專利名稱：一種用于多級(jí)干式真空泵的氣路分配系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于真空泵領(lǐng)域，具體地說是一種用于多級(jí)干式真空泵的氣路分配系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
向多級(jí)干式真空泵內(nèi)通入干燥氣體，有利于真空泵級(jí)間可凝性氣體的排出，也有利于被抽取的粉塵介質(zhì)的排出，不在泵內(nèi)死角殘留和堆積。目前多級(jí)干式真空泵的氣路系統(tǒng)，多數(shù)由質(zhì)量流量計(jì)或浮子流量計(jì)測(cè)量流量，并且氣路的多路輸出只能按唯一的流量比例，不能改變。這樣的氣路系統(tǒng)占用空間大，并且流量輸出比例不能變化，如果使用浮子流量計(jì)，其流量顯示數(shù)值只能通過觀察得出，不能進(jìn)行數(shù)據(jù)采集，如果多級(jí)干式真空泵使用的場(chǎng)合需要調(diào)整流量數(shù)值，只能更換氣路系統(tǒng)。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種用于多級(jí)干式真空泵的氣路分配系統(tǒng)。該氣路分配系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)氣體流量的檢測(cè)，出氣端氣體能夠以不同流量比例輸出。本發(fā)明的目的是通過以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn)的:本發(fā)明包括集成模塊、孔板、銷及壓力傳感器，其中集成模塊內(nèi)分別開有進(jìn)氣通道及出氣通道，進(jìn)氣通道與出氣通道通過位于兩者之間的孔板相連通；所述出氣通道內(nèi)插設(shè)有可轉(zhuǎn)動(dòng)的銷，銷位于出氣通道內(nèi)的部分開有多個(gè)通孔；所述集成模塊的進(jìn)氣端及出氣端分別設(shè)有與進(jìn)氣通道連通的進(jìn)氣口及與出氣通道連通的出氣口，所述壓力傳感器分別安裝在集成模塊的進(jìn)氣端及出氣端，分別測(cè)量所述孔板兩側(cè)的氣體流量。其中:所述集成模塊出氣端的出氣口為多個(gè)，銷上的通孔沿軸向設(shè)有多排，每排通孔對(duì)應(yīng)一個(gè)出氣口 ；所述出氣通道為集成模塊上開設(shè)的盲孔，出氣通道的開口端位于集成模塊的一側(cè)壁上，另一端通過孔板與進(jìn)氣通道相連通；所述銷的內(nèi)部開有與出氣通道連通的盲孔，銷的一端為所述盲孔的開口端、位于出氣通道內(nèi)，另一端與集成模塊密封連接；所述銷上的通孔均開設(shè)在與所述盲孔對(duì)應(yīng)的管壁上；所述銷與出氣通道過渡配合；所述進(jìn)氣通道的徑向截面為圓形，一端通過孔板與出氣通道連通，另一端為封閉端；所述孔板的孔徑分別小于進(jìn)氣通道及出氣通道的直徑。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)與積極效果為:1.本發(fā)明通過銷的旋轉(zhuǎn)，以不同孔徑的通孔與出氣口對(duì)接，不用更換氣路即可實(shí)現(xiàn)各輸出管路間不同流量比例的氣體輸出。2.本發(fā)明采用壓力傳感器測(cè)量流經(jīng)孔板兩側(cè)的氣體壓力，直接進(jìn)行數(shù)據(jù)采集，便于觀察。


圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為圖1中的A-A剖視其中:1為集成模塊，2為進(jìn)氣口，3為出氣口，4為孔板，5為銷，6為密封膠圈，7為通孔，8為出氣通道，9為壓力傳感器，10為進(jìn)氣通道。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳述。如圖1、圖2所示，本發(fā)明包括集成模塊1、孔板4、銷5及壓力傳感器9，其中集成模塊I為塊狀(本實(shí)施例為長(zhǎng)方體)，集成模塊I的一端為進(jìn)氣端，另一端為出氣端；在集成模塊I的內(nèi)部分別開有進(jìn)氣通道10及出氣通道8，在進(jìn)氣通道10與出氣通道8之間設(shè)有孔板4，該孔板4的孔徑分別小于進(jìn)氣通道10與出氣通道8的直徑，進(jìn)氣通道10與出氣通道8通過位于兩者之間的孔板4相連通；進(jìn)氣通道10及出氣通道8的徑向截面均為圓形，進(jìn)氣通道10的一端通過孔板4與出氣通道8的一端相連通，進(jìn)氣通道10的另一端為封閉端；出氣通道8為集成模塊I上開設(shè)的盲孔，出氣通道8的開口端位于集成模塊I的一側(cè)壁上，另一端通過孔板4與進(jìn)氣通道10相連通。在出氣通道8內(nèi)插設(shè)有可轉(zhuǎn)動(dòng)的銷5，銷5與出氣通道8過渡配合。銷5的內(nèi)部開有與出氣通道8連通的盲孔，銷5的一端為所述盲孔的開口端、位于出氣通道8內(nèi)、靠近所述出氣通道8的另一端，銷5的另一端與集成模塊I的側(cè)壁抵接，且通過密封膠圈6與出氣通道8的內(nèi)壁密封連接。