涂敷裝置及其改良方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及涂敷裝置及其改良方法，該涂敷裝置具備涂敷對象物的移送功能，能夠使設(shè)備節(jié)約空間化，并且即便因設(shè)備的布局變更等進(jìn)行移動設(shè)置時，也不會招致成本提聞。
【背景技術(shù)】
[0002]作為使涂敷涂敷液的噴嘴與涂敷對象物相對地移動且向涂敷對象物涂敷涂敷液的涂敷裝置，例如，已知有專利文獻(xiàn)1。在專利文獻(xiàn)1的“涂敷裝置及涂敷方法、以及濾色器制造裝置及制造方法”的涂敷方法中，通過一邊使具有噴出涂敷液的噴出口的涂敷器向保持在工作臺上的基板的涂敷位置移動，一邊從該涂敷器噴出涂敷液，從而在基板表面上形成涂膜，所述工作臺能夠不重疊地保持多個基板，在向載置于該工作臺上的任意基板保持位置的基板形成涂膜期間，在其他的基板保持位置處進(jìn)行基板的排出和/或基板的載置。
[0003]尤其是，向工作臺搬入基板且從工作臺搬出基板的移動載置裝置(機器人)相對于設(shè)置有工作臺的基底，設(shè)置在基板搬運方向上游側(cè)以及下游側(cè)。
[0004]專利文獻(xiàn)1:日本特開2002-102771號公報
[0005]在【背景技術(shù)】中，涂敷裝置與進(jìn)行基板的搬入搬出的機器人等移動載置裝置獨立設(shè)置。因此，需要能夠設(shè)置涂敷裝置以及移動載置裝置這兩者的寬敞空間。另外，在進(jìn)行設(shè)備的布局變更、設(shè)備的轉(zhuǎn)移等時，出于工廠等的空間狹小等理由，有可能無法將涂敷裝置與移動載置裝置設(shè)置到期望的位置，在無法使用既有的移動載置裝置來對涂敷裝置進(jìn)行基板的搬入搬出的情況下，必須重新購入或制作移動載置裝置，因此存在有成本提高這樣的課題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]【發(fā)明要解決的課題】
[0007]本發(fā)明是鑒于上述以往的課題而作出的，其目的在于提供一種涂敷裝置及其改良方法，該涂敷裝置具備涂敷對象物的移送功能，能夠使設(shè)備節(jié)約空間化，并且在因設(shè)備的布局變更等進(jìn)行移動設(shè)置時，也不會招致成本提高。
[0008]【用于解決課題的方案】
[0009]在本發(fā)明的涂敷裝置中，具有噴出涂敷液的噴嘴的噴嘴單元與載置于工作臺的涂敷對象物相對移動，向涂敷對象物涂敷從該噴嘴噴出的涂敷液，所述涂敷裝置的特征在于，支承涂敷對象物且將其向所述工作臺移送的支承臂設(shè)于所述噴嘴單元。
[0010]本發(fā)明的特征在于，所述工作臺具備支承涂敷對象物且能夠升降的頂桿，所述支承臂進(jìn)入到處于借助所述頂桿而上升后的狀態(tài)的涂敷對象物的下方，通過該頂桿下降，所述支承臂對涂敷對象物進(jìn)行支承，所述頂桿通過上升而抬起支承于所述支承臂的狀態(tài)下的涂敷對象物并對其進(jìn)行支承。
[0011]本發(fā)明的特征在于，所述支承臂以上下方向的軸為中心，在能夠?qū)χС杏谒鲰敆U的涂敷對象物進(jìn)行支承的支承位置和從支承于該頂桿的涂敷對象物退避的退避位置之間沿水平方向回旋。
[0012]本發(fā)明的涂敷裝置的改良方法的特征在于，包含如下工序而對既有的涂敷裝置進(jìn)行改良，在所述工序中，在具有噴出涂敷液的噴嘴的噴嘴單元與載置于工作臺的涂敷對象物相對移動、向涂敷對象物涂敷從該噴嘴噴出的涂敷液的既有的涂敷裝置的該噴嘴單元中，附加支承涂敷對象物且將其向所述工作臺移送的支承臂。
[0013]【發(fā)明效果】
[0014]在本發(fā)明的涂敷裝置及其改良方法中，具備涂敷對象物的移送功能，能夠使設(shè)備節(jié)約空間化，并且在因設(shè)備的布局變更等進(jìn)行移動設(shè)置時，也能夠防止成本提高。
【附圖說明】
[0015]圖1是表示本發(fā)明的涂敷裝置及其改良方法的一優(yōu)選實施方式的立體圖。
