專利名稱：一種真空擴(kuò)散泵的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及真空泵領(lǐng)域，特別是一種真空擴(kuò)散泵。
背景技術(shù)：
擴(kuò)散泵是目前獲得高真空的最廣泛、最主要的工具之一。擴(kuò)散泵是一種次級(jí)泵，它需要機(jī)械泵作為前級(jí)泵。擴(kuò)散泵中的油在真空中加熱到沸騰溫度(約為200度)產(chǎn)生大量的油蒸氣，油蒸氣經(jīng)由各級(jí)噴嘴定向高速噴出。由于擴(kuò)散泵進(jìn)氣口附近被抽氣體的分壓強(qiáng)高于蒸氣流中該氣體的分壓強(qiáng)。這樣，被抽氣體分子沿著蒸氣方向高速運(yùn)動(dòng)，氣體分子碰到泵體內(nèi)壁又反射回來，再受到蒸氣流碰撞而重新沿蒸氣流方向流向泵壁。經(jīng)過幾次碰撞后，氣體分子被壓縮到低真空端，再由下幾級(jí)噴嘴噴出的蒸氣進(jìn)氣多級(jí)壓縮，最后由前級(jí)泵抽走，而油蒸氣在冷卻的泵壁上被冷凝后又返回到下層重新被加熱，如此循環(huán)工作達(dá)到抽氣目的。存在的問題是，1、油的蒸發(fā)與空氣接觸的面積有關(guān)，而現(xiàn)有的結(jié)構(gòu)限制了油與空氣接觸的面積，影響蒸發(fā)效率。2、雖然存在冷卻夾套，但是仍有部分油蒸汽會(huì)從入口返流進(jìn)入到被抽容器，影響了擴(kuò)散泵的性能。3、擴(kuò)散泵停止工作時(shí)，泵油易劣化。4、加熱元件故障易導(dǎo)致電爐斷電停止工作，由于電爐與擴(kuò)散泵底部結(jié)合牢固，加熱元件的爐絲出故障不易察覺，電爐故障后加熱功能無效導(dǎo)致真空度的變化，從而影響正常生產(chǎn)。發(fā)明內(nèi)容針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的 不足，本實(shí)用新型的目的是提供一種真空擴(kuò)散泵，可以克服現(xiàn)有技術(shù)中油的蒸發(fā)效率低的問題，進(jìn)一步的，可以避免油蒸汽的返流，避免泵油劣化和避免電爐內(nèi)的加熱元件故障而導(dǎo)致真空度的變化。本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的:一種真空擴(kuò)散泵，包括泵體，泵體上設(shè)有入口和出口，泵體外壁設(shè)有冷卻夾套，泵體的真空腔內(nèi)設(shè)有多級(jí)噴嘴，蒸發(fā)油腔與多級(jí)噴嘴分別連接，蒸發(fā)油腔下部設(shè)有加熱元件，所述的蒸發(fā)油腔內(nèi)設(shè)有導(dǎo)油盤；所述的導(dǎo)油盤呈倒扣的碗狀，導(dǎo)油盤外緣最寬處覆蓋回油孔的水平面投影位置，最窄處覆蓋所有蒸發(fā)孔的水平面投影位置。所述的蒸發(fā)油腔或加熱元件附近設(shè)有溫度傳感器?？拷皿w的入口處還設(shè)有冷凝柵。泵體的出口處設(shè)有單向蝶閥。所述的多級(jí)噴嘴為三個(gè)。所述的多級(jí)噴嘴同心布置，從內(nèi)層到外層高度逐步降低。本實(shí)用新型提供的一種真空擴(kuò)散泵，通過設(shè)置的導(dǎo)油盤，提高了油的蒸發(fā)效率。通過設(shè)置的冷凝柵，確保油蒸汽在此處被冷凝，不會(huì)產(chǎn)生返流。設(shè)置的溫度傳感器，可以方便地觀察擴(kuò)散泵加熱元件的運(yùn)作情況，及時(shí)對(duì)設(shè)備進(jìn)行修理維護(hù)，從而提高生產(chǎn)效率。設(shè)置的單向蝶閥可以確保本實(shí)用新型在不工作時(shí)，仍保持真空狀態(tài)，以免泵油劣化。
以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明。[0015]


圖1是本實(shí)用新型的整體結(jié)構(gòu)示意圖。圖中:入口 I，冷卻夾套2，一級(jí)噴嘴3，真空腔4，二級(jí)噴嘴5，三級(jí)噴嘴6，出口 7，導(dǎo)油盤8，蒸發(fā)油腔9，加熱元件10，溫度傳感器11，泵體12，冷凝柵13，單向蝶閥14，回油孔15,蒸發(fā)孔16。
具體實(shí)施方式
如
圖1中，一種真空擴(kuò)散泵，包括泵體12，泵體12上設(shè)有入口 I和出口 7，泵體12外壁設(shè)有冷卻夾套2，泵體12的真空腔4內(nèi)設(shè)有多級(jí)噴嘴，蒸發(fā)油腔9與多級(jí)噴嘴分別連接，蒸發(fā)油腔9下部設(shè)有加熱元件10，所述的蒸發(fā)油腔9內(nèi)設(shè)有導(dǎo)油盤8 ;所述的導(dǎo)油盤8呈倒扣的碗狀，導(dǎo)油盤8外緣最寬處覆蓋回油孔15的水平面投影位置，最窄處覆蓋所有蒸發(fā)孔16的水平面投影位置。通過設(shè)置的導(dǎo)油盤，擴(kuò)大了泵油與空氣的接觸面，提高了油的蒸發(fā)效率，且回油順暢，相比未改造前，效率提升15%。所述的蒸發(fā)油腔9或加熱元件10附近設(shè)有溫度傳感器。