技術(shù)編號：11765059
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種關(guān)于兩個軸線的振蕩并且具有位置檢測系統(tǒng)的MEMS(微電子機(jī)械系統(tǒng))器件，特別地是壓阻型的。特別地，MEMS器件形成微鏡。背景技術(shù)已知微機(jī)械器件具有使用半導(dǎo)體技術(shù)而制造的微鏡結(jié)構(gòu)。這些微機(jī)械器件被使用在便攜式裝置中用于光學(xué)應(yīng)用，特別地用于引導(dǎo)由具有期望形態(tài)的光源所生成的光輻射束，便攜式裝置諸如例如便攜式計算機(jī)、膝上型計算機(jī)、筆記本計算機(jī)(包括超薄筆記本計算機(jī))、PDA、平板計算機(jī)和智能電話。借助于其小尺寸，這些器件可以滿足關(guān)于體積的嚴(yán)格要求，包括面積和厚度二者。例如，微機(jī)械鏡器件被用...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。