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一種渦旋真空泵排氣口結(jié)構(gòu)的制作方法

文檔序號:5425849閱讀:275來源:國知局
專利名稱:一種渦旋真空泵排氣口結(jié)構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明屬于真空泵領(lǐng)域,具體地說是一種渦旋真空泵排氣口結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)
目前,國內(nèi)對無油真空環(huán)境要求越來越多,半導(dǎo)體、LED等行業(yè)迅速發(fā)展,渦旋真空泵作為一種無油真空泵也得到迅速發(fā)展。現(xiàn)有渦旋真空泵在排氣時噪音較大,排氣口密封差,已無法滿足行業(yè)迅速發(fā)展的要求。

發(fā)明內(nèi)容
為了解決排氣噪音大、排氣口密封效果差的問題,本發(fā)明的目的在于提供一種渦旋真空泵排氣口結(jié)構(gòu)。該渦旋真空泵排氣口結(jié)構(gòu)排氣噪音低,氣流脈動沖擊小,密封效果好。本發(fā)明的目的是通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn)的:本發(fā)明包括排氣適配器、閥擋、彈簧及橡膠閥芯,其中排氣適配器與真空泵密封螺紋連接,閥擋及橡膠閥芯分別安裝在排氣適配器內(nèi)的上下兩端,所述橡膠閥芯的一端位于排氣適配器上排氣口的頂部,另一端設(shè)有彈簧,該彈簧的頂端與閥擋抵接;在閥擋上方的排氣適配器內(nèi)設(shè)有固定閥擋及橡膠閥芯的孔用彈簧擋圈。其中:所述排氣適配器內(nèi)沿軸向設(shè)有內(nèi)徑不同的孔,排氣口位于最下端,所述排氣適配器內(nèi)與橡膠閥芯接觸的面為弧面,該弧面位于排氣口的頂部;所述孔用彈簧擋圈、閥擋及橡膠閥芯分別通過排氣適配器內(nèi)壁上的止口定位;所述閥擋由圓盤及其下方的第一錐臺組成,在圓盤上周向均布有多個供排氣的通孔;所述彈簧的頂端套在第一錐臺上、并抵接于圓盤的底面;所述通孔在圓盤徑向截面的投影為弧形;所述橡膠閥芯由圓柱及其下方的第二錐臺組成,所述彈簧的底端套在第二錐臺上、并抵接于圓柱的一面,圓柱的另一面為與排氣適配器接觸的球面;所述圓柱的外表面周向均布有多個起導(dǎo)向作用的導(dǎo)向塊。本發(fā)明的優(yōu)點與積極效果為:本發(fā)明的排氣適配器與真空泵密封螺紋連接,密封性好;利用彈簧使被氣體沖開的橡膠閥芯復(fù)位,橡膠閥芯采用球面和橡膠材料,與排氣適配器完全吻合,減少排氣振動和噪聲音,密封效果好。


