專利名稱：一種真空油擴散泵的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種真空擴散泵，尤其是涉及一種真空油擴散泵。
背景技術(shù)：
油擴散泵應(yīng)用于電子、化工、冶金、機械、石油及原子能等工業(yè)部門中，包括應(yīng)用在 高真空燒結(jié)、熱處理、鍍膜等工業(yè)領(lǐng)域。真空油擴散泵在使用過程中，熱源和冷卻是形成高速蒸汽射流與油液體之間循環(huán) 的動力。熱源不足會形成高速蒸汽射流不夠影響抽氣效率，而冷卻不夠也會對蒸汽產(chǎn)生冷 凝不及時，影響油蒸汽與氣體分離，同樣影響真空度。在釹鐵硼燒結(jié)過程中經(jīng)?？吹讲捎秒?風扇直接風吹真空油擴散泵的彎頭部位，來改善真空油擴散泵局部位置的冷卻，提高抽氣 效率。采用電風扇直接吹冷雖然簡單，但浪費電力。

實用新型內(nèi)容本實用新型所要解決的技術(shù)問題是克服現(xiàn)有技術(shù)中采用電風扇直接吹冷而產(chǎn)生 的電力消耗、安全性低等缺點，提供一種真空度穩(wěn)定、節(jié)能、安全可靠的真空油擴散泵。本實用新型解決上述技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案為該真空油擴散泵，包括中空 泵體，中空泵體內(nèi)設(shè)置有油腔、對油腔內(nèi)的油進行加熱的加熱器、將被加熱的油蒸汽進行提 升的泵芯和噴嘴，中空泵體上設(shè)置有被抽氣體的進氣口、擋油彎頭、以及被抽氣體與被加熱 的油蒸汽的混合氣體的出氣口，其特征在于所述擋油彎頭通道內(nèi)設(shè)置有冷卻裝置。在擋油 彎頭內(nèi)增加內(nèi)部冷卻裝置，可快速冷卻真空油擴散泵的油蒸汽，實現(xiàn)啟動加熱器以后相應(yīng) 地形成穩(wěn)定高效的冷卻從而加速油的循環(huán)，提高油動力促使氣體有效地抽走。作為改進，所述冷卻裝置包括固定在所述擋油彎頭通道內(nèi)的散熱片和與該散熱片 相接觸的冷卻水管，通過該冷卻水管內(nèi)的冷卻水與泵體泵壁的冷卻水為同一回路。該改進，所述冷卻水管是沿著所述擋油彎頭通道的徑向插入所述擋油彎頭通道 內(nèi)，并且冷卻水管與擋油彎頭側(cè)壁之間通過焊接方式固定。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的優(yōu)點在于通過在擋油彎頭通道內(nèi)設(shè)置有冷卻裝 置，可快速冷卻真空油擴散泵的油蒸汽，實現(xiàn)啟動加熱器以后相應(yīng)地形成穩(wěn)定高效的冷卻 從而加速油的循環(huán)，提高油動力促使氣體有效地抽走，本實用新型整體結(jié)構(gòu)簡單、穩(wěn)定可 靠、節(jié)能、安全。

圖1為本實用新型實施例中真空油擴散泵的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為本實用新型實施例中冷卻裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
