本發(fā)明涉及包括凸點下金屬化層(UBM)的微機電系統(tǒng)（MEMS）器件。UBM用于經(jīng)由與基板的倒裝式接合來接觸該器件。

背景技術：
在倒裝式接合中，MEMS器件經(jīng)由焊料凸點與基板接觸。UBM為MEMS器件上的頂部金屬層，其與焊料凸點形成機械和電氣穩(wěn)定的接合。用于倒裝式接合的標準UBM的面積為圓形的。由于凸點放置方面的切割限制，使得這些UBM顯著地減小了可用于MEMS器件的有源面積。由于MEMS器件通常為易碎的結(jié)構(gòu)，所以使用激光切割來將這樣的器件與用來生產(chǎn)這些器件的晶片分離是有利的。但是，激光束的光學性質(zhì)在切割道周圍要求相當大的金屬空隙。粗略而言，在兩個相鄰MEMS器件的UBM襯墊之間要求硅晶片厚度40%的金屬空隙。因此，在UBM襯墊與MEMS器件的邊緣之間要求硅晶片厚度的約20%的空隙。如果MEMS器件為麥克風，那么通常在該器件的表面上放置膜。膜放置在背板正上方，其中膜和背板為電容器的兩個電極。對于膜應該保留盡可能大的表面積，以便改進MEMS麥克風的性能。但是，對于UBM要求一定面積，以獲得機械穩(wěn)定并且可靠的接合。

技術實現(xiàn)要素：
本發(fā)明的目的在于提供一種具有UBM的MEMS器件，其允許更高效地使用MEMS器件的表面空間。根據(jù)權利要求1的MEMS器件提供用于該目的的解決方案。從屬權利要求公開了本發(fā)明的有利實施例。根據(jù)本發(fā)明的MEMS器件包括UBM，以經(jīng)由與基板的倒裝式接合來接觸該器件。UBM放置在MEMS器件的表面上并且靠近表面的角部。UBM的形狀適應于角部的形狀。因此沒有表面空間被浪費。適應于角部的形狀應被理解為不同于圓形的形狀。最優(yōu)選的為具有沿著圓的切線的兩個邊緣的形狀，該切線平行于形成角部的表面邊緣延伸。但允許在虛擬圓形UBM與如上文所限定的最優(yōu)選形狀之間的覆蓋一定量的表面積的所有形狀。由此，所適應的UBM的中心靠近角部轉(zhuǎn)移，并且保存了與距角部最遠的UBM鄰接的一些表面積，而不會使UBM面積相對于圓形形狀的參考UBM減小。由于MEMS器件通常為易碎的結(jié)構(gòu)，所以使用激光切割來將這樣的器件與用來生產(chǎn)這樣的器件的晶片分離是有利的。但是，激光束的光學性質(zhì)在切割道周圍要求相當大的金屬空隙。該空隙限定了UBM與切割道之間的最小距離。但是，使UBM的形狀適應于器件的角部的形狀對于使用其它切割方法也是有利的。MEMS器件的表面可以包括有源區(qū)域。UBM的形狀可以進一步不僅適應于角部形狀，而且也適應于有源區(qū)域的形狀。在一個實施例中，有源區(qū)域包括放置在MEMS麥克風表面上并且在對電極正上方的膜。通常，MEMS器件當與晶片分離時，其表面為矩形形狀的。因此，UBM為近似三角形形狀的，以便裝配到矩形表面的角部中。近似三角形形狀的UBM的具體實施例為具有帶倒圓角部的三角形形狀的UBM或者具有等腰三角形形狀的UBM。優(yōu)選地，如果在該器件的表面上放置另外的元件，則UBM的一個邊為凹入的。具有一個凹入邊的UBM在該器件的中部留出更多的空間，用于另外的元件。UBM可以遵循MEMS器件的有源部分的形狀，并且具有最小允許設計距離。UBM設置在MEMS器件的表面上，以允許經(jīng)由與基板的倒裝式接合來接觸MEMS器件。通常，在UBM下方放置另一金屬層和/或傳導層。傳導層可以包括高摻雜多晶硅層。術語“UBM襯墊”指所有金屬層，即UBM和底層金屬層，加上其它傳導層。