專利名稱：一種干式真空微系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及真空泵領(lǐng)域，特別涉及的是一種以DP干式渦旋真空泵為主機(jī)，并 配以多種備件來便于使用者使用的DMVS系列干式真空微系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
目前，國內(nèi)相關(guān)真空行業(yè)所使用的數(shù)機(jī)械真空泵大多以用水、油或其他聚合物等 流體充當(dāng)泵的工作介質(zhì)的為主。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展以及真空應(yīng)用領(lǐng)域的擴(kuò)大，原有的機(jī) 械真空泵及其組成的抽氣系統(tǒng)出現(xiàn)了兩個急需解決的問題一是泵的工作介質(zhì)返流污染被 抽容器，而這種返流在許多情況下影響產(chǎn)品的質(zhì)量、數(shù)量，增了設(shè)備維護(hù)成本。其次，由于某 些工藝過程中被抽氣體進(jìn)入到真空泵內(nèi)很難回收，并且造成泵內(nèi)介質(zhì)變質(zhì)。雖然現(xiàn)在市面上所出現(xiàn)的新型DP干式渦旋真空泵以其結(jié)構(gòu)緊湊簡單、抽氣腔原 件無摩擦、壽命長、耗能低、無油污染等優(yōu)點，得到越來越多使用廠家的青睞。并由于其在化 工行業(yè)上有不可比擬的優(yōu)勢，逐漸代替了傳統(tǒng)的機(jī)械真空泵。但由于在使用時，用戶往往會 因為其較為復(fù)雜的操作性，而不能實現(xiàn)高效的生產(chǎn)；且在使用時也很難進(jìn)行化工氣體等物 質(zhì)的回收，從而加大了企業(yè)的環(huán)保壓力，也降低了整個真空泵使用的價值。

實用新型內(nèi)容本實用新型所要解決的技術(shù)問題在于針對現(xiàn)有技術(shù)的不足而提供一種干式真空 微系統(tǒng)，以解決現(xiàn)有真空泵所存在的諸多不足之處。為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型是通過如下的技術(shù)方案來實現(xiàn)一種干式真空微系統(tǒng)，由機(jī)座、電機(jī)、干式渦旋真空泵、手動閥、真空過濾器以及真 空表構(gòu)成，所述干式渦旋真空泵安裝在機(jī)座上，所述電機(jī)的輸出軸與所述干式渦旋真空泵 的輸入軸連接，所述手動閥一個閥口與所述干式渦旋真空泵的抽氣口連接，手動閥的另一 個閥口接一三通，所述真空過濾器的出氣口接所述三通的一個接口，所述真空表安裝在所 述三通的另一個接口上。所述手動閥通過KF真空快卸法蘭與所述干式渦旋真空泵的抽氣口連接。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單、使用方便，用戶在使用本實用新型進(jìn)行生產(chǎn)加工時，只需接 上電源和與其相配套的真空管路，就可以一步到位地滿足用戶對真空的需求，從而極大地 方便了那些對真空設(shè)備不是很熟悉的用戶；同時本系統(tǒng)有防液體、防塵過濾部分，可以大大 延長整體設(shè)備的使用壽命，也可以間接的增加其使用性能。
以下結(jié)合附圖和具體實施方式
來詳細(xì)說明本實用新型；


圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)簡圖。圖2為本實用新型干式渦旋真空泵的工作原理圖。圖3為本實用新型干式渦旋真空泵抽速曲線示意圖。
具體實施方式
為使本實用新型實現(xiàn)的技術(shù)手段、創(chuàng)作特征、達(dá)成目的與功效易于明白了解，下面 結(jié)合具體實施方式
，進(jìn)一步闡述本實用新型。本實用新型為一種干式真空微系統(tǒng)，其主要用于解決現(xiàn)有干式渦旋真空泵操作不 便，且在使用性能方面還存在較大不足的問題，為此在干式渦旋真空泵進(jìn)行改良與設(shè)計。如
