技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種通過攝像頭挑選不合格晶粒的儀器，包括主工作臺和副工作臺；主工作臺可沿橫向軌道左右移動；副工作臺下方固定有縱向軌道；縱向軌道可沿所述主工作臺上的軌道凹槽前后移動；所述主工作臺上設置有晶圓固定槽；還包括縱向支架；所述縱向支架上固定有垂直于所述縱向支架的橫向支架；所述橫向支架安裝有可上下移動的抓手部件；所述抓手部件的正下方設置有一攝像頭；所述抓手部件的下方側(cè)壁上固定有抓手。本發(fā)明公開了一種挑選不合格晶粒的儀器，可通過攝像頭，對晶圓上的每一個晶粒進行拍攝，當捕捉到有墨點的晶粒之后，就控制抓手部件，將不合格晶粒挑選出來。本發(fā)明原理簡單，挑選精確度高，可增加挑選速度，增加晶粒良率。

技術(shù)研發(fā)人員：呂耀安
受保護的技術(shù)使用者：無錫宏納科技有限公司
文檔號碼：201610555745
技術(shù)研發(fā)日：2016.07.14
技術(shù)公布日：2017.01.04