技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
MEMS器件(40)具有經(jīng)由被配置為支持平臺關(guān)于第一軸線(A)的旋轉(zhuǎn)的彈性連接元件(46)由框架(48)承載的平臺(45)。承載結(jié)構(gòu)(41)通過被配置為支持框架(48)關(guān)于橫向于第一軸線(A)的第二軸線(B)的旋轉(zhuǎn)的第一和第二彈性懸掛臂來支撐框架(48)。彈性懸掛臂(49)通過被布置成關(guān)于第二軸線(B)偏移的相應錨固部分(50)而被錨固到承載結(jié)構(gòu)(41)。應力傳感器(51、52)由第一和第二傳感器元件(51、52)形成，其相應地被布置在關(guān)于第一軸線(A)對稱位置中的第二軸線(B)的相同側(cè)上的錨固部分附近的第一和第二懸掛臂(49)上。

技術(shù)研發(fā)人員：M·默利;R·卡爾米納蒂;M·羅西
受保護的技術(shù)使用者：意法半導體股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2016.09.30
技術(shù)公布日：2017.10.20