[0016]圖2是圖1所示的涂敷裝置所采用的臂主體的主要部分放大立體圖。
[0017]圖3是表示圖1所示的涂敷裝置的動作的前半部分的圖，圖3(a)?⑴是從正面?zhèn)扔^察到的從第1動作到第9動作的示意圖。
[0018]圖4是表示圖1所示的涂敷裝置的動作的后半部分的圖，圖4(j)?(r)是從正面?zhèn)扔^察到的從第10動作到第18動作的示意圖。
[0019]圖5是表示圖1所示的涂敷裝置的動作的圖，圖5(a)?(e)是分別表示圖3中的A向視、B向視、C向視、D向視、以及E向視的圖。
[0020]圖6是與圖1所示的涂敷裝置所采用的臂單元進(jìn)行對比地示出變形例的臂單元的圖，圖6(a)是表示圖1的實施方式的臂單元的動作的俯視圖，圖6(b)是表示變形例的臂單元的動作的俯視圖，圖6(c)是表示其他變形例的臂單元的動作的俯視圖。
[0021]符號說明
[0022]1涂敷裝置
[0023]2 基臺
[0024]3 基板
[0025]3a 涂膜
[0026]4工作臺
[0027]4a貫通孔
[0028]4b 頂桿
[0029]5 導(dǎo)軌
[0030]6 移動體
[0031]7 噴嘴
[0032]8移動柱體
[0033]9連結(jié)梁體
[0034]10支承臂
[0035]10a基端部
[0036]10b 臂主體
[0037]10c 突起
[0038]10d 臺階
[0039]11臂單元
[0040]12基底
[0041]13馬達(dá)
[0042]13a驅(qū)動軸
[0043]14外部搬運裝置
[0044]14a搬運帶
[0045]14b外部頂桿
【具體實施方式】
[0046]以下，參照附圖對本發(fā)明所涉及的涂敷裝置及其改良方法的一優(yōu)選實施方式進(jìn)行詳細(xì)說明。圖1是表示本實施方式的涂敷裝置(例如稱為工作臺涂敷機(日本注冊商標(biāo))等)的立體圖。
[0047]本實施方式的涂敷裝置1大體上是使具有噴出涂敷液的噴嘴7的噴嘴單元與載置于工作臺4的作為涂敷對象物的基板3相對移動、將從噴嘴7噴出的涂敷液涂敷到基板3上的涂敷裝置1，在將基板3從涂敷裝置1外部搬運至工作臺4附近的外部搬運裝置14 (圖示于圖3以及圖4中)與工作臺4之間支承并移送基板3的支承臂10設(shè)于噴嘴單元。
[0048]外部搬運裝置14具備對搬運到規(guī)定位置的基板3進(jìn)行支承且能夠升降的外部頂桿14b，工作臺4具備對基板3進(jìn)行支承且能夠升降的頂桿4b，支承臂10進(jìn)入到借助外部頂桿14b以及頂桿4b中的任一方而處于上升后的狀態(tài)的基板3的下方，通過使外部頂桿14b以及頂桿4b中的任一方下降而支承基板3，通過使外部頂桿14b以及頂桿4b中的任一方上升，而抬起處于被支承臂10支承的狀態(tài)的基板3并對其進(jìn)行支承。
[0049]通過相對于載置于工作臺4的基板3而移動噴嘴單元，進(jìn)行噴嘴單元與基板3的相對移動。支承臂10以上下方向的軸為中心，在能夠?qū)χС杏谕獠宽敆U14b以及頂桿4b中的任一方的基板3進(jìn)行支承的支承位置與從支承于外部頂桿14b以及頂桿4b中的任一方的基板3退避的退避位置之間沿水平方向回轉(zhuǎn)。
[0050]本實施方式的涂敷裝置1例如具備:設(shè)置在基臺2上的、供作為涂敷液的涂敷對象物的呈板狀的基板3載置的俯視呈長方形的工作臺4 ;設(shè)置在基臺2上的、沿著工作臺4的一對平行邊緣設(shè)置的一對導(dǎo)軌5 ;能夠沿著一對導(dǎo)軌5移動的移動體6 ;以及設(shè)于移動體6的、能夠噴出向基板3涂敷的涂敷液的噴嘴7?；?形成為面積比工作臺4小的長方形，在載置于工作臺4上時，基板3的整體配置在工作臺4上。
[0051]工作臺4具有比基板3大的面積，上表面形成為高精度的水平面。在工作臺4上，相互隔著規(guī)定間隔地設(shè)有多個沿上下方向貫通的貫通孔4a。能夠升降的頂桿4b以出入的方式分別設(shè)置在貫通孔4a中。頂桿4b由上端支承基板3。因此，基板3被頂桿4b支承，能夠在工作臺4的上方沿上下方向移動，通過頂桿4b的上端沒入到比工作臺4的上表面靠下方的位置而被載置在工作臺4上。