銷5內(nèi)部盲孔的管壁上開有多個(gè)通孔7，通孔7的設(shè)置為沿軸向采用等分的方式設(shè)置多排，每一排圓周均布。集成模塊I的進(jìn)氣端設(shè)有與進(jìn)氣通道10連通的進(jìn)氣口 2，本實(shí)施例的進(jìn)氣口 2為一個(gè)；集成模塊I的出氣端設(shè)有與出氣通道8連通的出氣口 3，出氣口 3可為多個(gè)，每個(gè)一出氣口 3均對(duì)應(yīng)銷5上的一排通孔，出氣口 3通過通孔與銷5內(nèi)部的盲孔相連通；通孔的大小根據(jù)要求設(shè)定。在集成模塊I的進(jìn)氣端及出氣端分別安裝有壓力傳感器9，兩個(gè)壓力傳感器9分別位于孔板4的兩側(cè)，使用壓差式方法測(cè)量孔板4兩側(cè)的氣體壓力，可計(jì)算得出流經(jīng)的氣體流量。本發(fā)明的工作原理為:氣體由進(jìn)氣口 2進(jìn)入到進(jìn)氣通道10內(nèi)，經(jīng)孔板4流到出氣通道8內(nèi)，再經(jīng)過銷5上的通孔7由各出氣口 3排出。在排氣的過程中，旋轉(zhuǎn)銷5，不同孔徑的通孔7會(huì)與各出氣口 3相接，實(shí)現(xiàn)各輸出管路間不同流量比例的氣體輸出。
權(quán)利要求
1.一種用于多級(jí)干式真空泵的氣路分配系統(tǒng)，其特征在于:包括集成模塊(I)、孔板(4)、銷(5)及壓力傳感器(9)，其中集成模塊(I)內(nèi)分別開有進(jìn)氣通道(10)及出氣通道(8)，進(jìn)氣通道(10)與出氣通道(8)通過位于兩者之間的孔板(4)相連通；所述出氣通道(8)內(nèi)插設(shè)有可轉(zhuǎn)動(dòng)的銷(5)，銷(5)位于出氣通道(8)內(nèi)的部分開有多個(gè)通孔(7);所述集成模塊(I)的進(jìn)氣端及出氣端分別設(shè)有與進(jìn)氣通道(10)連通的進(jìn)氣口(2)及與出氣通道(8)連通的出氣口(3)，所述壓力傳感器(9)分別安裝在集成模塊(I)的進(jìn)氣端及出氣端，分別測(cè)量所述孔板(4)兩側(cè)的氣體流量。
2.按權(quán)利要求1所述用于多級(jí)干式真空泵的氣路分配系統(tǒng)，其特征在于:所述集成模塊(I)出氣端的出氣口(3)為多個(gè)，銷(5)上的通孔(7)沿軸向設(shè)有多排，每排通孔對(duì)應(yīng)一個(gè)出氣口⑶。
3.按權(quán)利要求1或2所述用于多級(jí)干式真空泵的氣路分配系統(tǒng)，其特征在于:所述出氣通道(8)為集成模塊(I)上開設(shè)的盲孔，出氣通道(8)的開口端位于集成模塊(I)的一側(cè)壁上，另一端通過孔板⑷與進(jìn)氣通道(10)相連通。
4.按權(quán)利要求1或2所述用于多級(jí)干式真空泵的氣路分配系統(tǒng)，其特征在于:所述銷(5)的內(nèi)部開有與出氣通道⑶連通的盲孔，銷(5)的一端為所述盲孔的開口端、位于出氣通道(8)內(nèi)，另一端與集成模塊(I)密封連接；所述銷(5)上的通孔(7)均開設(shè)在與所述盲孔對(duì)應(yīng)的管壁上。
5.按權(quán)利要求4所述用于多級(jí)干式真空泵的氣路分配系統(tǒng)，其特征在于:所述銷(5)與出氣通道(8)過渡配合。
6.按權(quán)利要求1或2所述用于多級(jí)干式真空泵的氣路分配系統(tǒng)，其特征在于:所述進(jìn)氣通道(10)的徑向截面為圓形，一端通過孔板(4)與出氣通道(8)連通，另一端為封閉端。
7.按權(quán)利要求1或2所述用于多級(jí)干式真空泵的氣路分配系統(tǒng)，其特征在于:所述孔板(4)的孔徑分別小于進(jìn)氣通道(10)及出氣通道(8)的直徑。
全文摘要
本發(fā)明屬于真空泵領(lǐng)域，具體地說是一種用于多級(jí)干式真空泵的氣路分配系統(tǒng)，包括集成模塊、孔板、銷及壓力傳感器，其中集成模塊內(nèi)分別開有進(jìn)氣通道及出氣通道，進(jìn)氣通道與出氣通道通過位于兩者之間的孔板相連通；所述出氣通道內(nèi)插設(shè)有可轉(zhuǎn)動(dòng)的銷，銷位于出氣通道內(nèi)的部分開有多個(gè)通孔；所述集成模塊的進(jìn)氣端及出氣端分別設(shè)有與進(jìn)氣通道連通的進(jìn)氣口及與出氣通道連通的出氣口，所述壓力傳感器分別安裝在集成模塊的進(jìn)氣端及出氣端，分別測(cè)量所述孔板兩側(cè)的氣體流量。本發(fā)明通過銷的旋轉(zhuǎn)，以不同孔徑的通孔與出氣口對(duì)接，不用更換氣路即可實(shí)現(xiàn)各輸出管路間不同流量比例的氣體輸出。
文檔編號(hào)F04B39/10GK103104439SQ20111035797
公開日2013年5月15日 申請(qǐng)日期2011年11月11日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月11日
發(fā)明者張振厚, 王光玉, 孔祥玲 申請(qǐng)人:中國(guó)科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器研制中心有限公司