一種用于海綿鈦生產(chǎn)的油擴(kuò)散泵試抽校驗(yàn)裝置及校驗(yàn)方法
【專利摘要】一種用于海綿鈦生產(chǎn)的油擴(kuò)散泵試抽校驗(yàn)裝置及校驗(yàn)方法,涉及一種油擴(kuò)散泵試抽校驗(yàn)裝置,包括滑閥泵(10)、電磁壓差閥(9)、氣動(dòng)擋板閥(7)、油擴(kuò)散泵校驗(yàn)罩(4)和油擴(kuò)散泵(6),所述滑閥泵(10)與電磁壓差閥(9)下部的進(jìn)氣口固定連接,膨脹節(jié)(8)設(shè)置在電磁壓差閥(9)與氣動(dòng)擋板閥(7)的相對兩側(cè)面上,所述氣動(dòng)擋板閥(7)的下部與油擴(kuò)散泵(6)的排氣口連接,所述油擴(kuò)散泵(6)的上端設(shè)有油擴(kuò)散泵校驗(yàn)罩(4);本發(fā)明使用效果好,操作簡單,有效減少了由于組裝不合格安裝到蒸餾真空系統(tǒng)中頻繁拆卸的次數(shù),大大減少了由于頻繁拆卸造成的人工浪費(fèi)。
【專利說明】一種用于海綿鈦生產(chǎn)的油擴(kuò)散泵試抽校驗(yàn)裝置及校驗(yàn)方法
[0001]【【技術(shù)領(lǐng)域】】
本發(fā)明涉及一種油擴(kuò)散泵試抽校驗(yàn)裝置,尤其是涉及一種用于海綿鈦生產(chǎn)的油擴(kuò)散泵試抽校驗(yàn)裝置及校驗(yàn)方法,特別是涉及一種用于海綿鈦生產(chǎn)中的油油擴(kuò)散泵清洗組裝后的試抽校驗(yàn)裝置方法及校驗(yàn)方法。[0002]【【背景技術(shù)】】
公知的,海綿鈦?zhàn)鳛殁佉苯疬^程的原材料,目前工業(yè)上生產(chǎn)海綿鈦的主要方法是Kroll法,該方法的基本原理是首先利用Mg與TiCl4的還原反應(yīng)生成Ti,然后通過高溫真空蒸餾除去過量的Mg和鈦坨中殘留的副產(chǎn)品MgCl2以及少量的鈦氯化物,最后得到海綿狀的鈦坨。
[0003]為了使海綿鈦毛細(xì)孔中的氯化物蒸餾徹底,在高真空蒸餾過程中通常會(huì)用到油油擴(kuò)散泵,因?yàn)橛陀蛿U(kuò)散泵可以保證蒸餾過程中有足夠高的真空度,但是油油擴(kuò)散泵在使用過程中泵油會(huì)受到氯化物和海綿鈦低價(jià)物的污染,因此必須對油擴(kuò)散泵進(jìn)行定期清理保養(yǎng),如果將油擴(kuò)散泵清洗保養(yǎng)后直接安裝在蒸餾真空系統(tǒng)中,當(dāng)在蒸餾高真空階段發(fā)現(xiàn)真空度達(dá)不到工藝要求,就要對油擴(kuò)散泵進(jìn)行全面檢查,如果經(jīng)檢查發(fā)現(xiàn)油擴(kuò)散泵清洗保養(yǎng)過程中法蘭有密封不到位情況,不但要導(dǎo)致重新返工,即影響正常生產(chǎn),又浪費(fèi)人力物力。
[0004]【
【發(fā)明內(nèi)容】
】
為了克服【背景技術(shù)】中的不足,本發(fā)明公開了一種用于海綿鈦生產(chǎn)的油擴(kuò)散泵試抽校驗(yàn)裝置及校驗(yàn)方法,所述的用于海綿鈦生產(chǎn)的油擴(kuò)散泵試抽校驗(yàn)裝置及校驗(yàn)方法通過將試抽校驗(yàn)裝置組裝后對油擴(kuò)散泵進(jìn)行預(yù)抽校驗(yàn),預(yù)抽校驗(yàn)合格后真空封存,待使用時(shí)直接可以安裝在蒸餾真空系統(tǒng)中;本發(fā)明使用效果好,操作簡單,有效減少了由于組裝不合格安裝到蒸餾真空系統(tǒng)中頻繁拆卸的次數(shù),大大減少了由于頻繁拆卸造成的人工浪費(fèi)。
