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一種硅片切割用易分解型切削液的制備方法與流程

文檔序號(hào):12743486閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
一種硅片切割用易分解型切削液,涉及硅材料加工技術(shù)領(lǐng)域,由以下重量份的原料制成:石蠟基油60?80份、八角油6?8份、桉樹油3?5份、硝酸鉀5?7份、硝酸鈉2?4份、三乙醇胺1?3份、甘油2?4份、聚乙二醇1?3份、蓖麻油酸1?3份、十二烷酸2?4份、表面活性劑2?4份、氫氧化鈉1?3份、硅酸鈉2?4份、鏈烷醇酰胺2?4份、硼酸脂2?4份、二氯甲烷6?8份、三氯乙烯5?7份、硅粉組合物8?10份。本發(fā)明的有益效果是:本發(fā)明選用的原料均為廉價(jià)易得的產(chǎn)品,制備出的切削廢液,顏色透明,不遮擋切割視線,內(nèi)部本身含有的分解組分,可以對(duì)切削液進(jìn)行預(yù)先分解,不會(huì)強(qiáng)力的附著于硅片表面,解決的切削廢液附著力強(qiáng)的問題,便于后續(xù)硅片的清洗,同時(shí)環(huán)保健康,便于推廣及使用。

技術(shù)研發(fā)人員:呂鳳崗;程林;曹來福;戴珍旭;胡正田
受保護(hù)的技術(shù)使用者:安徽正田能源科技有限公司
文檔號(hào)碼:201610714957
技術(shù)研發(fā)日:2016.08.24
技術(shù)公布日:2017.01.25

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