[0052]一對導(dǎo)軌5夾著工作臺4平行地配置在基臺2上。導(dǎo)軌5被設(shè)置為比長方形的工作臺4的長邊長。
[0053]移動體6由移動自如地設(shè)置在各導(dǎo)軌5上的兩個移動柱體8以及架設(shè)于兩個移動柱體8且連結(jié)移動柱體8的上端部彼此的連結(jié)梁體9構(gòu)成。在移動體的連結(jié)梁體9設(shè)有兩個臂單元11，該臂單元11具有對基板3進(jìn)行支承且將其從外部搬運裝置14向工作臺4移送、或者從工作臺4向外部搬運裝置14移送的支承臂10。
[0054]連結(jié)梁體9沿著與沿著導(dǎo)軌5的方向(以下，稱為相對移動方向)正交的方向(以下，稱為寬度方向)架設(shè)于兩個移動柱體8。當(dāng)移動體6沿著導(dǎo)軌5進(jìn)行移動時，連結(jié)梁體9與工作臺4的上表面隔開間隔地在工作臺4上方進(jìn)行移動。
[0055]對于兩個臂單元11，在連結(jié)梁體9的從工作臺4的寬度方向的中央向?qū)挾确较蚍珠_的各位置處分別固定并設(shè)置有一個臂單元11。兩個臂單元11的各支承臂10配置為從寬度方向兩側(cè)夾持基板3，后述的突起10c進(jìn)入到基板3之下而支承基板3。因此，支承臂10在支承基板3時配置為與導(dǎo)軌5的長度方向平行且相互面對。另外，相互面對時的兩個支承臂10的間隔配置為與基板3的寬度幾乎相等，使得任一個支承臂10皆位于由突起10c支承的基板3的寬度方向外側(cè)。
[0056]兩個臂單元11分別具有:固定于連結(jié)梁體9的基底12 ;固定在基底12上且驅(qū)動軸13a(參照圖6)沿上下方向貫通基底12設(shè)置的馬達(dá)13 ;以及與馬達(dá)13的驅(qū)動軸連結(jié)而在基底12的下側(cè)設(shè)置為沿水平方向回轉(zhuǎn)自如的、支承基板3的支承臂10。
[0057]支承臂10具有與馬達(dá)13的驅(qū)動軸13a連結(jié)的基端部10a以及從基端部10a向規(guī)定方向延伸并保持基板3的臂主體10b。兩個支承臂10構(gòu)成為，基端部10a被馬達(dá)13旋轉(zhuǎn)驅(qū)動，臂主體10b回旋，在能夠支承基板3的支承位置(參照圖3(c)以及圖3(e))與從支承于頂桿4b或者后述的外部頂桿14b的基板3退避的退避位置(參照圖3 (a)、圖3 (b)以及圖3(d))之間沿水平方向回旋。如圖5所示，支承位置是臂主體10b在沿著導(dǎo)軌5的方向上配置的位置，退避位置是臂主體10b沿著寬度方向配置的位置。
[0058]圖2是臂主體10b的主要部分放大立體圖。在臂主體10b的前端側(cè)與基端部10a側(cè)設(shè)有突起10c，當(dāng)支承臂10移動到支承位置時，突起10c朝向相互對置的一側(cè)突出。突起10c形成為薄于臂主體10b的厚度(上下方向的寬度)，并且設(shè)于比臂主體10b的上表面低的高度位置。由此，在突起10c與臂主體10b之間形成臺階10d。
[0059]基板3載置在移動到支承位置的兩個支承臂10的突起10c上，在基板3的邊緣從水平方向與臺階10d以及臂主體10b的側(cè)面抵接的狀態(tài)下將基板3支承在支承臂10上。
[0060]在退避位置，兩個支承臂10的臂主體10b沿寬度方向朝向彼此相反方向從工作臺4突出。兩個支承臂10在支承基板3時，通過馬達(dá)13以右旋以及左旋的方式向彼此相反方向進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，從而以朝向基板3接近的方式回旋。因此，兩個支承臂10的臂主體10b夾著工作臺4形成為對稱的形狀。
[0061]噴嘴7設(shè)于連結(jié)梁體9之下。噴嘴7將涂敷液朝向載置于工作臺4的基板3噴出。噴嘴7設(shè)置為在工作臺4的寬度方向全長范圍內(nèi)與該工作臺