺方式安裝在該支撐架上的偏擺樞軸。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的真空設(shè)備的偏擺式驅(qū)動裝置，其特征在于該支撐架包括一個朝該壓缸方向突出的支撐座部，該壓缸的缸體具有一個朝向該支撐座部突出的偏擺座部，所述偏擺樞軸是樞接該支撐座部與該偏擺座部。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的真空設(shè)備的偏擺式驅(qū)動裝置，其特征在于該壓缸為一個氣壓缸。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的真空設(shè)備的偏擺式驅(qū)動裝置，其特征在于該傳動連板包括一個與該轉(zhuǎn)動件連動地結(jié)合的支點部，以及一個可樞轉(zhuǎn)地結(jié)合在該伸縮軸桿的驅(qū)動端上的樞擺部。
專利摘要一種真空設(shè)備的偏擺式驅(qū)動裝置，所述真空設(shè)備包含一個腔體，以及一個轉(zhuǎn)動件，所述偏擺式驅(qū)動裝置用來驅(qū)動該轉(zhuǎn)動件轉(zhuǎn)動，并包含一個安裝在該腔體上的支撐架、一個壓缸，以及一個傳動連板。該壓缸包括一個缸體、一個將所述缸體以可樞擺方式樞接在該支撐架上的偏擺樞軸，以及一個具有一個驅(qū)動端的伸縮軸桿。該傳動連板可樞擺地連接該轉(zhuǎn)動件與該壓缸的驅(qū)動端。將該缸體以可樞擺方式樞接在該支撐架上，可以使該壓缸以偏擺的方式通過該傳動連板間接驅(qū)動該轉(zhuǎn)動件旋轉(zhuǎn)，從而防止該壓缸在驅(qū)動該轉(zhuǎn)動件旋轉(zhuǎn)時，承受來自該轉(zhuǎn)動件的偏轉(zhuǎn)作用力，進而延長該壓缸的使用壽命。
文檔編號F04B39/00GK202360343SQ201120445258
公開日2012年8月1日 申請日期2011年11月11日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月11日
發(fā)明者謝昆山, 鄭博仁, 黃泳釗 申請人:北儒精密股份有限公司