圖1為本發(fā)明的內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖;圖2為圖1中排氣適配器的結(jié)構(gòu)剖視圖;圖3為圖1中閥擋的主視圖;圖4為圖3的俯視圖;圖5為圖1中橡膠閥芯的主視圖6為圖5的俯視圖;其中:1為排氣適配器,2為孔用彈簧擋圈,3為閥擋,4為彈簧,5為橡膠閥芯,6為通孔,7為排氣口,8為圓盤,9為第一錐臺,10為圓柱,11為第二錐臺,12為導(dǎo)向塊。
具體實施例方式下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作進(jìn)一步詳述。如圖1所示,本發(fā)明包括排氣適配器1、孔用彈簧擋圈2、閥擋3、彈簧4及橡膠閥芯5,其中排氣適配器I的下端與真空泵密封螺紋連接,密封性好;閥擋3及橡膠閥芯5分別安裝在排氣適配器I內(nèi)的上下兩端,所述橡膠閥芯5的一端位于排氣適配器I上排氣口7的頂部,另一端設(shè)有彈簧4,該彈簧4的頂端與閥擋3抵接;在閥擋3上方的排氣適配器I內(nèi)設(shè)有固定閥擋3及橡膠閥芯5的孔用彈簧擋圈2。如圖2所示,排氣適配器I下端外表面設(shè)有外螺紋,與真空泵密封螺紋連接;排氣適配器I內(nèi)沿軸向設(shè)有內(nèi)徑不同的孔,在孔徑改變處形成定位止口,孔用彈簧擋圈2、閥擋3及橡膠閥芯5分別通過排氣適配器I內(nèi)壁上的止口定位;排氣口 7位于排氣適配器I內(nèi)孔的最下端、孔徑也最小;所述排氣適配器I內(nèi)與橡膠閥芯5接觸的面為弧面,該弧面位于排氣口 7的頂部。如圖3、圖4所示,閥擋3由圓盤9及其下方的第一錐臺9組成,在圓盤8上沿軸向開有多個供排氣的通孔6 (本實施例為三個),多個通孔6周向均布,通孔6在圓盤8徑向截面的投影為弧形;第一錐臺9直徑較大的一端在上,直徑較小的一端在下,方便與彈簧4連接;所述彈簧4的頂端套在第一錐臺9上、并抵接于圓盤8的底面。如圖5、圖6所示,橡膠閥芯5由圓柱10及其下方的第二錐臺11組成,橡膠閥芯5倒置在排氣適配器I內(nèi),即第二錐臺11在上、圓柱10在下;其中第二錐臺11直徑較小的一端在上,直徑較大的一端在下,方便與彈簧4連接;所述彈簧4的底端套在第二錐臺11上、并抵接于圓柱10的一面,圓柱10的另一面為與排氣適配器I接觸的球面。在圓柱10的外表面周向均布有多個起導(dǎo)向作用的導(dǎo)向塊12。本發(fā)明的工件原理為:不排氣時,橡膠閥芯5中圓柱10的球面抵接在排氣適配器I內(nèi),將排氣口 7堵住。當(dāng)渦旋真空泵的排氣氣流經(jīng)過排氣口 7時,沖開橡膠閥芯5排氣,彈簧4壓縮,氣體進(jìn)入排氣適配器內(nèi)部、由閥擋3上的通孔6排出。當(dāng)排氣完畢后,利用彈簧4的彈力使橡膠閥芯5復(fù)位,橡膠閥芯5上的球面與排氣適配器的弧面貼合密封,并減少反流。由于橡膠閥芯5采用球面以及采用橡膠材料與排氣適配器I完全吻合,減少排氣振動和噪音。
權(quán)利要求
1.一種渦旋真空泵排氣口結(jié)構(gòu),其特征在于:包括排氣適配器(I)、閥擋(3)、彈簧(4)及橡膠閥芯(5),其中排氣適配器⑴與真空泵密封螺紋連接,閥擋(3)及橡膠閥芯(5)分別安裝在排氣適配器(I)內(nèi)的上下兩端,所述橡膠閥芯(5)的一端位于排氣適配器(I)上排氣口(7)的頂部,另一端設(shè)有彈簧(4),該彈簧(4)的頂端與閥擋(3)抵接;在閥擋(3)上方的排氣適配器⑴內(nèi)設(shè)有固定閥擋⑶及橡膠閥芯(5)的孔用彈簧擋圈(2)。
2.按權(quán)利要求1所述的渦旋真空泵排氣口結(jié)構(gòu),其特征在于:所述排氣適配器(I)內(nèi)沿軸向設(shè)有內(nèi)徑不同的孔,排氣口(7)位于最下端,所述排氣適配器(I)內(nèi)與橡膠閥芯(5)接觸的面為弧面,該弧面位于排氣口(7)的頂部。
3.按權(quán)利 要求2所述的渦旋真空泵排氣口結(jié)構(gòu),其特征在于:所述孔用彈簧擋圈(2)、閥擋(3)及橡膠閥芯(5)分別通過排氣適配器(I)內(nèi)壁上的止口定位。
4.按權(quán)利要求1所述的渦旋真空泵排氣口結(jié)構(gòu),其特征在于:所述閥擋(3)由圓盤(9)及其下方的第一錐臺(9)組成,在圓盤(8)上周向均布有多個供排氣的通孔¢);所述彈簧(4)的頂端套在第一錐臺(9)上、并抵接于圓盤(8)的底面。
5.按權(quán)利要求4所述的渦旋真空泵排氣口結(jié)構(gòu),其特征在于:所述通孔(6)在圓盤(8)徑向截面的投影為弧形。
6.按權(quán)利要求1所述的渦旋真空泵排氣口結(jié)構(gòu),其特征在于:所述橡膠閥芯(5)由圓柱(10)及其下方的第二錐臺(11)組成,所述彈簧(4)的底端套在第二錐臺(11)上、并抵接于圓柱(10)的一面,圓柱(10)的另一面為與排氣適配器(I)接觸的球面。
7.按權(quán)利要求6所述的渦旋真空泵排氣口結(jié)構(gòu),其特征在于:所述圓柱(10)的外表面周向均布有多個起導(dǎo)向作用的導(dǎo)向塊(12)。
全文摘要
本發(fā)明屬于真空泵領(lǐng)域,具體地說是一種渦旋真空泵排氣口結(jié)構(gòu),包括排氣適配器、閥擋、彈簧及橡膠閥芯,其中排氣適配器與真空泵密封螺紋連接,閥擋及橡膠閥芯分別安裝在排氣適配器內(nèi)的上下兩端,橡膠閥芯的一端位于排氣適配器上排氣口的頂部,另一端設(shè)有彈簧,該彈簧的頂端與閥擋抵接;在閥擋上方的排氣適配器內(nèi)設(shè)有固定閥擋及橡膠閥芯的孔用彈簧擋圈。本發(fā)明的排氣適配器與真空泵密封螺紋連接,密封性好;本發(fā)明利用彈簧使被氣體沖開的橡膠閥芯復(fù)位,橡膠閥芯采用球面和橡膠材料,與排氣適配器完全吻合,減少排氣振動和噪聲音,密封效果好。
文檔編號F04C29/12GK103104498SQ20111035795
公開日2013年5月15日 申請日期2011年11月11日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月11日
發(fā)明者雷震霖, 王光玉, 劉在行 申請人:中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器研制中心有限公司
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