1.一種三齒輪氣動(dòng)馬達(dá)，其特征在于，包括殼體(1)，所述殼體(1)圍成齒輪腔(2)、第一上腔室(24)、第一下腔室(25)、第二上腔室(26)、第二下腔室(27)和排氣腔(4)，
所述齒輪腔(2)包括依次連通的第一齒輪腔(21)、第二齒輪腔(22)和第三齒輪腔(23)，所述第二齒輪腔(22)內(nèi)設(shè)置有主齒輪(3)，所述第一齒輪腔(21)和所述第三齒輪腔(23)內(nèi)均設(shè)置有與所述主齒輪(3)嚙合的副齒輪(5)，
所述第一齒輪腔(21)與所述第二齒輪腔(22)頂部連接端與所述第一上腔室(24)連通，底部連接端與所述第一下腔室(25)連通，
所述第二齒輪腔(22)和所述第三齒輪腔(23)頂部連接端與所述第二上腔室(26)連通，底部連接端與所述第二下腔室(27)連通，
所述第一齒輪腔(21)和所述第三齒輪腔(23)還分別與兩個(gè)所述排氣腔(4)連通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種三齒輪氣動(dòng)馬達(dá)，其特征在于，所述排氣腔(4)包括分別與所述第一齒輪腔(21)和所述第三齒輪腔(23)連通且容積不同的第一排氣腔(41)和第二排氣腔(42)，
所述第一排氣腔(41)與所述殼體(1)上的進(jìn)氣口(7)連通。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種三齒輪氣動(dòng)馬達(dá)，其特征在于，所述第一上腔室(24)、所述第一下腔室(25)、所述第二上腔室(26)和所述第二下腔室(27)均依次通過換向閥與所述進(jìn)氣口(7)連通。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種三齒輪氣動(dòng)馬達(dá)，其特征在于，所述第一排氣腔(41)和所述第二排氣腔(42)的容積比為1:1.01～3.5。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種三齒輪氣動(dòng)馬達(dá)，其特征在于，所述第一排氣腔(41)和所述第二排氣腔(42)均與消音器(6)連通。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種三齒輪氣動(dòng)馬達(dá)，其特征在于，所述消音器(6)包括消音殼(61)，所述消音殼(61)內(nèi)包括緩沖室(62)、一次消音室(63) 和二次消音室(64)，所述緩沖室(62)為兩個(gè)，對(duì)稱設(shè)置在所述一次消音室(63)兩側(cè)，且兩個(gè)所述緩沖室(62)分別與所述第一排氣腔(41)、所述第二排氣腔(42)連通，
所述緩沖室(62)和所述一次消音室(63)之間、所述一次消音室(63)和所述二次消音室(64)之間均設(shè)置有消音網(wǎng)板(65)，所述二次消音室(64)與吸波管(66)連通，所述二次消音室(64)設(shè)置在所述一次消音室(63)上方。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種三齒輪氣動(dòng)馬達(dá)，其特征在于，三個(gè)所述消音網(wǎng)板(65)依次連接圍成消音網(wǎng)框，所述消音網(wǎng)框?yàn)橐惑w成型。
8.根據(jù)權(quán)利要求1～7任一項(xiàng)所述的一種三齒輪氣動(dòng)馬達(dá)，其特征在于，所述第一上腔室(24)與所述第一下腔室(25)、所述第二上腔室(26)與所述第二下腔室(27)分別呈斜角設(shè)置。