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通過攝像頭挑選不合格晶粒的儀器的制作方法

文檔序號:12328458閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種通過攝像頭挑選不合格晶粒的儀器,其特征在于:包括主工作臺(2)和副工作臺(4);所述主工作臺(2)可沿橫向軌道(1)左右移動;所述副工作臺(4)下方固定有縱向軌道(2);所述縱向軌道(2)可沿所述主工作臺(2)上的軌道凹槽前后移動;所述主工作臺(2)上設(shè)置有晶圓固定槽(5);還包括縱向支架(6);所述縱向支架(6)上固定有垂直于所述縱向支架(6)的橫向支架(7);所述橫向支架(7)安裝有可上下移動的抓手部件(8);所述抓手部件(8)的正下方設(shè)置有一攝像頭(10);所述抓手部件(8)的下方側(cè)壁上固定有抓手(9)。

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