本發(fā)明涉及硅材料加工技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種硅片切割用易分解型切削液的制備方法。
背景技術(shù)：
硅材料，是重要的半導(dǎo)體材料，化學(xué)元素符號(hào)Si，電子工業(yè)上使用的硅應(yīng)具有高純度和優(yōu)良的電學(xué)和機(jī)械等性能，硅是產(chǎn)量最大、應(yīng)用最廣的半導(dǎo)體材料，它的產(chǎn)量和用量標(biāo)志著一個(gè)國(guó)家的電子工業(yè)水平，單晶硅在太陽(yáng)能電池中的應(yīng)用，高純的單晶硅是重要的半導(dǎo)體材料。在光伏技術(shù)和微小型半導(dǎo)體逆變器技術(shù)飛速發(fā)展的今天，利用硅單晶所生產(chǎn)的太陽(yáng)能電池可以直接把太陽(yáng)能轉(zhuǎn)化為光能，實(shí)現(xiàn)了邁向綠色能源革命的開(kāi)始。
硅片是硅材料存在的一種物理形式，在正常的應(yīng)用中，硅片，是制作集成電路的重要材料，通過(guò)對(duì)硅片進(jìn)行光刻、離子注入等手段，可以制成各種半導(dǎo)體器件。用硅片制成的芯片有著驚人的運(yùn)算能力，科學(xué)技術(shù)的發(fā)展不斷推動(dòng)著半導(dǎo)體的發(fā)展，自動(dòng)化和計(jì)算機(jī)等技術(shù)發(fā)展，使硅片這種高技術(shù)產(chǎn)品的造價(jià)已降到十分低廉的程度，然而硅片在加工時(shí)，不同的工藝節(jié)點(diǎn)都會(huì)使得硅片加工出現(xiàn)瑕疵。
硅片加工時(shí)，是通過(guò)相應(yīng)的硅碇進(jìn)行切割成的片狀物品，這種硅碇通常在切割時(shí)，為了保證其相應(yīng)的切割精度及平整度，通常都需要使用一些潤(rùn)滑類的添加劑，保證其精度，但是實(shí)際在使用中，大多數(shù)都是采用普通的切削液進(jìn)行替代，這種普通切削液在使用時(shí)，由于其難容化工原料的存在，造成后續(xù)精加工清洗相對(duì)困難，對(duì)硅片的本身性質(zhì)有一定的影響，使用并不合理。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
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本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題在于提供一種原料易得，配方合理精確，使用效果好的硅片切割用易分解型切削液的制備方法。
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題采用以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)：
一種硅片切割用易分解型切削液，其特征在于，由以下原料制成：
石蠟基油60-80份、八角油6-8份、桉樹油3-5份、硝酸鉀5-7份、硝酸鈉2-4份、三乙醇胺1-3份、甘油2-4份、聚乙二醇1-3份、蓖麻油酸1-3份、十二烷酸2-4份、表面活性劑2-4份、氫氧化鈉1-3份、硅酸鈉2-4份、鏈烷醇酰胺2-4份、硼酸脂2-4份、二氯甲烷6-8份、三氯乙烯5-7份、硅粉組合物8-10份。
各原料的優(yōu)選分離為：石蠟基油70份、八角油7份、桉樹油4份、硝酸鉀6份、硝酸鈉3份、三乙醇胺2份、甘油3份、聚乙二醇2份、蓖麻油酸2份、十二烷酸3份、表面活性劑3份、氫氧化鈉2份、硅酸鈉3份、鏈烷醇酰胺3份、硼酸脂3份、二氯甲烷7份、三氯乙烯6份、硅粉組合物9份。
所述的的硅粉組合物石油焦6g、硅石粉15g、氯化鈉1g、白炭黑6g和硅藻土6g進(jìn)行150-170℃的高溫條件下，研磨混合后，得到的顆粒細(xì)度為5-7um的顆?；旌衔?，冷卻后出料包裝得到。
本發(fā)明的另一目的是制備本發(fā)明中硅片切割用易分解型切削液的方法，其特征在于，包括以下步驟：