圖1所示，為本實用新型的結(jié)構(gòu)簡圖。本實用新型作為一種干式真空微系統(tǒng)，該 干式真空微系統(tǒng)包括一機(jī)座100、干式渦旋真空泵200、電機(jī)300、手動閥400、真空過濾器 500、真空表600以及KF真空快卸法蘭700。在機(jī)座100底部安裝有用于緩解工作時產(chǎn)生的 過量震動的避震腳110，干式渦旋真空泵200安裝在機(jī)座100上，在干式渦旋真空泵200上 側(cè)安裝有一組用于起吊整個干式真空微系統(tǒng)的吊環(huán)210，干式渦旋真空泵200具有一個抽 氣口 220、一個排氣口 230，干式渦旋真空泵200輸入軸與電機(jī)300的輸出軸聯(lián)接，電機(jī)300 驅(qū)動干式渦旋真空泵200工作。手動閥400 —個閥口通過KF真空快卸法蘭700與干式渦旋真空泵200的抽氣口 220連接，采用KF真空快卸法蘭700主要是能快速裝卸手動閥400、真空過濾器500、真空表 600等部件。手動閥400的另一個閥口接一三通800，真空過濾器500的出氣口 510接三通800 的一個接口，真空表600安裝在三通800的另一個接口上。真空過濾器500的進(jìn)氣口 520 接負(fù)載。在真空過濾器500底部設(shè)置用于排放廢液的排液口 530。真空過濾器采用申請人申請的，公開號為CN101293160，
公開日為2008年10月29
日，發(fā)明名稱為“真空過濾器”。參見圖2，本實用新型的干式渦旋真空泵200是兩條漸開線螺旋曲線盤構(gòu)成，即一 個靜渦旋盤210和一個動渦旋盤220。動渦旋盤220作偏心安裝，靜渦旋盤210與動渦旋盤 220便形成月芽形腔體230。隨著動渦旋盤220轉(zhuǎn)動，月芽形腔體不斷向里旋轉(zhuǎn)壓縮，最后 從中間排出至出氣口 240。動渦旋盤220連續(xù)運轉(zhuǎn)，氣體不斷從進(jìn)氣口 250進(jìn)入，由出氣口 240排出，形成真空。本實用新型的特點在于1.采用干式渦旋真空泵(環(huán)保(清潔真空-無油無水無污染-節(jié)能減排.回收利 用)·免維護(hù))。2.連接簡單、操作方便。3.全真空(0 0. IMPa)，可以直接測量真空度。4.移動方便，占地小，可置于任何閑散之地。5.防水、防塵，使用壽命長。6.可以開關(guān)真空管路。7.可以自由轉(zhuǎn)換安裝方向與角度以上顯示和描述了本實用新型的基本原理和主要特征和本實用新型的優(yōu)點。本行 業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本實用新型不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述 的只是說明本實用新型的原理，在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下，本實用新型還 會有各種變化和改進(jìn)，這些變化和改進(jìn)都落入要求保護(hù)的本實用新型范圍內(nèi)。本實用新型 要求保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書及其等效物界定。
權(quán)利要求一種干式真空微系統(tǒng)，其特征在于，由機(jī)座、電機(jī)、干式渦旋真空泵、手動閥、真空過濾器以及真空表構(gòu)成，所述干式渦旋真空泵安裝在機(jī)座上，所述電機(jī)的輸出軸與所述干式渦旋真空泵的輸入軸連接，所述手動閥一個閥口與所述干式渦旋真空泵的抽氣口連接，手動閥的另一個閥口接一三通，所述真空過濾器的出氣口接所述三通的一個接口，所述真空表安裝在所述三通的另一個接口上。
2.如權(quán)利要求1所述的干式真空微系統(tǒng)，其特征在于，所述手動閥通過KF真空快卸法 蘭與所述干式渦旋真空泵的抽氣口連接。
專利摘要本實用新型公開了一種干式真空微系統(tǒng)，其特征在于，由機(jī)座、電機(jī)、干式渦旋真空泵、手動閥、真空過濾器以及真空表構(gòu)成，所述干式渦旋真空泵安裝在機(jī)座上，所述電機(jī)的輸出軸與所述干式渦旋真空泵的輸入軸連接，所述手動閥一個閥口與所述干式渦旋真空泵的抽氣口連接，手動閥的另一個閥口接一三通，所述真空過濾器的出氣口接所述三通的一個接口，真空表安裝在所述三通的另一個接口上。本實用新型在使用時，用戶只需事先接上電源和與其相配套的真空管路，就可以一步到位地滿足用戶對真空的需求，從而極大地方便了那些對真空設(shè)備不是很熟悉的用戶；同時本系統(tǒng)有防液體、防塵過濾部分，可以大大延長整體設(shè)備的使用壽命，也可以間接的增加其使用性能。
文檔編號F04C18/02GK201723446SQ20102023907
公開日2011年1月26日 申請日期2010年6月24日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月24日
發(fā)明者任利民 申請人:任利民