以下結(jié)合附圖實施例對本實用新型作進一步詳細描述。[0012]如圖1所示的真空油擴散泵，其包括中空泵體1，中空泵體1底部設(shè)置有盛放油2 的油腔，油腔下部設(shè)置有對油腔內(nèi)的油2進行加熱的加熱器3，中空泵體1內(nèi)設(shè)置有將被加 熱的油蒸汽A進行提升的泵芯4和噴嘴5，中空泵體1上設(shè)置有被抽氣體B的進氣口 6、擋 油彎頭7、以及被抽氣體與被加熱的油蒸汽的混合氣體C的出氣口 11，其中擋油彎頭7通道 內(nèi)設(shè)置有冷卻裝置。本實施例中，所述冷卻裝置包括固定在所述擋油彎頭通道內(nèi)的散熱片8和與該散 熱片相接觸的冷卻水管9，請參見圖2所示，通過該冷卻水管9內(nèi)的冷卻水與泵體泵壁的冷 卻水為同一回路。而所述冷卻水管9是沿著所述擋油彎頭通道的徑向插入所述擋油彎頭通 道內(nèi)，并且冷卻水管與擋油彎頭側(cè)壁之間通過焊接方式固定。加熱器3加熱后，油腔內(nèi)的擴散泵油2加熱，產(chǎn)生油蒸汽A沿著泵芯4上升，在噴 嘴5噴出蒸汽射流，射流攜帶來自進氣口 1的被抽氣體B，在真空油擴散泵中設(shè)有水冷的泵 壁，油蒸汽A大部分被冷凝成油滴沿泵壁流回到油腔中循環(huán)使用，而被抽氣體B在泵壁附近 堆積、壓縮，最后被下級射流攜帶走，以達到逐級壓縮，在擋油彎頭7處插入冷卻水管9，使 油氣、液分離，接著在擋霧器10進一步分離油氣、液，最后被前級泵抽走壓縮氣體。本實用 新型是在擋油彎頭7處插入冷卻水管9，而這些冷卻水與原來泵壁的冷卻水同一回路，不需 要額外的動力，達到了節(jié)省電風扇電耗，具有結(jié)構(gòu)簡單、節(jié)能、安全的優(yōu)點。
權(quán)利要求一種真空油擴散泵，包括中空泵體，中空泵體內(nèi)設(shè)置有油腔、對油腔內(nèi)的油進行加熱的加熱器、將被加熱的油蒸汽進行提升的泵芯和噴嘴，中空泵體上設(shè)置有被抽氣體的進氣口、擋油彎頭、以及被抽氣體與被加熱的油蒸汽的混合氣體的出氣口，其特征在于所述擋油彎頭通道內(nèi)設(shè)置有冷卻裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空油擴散泵，其特征在于所述冷卻裝置包括固定在所述 擋油彎頭通道內(nèi)的散熱片和與該散熱片相接觸的冷卻水管，通過該冷卻水管內(nèi)的冷卻水與 泵體泵壁的冷卻水為同一回路。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的真空油擴散泵，其特征在于所述冷卻水管是沿著所述 擋油彎頭通道的徑向插入所述擋油彎頭通道內(nèi)，并且冷卻水管與擋油彎頭側(cè)壁之間通過焊 接方式固定。
專利摘要本實用新型涉及一種真空油擴散泵，包括中空泵體，中空泵體內(nèi)設(shè)置有油腔、對油腔內(nèi)的油進行加熱的加熱器、將被加熱的油蒸汽進行提升的泵芯和噴嘴，中空泵體上設(shè)置有被抽氣體的進氣口、擋油彎頭、以及被抽氣體與被加熱的油蒸汽的混合氣體的出氣口，其特征在于所述擋油彎頭通道內(nèi)設(shè)置有冷卻裝置。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的優(yōu)點在于通過在擋油彎頭通道內(nèi)設(shè)置有冷卻裝置，可快速冷卻真空油擴散泵的油蒸汽，實現(xiàn)啟動加熱器以后相應(yīng)地形成穩(wěn)定高效的冷卻從而加速油的循環(huán)，提高油動力促使氣體有效地抽走，本實用新型整體結(jié)構(gòu)簡單、穩(wěn)定可靠、節(jié)能、安全。
文檔編號F04F9/00GK201763708SQ201020520190
公開日2011年3月16日 申請日期2010年9月3日 優(yōu)先權(quán)日2010年9月3日
發(fā)明者吳昌駿, 李建東, 沈國迪, 王云龍 申請人:寧波韻升股份有限公司;寧波韻升高科磁業(yè)有限公司