1)取硝酸鉀、硝酸鈉、三乙醇胺、甘油和聚乙二醇放入反應(yīng)釜中，升溫至65-70℃，然后將石蠟基油、八角油和桉樹油加入其中，攪拌2-3h后，冷卻后，出料備用；
2)將原料中的蓖麻油酸、十二烷酸、表面活性劑、氫氧化鈉、硅酸鈉、鏈烷醇酰胺、硼酸脂和二氯甲烷預(yù)混合后，進(jìn)行常溫?cái)嚢韬?，得到輔助液，備用；
3)取一攪拌罐，將原料中的二氯甲烷和三氯乙烯加入其中，然后升溫至35-45℃，攪拌1-2h后，將步驟2中的原料加入其中，升溫至60-80℃，繼續(xù)攪拌30-40min后，降溫至20-25℃，將步驟1中的物料加入其中，再次持續(xù)攪拌3-5h后，出料；
4)將原料中的硅粉組合物混合于步驟3中的物料中，充分?jǐn)嚢柚敝辆鶆蚝?，即可得到，其外觀為透明溶液，無(wú)異味，密度為(20℃)kg/m3：1050-1080，PH值為9-10。
本發(fā)明的有益效果是：本發(fā)明配方選取科學(xué)合理，選用的原料均為廉價(jià)易得的產(chǎn)品，制備出的切削廢液，顏色透明，不遮擋切割視線，內(nèi)部本身含有的分解組分，可以對(duì)切削液進(jìn)行預(yù)先分解，不會(huì)強(qiáng)力的附著于硅片表面，解決的切削廢液附著力強(qiáng)的問(wèn)題，便于后續(xù)硅片的清洗，同時(shí)環(huán)保健康，便于推廣及使用。
具體實(shí)施方式
為了使本發(fā)明實(shí)現(xiàn)的技術(shù)手段、創(chuàng)作特征、達(dá)成目的與功效易于明白了解，下面結(jié)合具體實(shí)施例，進(jìn)一步闡述本發(fā)明。
實(shí)施例1
稱?。菏灮?0kg、八角油6kg、桉樹油3kg、硝酸鉀5kg、硝酸鈉2kg、三乙醇胺1kg、甘油2kg、聚乙二醇1kg、蓖麻油酸1kg、十二烷酸2kg、表面活性劑2kg、氫氧化鈉1kg、硅酸鈉2kg、鏈烷醇酰胺2kg、硼酸脂2kg、二氯甲烷6kg、三氯乙烯5kg、硅粉組合物8kg；
實(shí)施例2
稱?。菏灮?0kg、八角油7kg、桉樹油4kg、硝酸鉀6kg、硝酸鈉3kg、三乙醇胺2kg、甘油3kg、聚乙二醇2kg、蓖麻油酸2kg、十二烷酸3kg、表面活性劑3kg、氫氧化鈉2kg、硅酸鈉3kg、鏈烷醇酰胺3kg、硼酸脂3kg、二氯甲烷7kg、三氯乙烯6kg、硅粉組合物9kg；
制備上述實(shí)施例1或2的方法為：
1)取硝酸鉀、硝酸鈉、三乙醇胺、甘油和聚乙二醇放入反應(yīng)釜中，升溫至65-70℃，然后將石蠟基油、八角油和桉樹油加入其中，攪拌2-3h后，冷卻后，出料備用；
2)將原料中的蓖麻油酸、十二烷酸、表面活性劑、氫氧化鈉、硅酸鈉、鏈烷醇酰胺、硼酸脂和二氯甲烷預(yù)混合后，進(jìn)行常溫?cái)嚢韬?，得到輔助液，備用；
3)取一攪拌罐，將原料中的二氯甲烷和三氯乙烯加入其中，然后升溫至35-45℃，攪拌1-2h后，將步驟2中的原料加入其中，升溫至60-80℃，繼續(xù)攪拌30-40min后，降溫至20-25℃，將步驟1中的物料加入其中，再次持續(xù)攪拌3-5h后，出料；
4)將原料中的硅粉組合物混合于步驟3中的物料中，充分?jǐn)嚢柚敝辆鶆蚝?，即可得到，其外觀為透明溶液，無(wú)異味，密度為(20℃)kg/m3：1050-1080，PH值為9-10。
以上顯示和描述了本發(fā)明的基本原理和主要特征和本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本發(fā)明不受上述實(shí)施例的限制，上述實(shí)施例和說(shuō)明書中描述的只是說(shuō)明本發(fā)明的原理，在不脫離本發(fā)明精神和范圍的前提下，本發(fā)明還會(huì)有各種變化和改進(jìn)，這些變化和改進(jìn)都落入要求保護(hù)的本發(fā)明范圍內(nèi)。本發(fā)明要求保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書及其等效物界定。