[0005]為了實(shí)現(xiàn)上述發(fā)明的目的,本發(fā)明采用如下技術(shù)方案:
一種用于海綿鈦生產(chǎn)的油擴(kuò)散泵試抽校驗(yàn)裝置,包括滑閥泵、電磁壓差閥、氣動(dòng)擋板閥、油擴(kuò)散泵校驗(yàn)罩和油擴(kuò)散泵,所述滑閥泵與電磁壓差閥下部的進(jìn)氣口固定連接,膨脹節(jié)設(shè)置在電磁壓差閥與氣動(dòng)擋板閥的相對兩側(cè)面上,所述氣動(dòng)擋板閥的下部與油擴(kuò)散泵的排氣口連接,所述油擴(kuò)散泵的上端設(shè)有油擴(kuò)散泵校驗(yàn)罩。
[0006]所述的用于海綿鈦生產(chǎn)的油擴(kuò)散泵試抽校驗(yàn)裝置,所述油擴(kuò)散泵校驗(yàn)罩的外部面上分別設(shè)有低真空規(guī)管、高真空規(guī)管和放氣閥門。
[0007]所述的用于海綿鈦生產(chǎn)的油擴(kuò)散泵試抽校驗(yàn)裝置,所述低真空規(guī)管、高真空規(guī)管分別通過信號線與復(fù)合真空計(jì)連接。
[0008]一種用于海綿鈦生產(chǎn)的油擴(kuò)散泵試抽校驗(yàn)方法,所述方法的具體步驟為:
1)組裝試抽校驗(yàn)裝置:將滑閥泵與電磁壓差閥、膨脹節(jié)和氣動(dòng)擋板閥連接組裝,再將低真空規(guī)管、高真空規(guī)管、放氣閥門和復(fù)合真空計(jì)與油擴(kuò)散泵校驗(yàn)罩連接組裝,待油擴(kuò)散泵清理組裝好后,與油擴(kuò)散泵校驗(yàn)罩連接組裝,然后將氣動(dòng)擋板閥與油擴(kuò)散泵連接;
2)低真空預(yù)抽:接上一步驟,啟動(dòng)試抽校驗(yàn)裝置上的滑閥泵,打開電磁壓差閥和氣動(dòng)擋板閥,由滑閥泵開始低真空預(yù)抽,當(dāng)復(fù)合真空計(jì)的讀數(shù)小于IOPa后啟動(dòng)油擴(kuò)散泵的加熱器,并加熱70分鐘,使復(fù)合真空計(jì)的讀數(shù)達(dá)到3.0X 10_3Pa ;
3)關(guān)閉試抽校驗(yàn)裝置:接上一步驟,停止油擴(kuò)散泵的加熱器運(yùn)行,再由滑閥泵抽空60分鐘后關(guān)閉氣動(dòng)擋板閥和電磁壓差閥,即油擴(kuò)散泵試抽校驗(yàn)合格,并真空封存。
[0009]由于采用上述技術(shù)方案,本發(fā)明具有如下有益效果:
本發(fā)明所述的用于海綿鈦生產(chǎn)的油擴(kuò)散泵試抽校驗(yàn)裝置及校驗(yàn)方法通過將試抽校驗(yàn)裝置組裝后對油擴(kuò)散泵進(jìn)行預(yù)抽校驗(yàn),預(yù)抽校驗(yàn)合格后真空封存,待使用時(shí)直接可以安裝在蒸餾真空系統(tǒng)中;本發(fā)明使用效果好,操作簡單,有效減少了由于組裝不合格安裝到蒸餾真空系統(tǒng)中頻繁拆卸的次數(shù),大大減少了由于頻繁拆卸造成的人工浪費(fèi),且提高了檢修合格率。
[0010]【【專利附圖】
【附圖說明】】
圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0011]圖中:1、復(fù)合真空計(jì);2、高真空規(guī)管;3、低真空規(guī)管;4、油擴(kuò)散泵校驗(yàn)罩;5、放氣閥門;6、油擴(kuò)散泵;7、氣動(dòng)擋板閥;8、膨脹節(jié);9、電磁壓差閥;10、滑閥泵。
[0012]【【具體實(shí)施方式】】
參考下面的實(shí)施例,可以更詳細(xì)地解釋本發(fā)明;但是,本發(fā)明并不局限于這些實(shí)施例。
[0013]結(jié)合附圖1所述的用于海綿鈦生產(chǎn)的油擴(kuò)散泵試抽校驗(yàn)裝置,包括滑閥泵10、電磁壓差閥9、氣動(dòng)擋板閥7、油擴(kuò)散泵校驗(yàn)罩4和油擴(kuò)散泵6,所述滑閥泵10與電磁壓差閥9下部的進(jìn)氣口固定連接,膨脹節(jié)8設(shè)置在電磁壓差閥9與氣動(dòng)擋板閥7的相對兩側(cè)面上,所述氣動(dòng)擋板閥7的下部與油擴(kuò)散泵6的排氣口連接,所述油擴(kuò)散泵6的上端設(shè)有油擴(kuò)散泵校驗(yàn)罩4 ;所述油擴(kuò)散泵校驗(yàn)罩`4的外部面上分別設(shè)有低真空規(guī)管3、高真空規(guī)管2和放氣閥門5 ;所述低真空規(guī)管3、高真空規(guī)管2分別通過信號線與復(fù)合真空計(jì)I連接。
[0014]一種用于海綿鈦生產(chǎn)的油擴(kuò)散泵試抽校驗(yàn)方法,所述方法的具體步驟為:
O組裝試抽校驗(yàn)裝置:將滑閥泵10與電磁壓差閥9、膨脹節(jié)8和氣動(dòng)擋板閥7連接組裝,再將低真空規(guī)管3、高真空規(guī)管2、放氣閥門5和復(fù)合真空計(jì)I與油擴(kuò)散泵校驗(yàn)罩4連接組裝,待油擴(kuò)散泵6清理組裝好后,與油擴(kuò)散泵校驗(yàn)罩4連接組裝,然后將氣動(dòng)擋板閥7與油擴(kuò)散泵6連接;
2)低真空預(yù)抽:接上一步驟,啟動(dòng)試抽校驗(yàn)裝置上的滑閥泵10,打開電磁壓差閥9和氣動(dòng)擋板閥7,由滑閥泵10開始低真空預(yù)抽,當(dāng)復(fù)合真空計(jì)I的讀數(shù)小于IOPa后啟動(dòng)油擴(kuò)散泵6的加熱器,并加熱70分鐘,使復(fù)合真空計(jì)I的讀數(shù)達(dá)到3.0X 10_3Pa ;
3)關(guān)閉試抽校驗(yàn)裝置:接上一步驟,停止油擴(kuò)散泵6的加熱器運(yùn)行,再由滑閥泵10抽空60分鐘后關(guān)閉氣動(dòng)擋板閥7和電磁壓差閥9,即油擴(kuò)散泵6試抽校驗(yàn)合格,并真空封存。
[0015]實(shí)施本發(fā)明所述的用于海綿鈦生產(chǎn)的油擴(kuò)散泵試抽校驗(yàn)裝置及校驗(yàn)方法通過將試抽校驗(yàn)裝置組裝后對油擴(kuò)散泵6進(jìn)行預(yù)抽校驗(yàn),預(yù)抽校驗(yàn)合格后真空封存,待使用時(shí)直接可以安裝在蒸餾真空系統(tǒng)中;本發(fā)明使用效果好,操作簡單,有效減少了由于組裝不合格安裝到蒸餾真空系統(tǒng)中頻繁拆卸的次數(shù),大大減少了由于頻繁拆卸造成的人工浪費(fèi),且提高了檢修合格率。