UBM襯墊的所有層如果太靠近切割線布置，則能夠在切割期間阻擋激光束。因此，關于UBM的相同的限制對于UBM襯墊也是有效的。特別在UBM襯墊與MEMS器件的邊緣之間要求硅晶片厚度的約20%的空隙。UBM襯墊可以具有與UBM相同的形狀或者可以與UBM重疊。UBM襯墊通?？拷麺EMS器件的角部放置在基板上。優(yōu)選地，UBM襯墊的形狀適應于器件的角部形狀。另外，UBM襯墊的形狀可以不僅適應于角部的形狀，而且也適應于有源區(qū)域的形狀。因此，UBM襯墊可以為近似三角形形狀和/或可以包括一個凹入邊。MEMS器件可以包括分別四個UBM和四個UBM襯墊，并且這些UBM或UBM襯墊之一各放置在器件的每個角部。這些UBM中的每個可以適應于相應角部。但是，也可以是具有其它數(shù)量的UBM的MEMS器件。附圖說明將參考附圖進一步描述本發(fā)明。圖1表示MEMS麥克風的剖面，其中如現(xiàn)有技術中已知的那樣在角部放置有圓形UBM。圖2表示根據(jù)本發(fā)明的包括UBM的MEMS麥克風的剖面。圖3表示根據(jù)本發(fā)明的第二實施例的包括UBM的MEMS麥克風的剖面。具體實施方式圖1表示如現(xiàn)有技術中已知的MEMS麥克風的剖面。MEMS麥克風的表面包括有源部分1和圓形UBM2。有源部分包括膜。膜放置在背板正上方。背板和膜為兩個電極并且形成電容器。通過監(jiān)視電容器的電容，該器件檢測聲波并且可以用作麥克風。而且有源部分1可以包括在圖1中未示出的另外的元件。由于切割限制，所以UBM2需要具有距表面的邊緣3的最小距離a。另外，UBN2需要具有距有源部分1的最小距離b。UBM2由于其圓形形狀，而占據(jù)MEMS麥克風模具的相對較大的面積。由于圓形UBM2的形狀并未根據(jù)有源部分1的形狀或者角部的形狀調(diào)整，所以浪費了大量表面空間而不得不將大量表面空間留下為空的。圖2表示MEMS麥克風的表面的剖面，其中UBM4具有根據(jù)角部和有源部分1的形狀調(diào)整的形狀。因此，UBM4為近似三角形。已知UBM2的虛擬圓形區(qū)域描繪為虛線僅用于參考。從圖2可以看出在仍然提供有源部分1與UBM4之間的最小距離b和UBM4與鄰接角部的邊緣3之間的最小距離a的同時，能夠增加有源部分1的大小。MEMS麥克風由模具制成。根據(jù)模具的形狀來調(diào)整UBM4的形狀。通常模具為矩形形狀。因此，UBM4可以為三角形形狀，使得根據(jù)模具的角部來調(diào)整UBM4。如圖2所示的UBM4占據(jù)與虛擬圓形UBM2(其與圖1所示的UBM2相同)相同的面積或者可以甚至更大。因此，接合與圓形UBM2同樣穩(wěn)定。另外，圖3表示UBM4的第二實施例。此處，UBM4具有不僅根據(jù)角部調(diào)整而且還根據(jù)有源部分1的形狀調(diào)整的形狀。因此，UBM4的形狀為凹入的，使得有源部分1和UBM4幾乎彼此平行，并且沿著點P1與P2之間的虛線具有恒定的距離b。在P1與P2之間，UBM4遵循MEMS器件的有源部分1的形狀，并且具有最小允許設計距離b。在圖1至圖3中未示出UBM襯墊的其它層。總之，UBM襯墊包括UBM2、4、至少一個底層金屬層和/或至少一個傳導層。UBM襯墊可以具有與UBM2、4相同的形狀或者可以與UBM2、4重疊。根據(jù)本發(fā)明的UBM4或者UBM襯墊允許將更多的有源表面積用于MEMS麥克風，同時提供與基板的穩(wěn)定接合。因此，根據(jù)本發(fā)明的UBM4或者UBM襯墊產(chǎn)生麥克風的更好的電聲性能。