由此結(jié)構(gòu)，可以方便地觀察擴(kuò)散泵加熱元件的運(yùn)作情況，及時(shí)對(duì)設(shè)備進(jìn)行修理維護(hù)，從而提高生產(chǎn)效率?？拷皿w12的入口 I處還設(shè)有冷凝柵13。由此結(jié)構(gòu)，避免了油蒸汽的返流，提高了效率。泵體12的出口 7處設(shè)有單向蝶閥14。由此結(jié)構(gòu)，當(dāng)本實(shí)用新型不工作時(shí)，高精度的單向蝶閥14即關(guān)閉，真空腔4內(nèi)仍保持真空狀態(tài)，以免泵油劣化。優(yōu)化的方案中，所述的多級(jí)噴嘴為三個(gè)。所述的多級(jí)噴嘴同心布置，從內(nèi)層到外層高度逐步降低。使用時(shí)，泵油被加熱元件10加熱形成油蒸汽，從蒸發(fā)孔16進(jìn)入到各級(jí)噴嘴，當(dāng)油蒸汽從一級(jí)噴嘴3以超音速噴出后，其速度逐漸增大，壓力及密度逐漸降低，入口 I的氣體因密度差要向蒸汽射流中·擴(kuò)散并被射流攜帶到冷卻夾套2的泵體12內(nèi)壁處，在該處，工作蒸汽大部分被冷凝成油滴沿泵體12內(nèi)壁流回到油鍋中循環(huán)使用，而被抽氣體在泵體12內(nèi)壁處堆積、壓縮，最后被二級(jí)噴嘴5和三級(jí)噴嘴6的下級(jí)射流攜帶走，以達(dá)到逐級(jí)壓縮，最后被前級(jí)泵從出口 7抽走。少量的返流油蒸汽在冷凝柵13處被冷凝形成油滴回流。當(dāng)加熱元件異常時(shí)，控制系統(tǒng)或人工即可查看到溫度傳感器11返回的異常信號(hào)，從而及時(shí)處理。當(dāng)本實(shí)用新型停止工作時(shí)，在真空腔4的真空作用下，單向蝶閥14迅速關(guān)閉，此時(shí)再關(guān)閉入口I和出口 7處的閥門，即可確保泵體12內(nèi)的真空度，從而確保泵油的劣化。
權(quán)利要求1.一種真空擴(kuò)散泵，包括泵體(12)，泵體(12)上設(shè)有入口( I)和出口( 7)，泵體(12)外壁設(shè)有冷卻夾套(2)，泵體(12)的真空腔(4)內(nèi)設(shè)有多級(jí)噴嘴，蒸發(fā)油腔(9)與多級(jí)噴嘴分別連接，蒸發(fā)油腔(9)下部設(shè)有加熱元件(10)，其特征是:所述的蒸發(fā)油腔(9)內(nèi)設(shè)有導(dǎo)油盤(8);所述的導(dǎo)油盤(8)呈倒扣的碗狀，導(dǎo)油盤(8)外緣最寬處覆蓋回油孔(15)的水平面投影位置，最窄處覆蓋所有蒸發(fā)孔(16)的水平面投影位置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空擴(kuò)散泵，其特征是:所述的蒸發(fā)油腔(9)或加熱元件(10)附近設(shè)有溫度傳感器。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空擴(kuò)散泵，其特征是:靠近泵體(12)的入口(I)處還設(shè)有冷凝柵(13)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空擴(kuò)散泵，其特征是:泵體(12)的出口(7)處設(shè)有單向蝶閥(14)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空擴(kuò)散泵，其特征是:所述的多級(jí)噴嘴為三個(gè)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空擴(kuò)散泵，其特征是:所述的多級(jí)噴嘴同心布置，從內(nèi)層到外層高度逐 步降低。
專利摘要一種真空擴(kuò)散泵，包括泵體，泵體上設(shè)有入口和出口，泵體外壁設(shè)有冷卻夾套，泵體的真空腔內(nèi)設(shè)有多級(jí)噴嘴，蒸發(fā)油腔與多級(jí)噴嘴分別連接，蒸發(fā)油腔下部設(shè)有加熱元件，所述的蒸發(fā)油腔內(nèi)設(shè)有導(dǎo)油盤；所述的導(dǎo)油盤呈倒扣的碗狀，導(dǎo)油盤外緣最寬處覆蓋回油孔的水平面投影位置，最窄處覆蓋所有蒸發(fā)孔的水平面投影位置。所述的蒸發(fā)油腔或加熱元件附近設(shè)有溫度傳感器。本實(shí)用新型通過設(shè)置的導(dǎo)油盤，提高了油的蒸發(fā)效率。通過設(shè)置的冷凝柵，確保油蒸汽在此處被冷凝，不會(huì)產(chǎn)生返流。設(shè)置的溫度傳感器，可以方便地觀察擴(kuò)散泵加熱元件的運(yùn)作情況，及時(shí)對(duì)設(shè)備進(jìn)行修理維護(hù)，從而提高生產(chǎn)效率。
文檔編號(hào)F04F9/02GK203114757SQ201320055749
公開日2013年8月7日 申請(qǐng)日期2013年2月1日 優(yōu)先權(quán)日2013年2月1日
發(fā)明者謝長明, 高登華, 謝云 申請(qǐng)人:湖北東田光電材料科技有限公司