[0016]為了公開本發(fā)明的目的而在本文中選用的實(shí)施例,當(dāng)前認(rèn)為是適宜的,但是應(yīng)了解的是,本發(fā)明旨在包括一切屬于本構(gòu)思和本發(fā)明范圍內(nèi)的實(shí)施例的所有變化和改進(jìn)。
【權(quán)利要求】
1.一種用于海綿鈦生產(chǎn)的油擴(kuò)散泵試抽校驗(yàn)裝置,包括滑閥泵(10)、電磁壓差閥(9)、氣動(dòng)擋板閥(7)、油擴(kuò)散泵校驗(yàn)罩(4)和油擴(kuò)散泵(6),其特征是:所述滑閥泵(10)與電磁壓差閥(9)下部的進(jìn)氣口固定連接,膨脹節(jié)(8)設(shè)置在電磁壓差閥(9)與氣動(dòng)擋板閥(7)的相對兩側(cè)面上,所述氣動(dòng)擋板閥(7)的下部與油擴(kuò)散泵(6)的排氣口連接,所述油擴(kuò)散泵(6)的上端設(shè)有油擴(kuò)散泵校驗(yàn)罩(4)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于海綿鈦生產(chǎn)的油擴(kuò)散泵試抽校驗(yàn)裝置,其特征是:所述油擴(kuò)散泵校驗(yàn)罩(4 )的外部面上分別設(shè)有低真空規(guī)管(3 )、高真空規(guī)管(2 )和放氣閥門(5 )。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于海綿鈦生產(chǎn)的油擴(kuò)散泵試抽校驗(yàn)裝置,其特征是:所述低真空規(guī)管(3)、高真空規(guī)管(2)分別通過信號線與復(fù)合真空計(jì)(I)連接。
4.一種權(quán)利要求1?3中任一權(quán)利要求所述的用于海綿鈦生產(chǎn)的油擴(kuò)散泵試抽校驗(yàn)方法,所述方法的具體步驟為: 1)組裝試抽校驗(yàn)裝置:將滑閥泵(10)與電磁壓差閥(9)、膨脹節(jié)(8)和氣動(dòng)擋板閥(7)連接組裝,再將低真空規(guī)管(3)、高真空規(guī)管(2)、放氣閥門(5)和復(fù)合真空計(jì)(I)與油擴(kuò)散泵校驗(yàn)罩(4)連接組裝,待油擴(kuò)散泵(6)清理組裝好后,與油擴(kuò)散泵校驗(yàn)罩(4)連接組裝,然后將氣動(dòng)擋板閥(7)與油擴(kuò)散泵(6)連接; 2)低真空預(yù)抽:接上一步驟,啟動(dòng)試抽校驗(yàn)裝置上的滑閥泵(10),打開電磁壓差閥(9)和氣動(dòng)擋板閥(7),由滑閥泵(10)開始低真空預(yù)抽,當(dāng)復(fù)合真空計(jì)(I)的讀數(shù)小于IOPa后啟動(dòng)油擴(kuò)散泵(6)的加熱器,并加熱70分鐘,使復(fù)合真空計(jì)(I)的讀數(shù)達(dá)到3.0X10_3Pa ; 3)關(guān)閉試抽校驗(yàn)裝置:接上一步驟,停止油擴(kuò)散泵(6)的加熱器運(yùn)行,再由滑閥泵(10)抽空60分鐘后關(guān)閉氣動(dòng)擋板閥(7)和電磁壓差閥(9),即油擴(kuò)散泵(6)試抽校驗(yàn)合格,并真空封存。
【文檔編號】C22B34/12GK103486015SQ201310385450
【公開日】2014年1月1日 申請日期:2013年8月30日 優(yōu)先權(quán)日:2013年8月30日
【發(fā)明者】劉杰, 高向陽, 李向東, 于洛平 申請人:洛陽雙瑞萬基鈦業(yè)有限公司