1.一種六氟化硫預(yù)處理裝置，包括：鋼瓶接口（1）、入口閥Va（2）、換熱風(fēng)扇（3）、抽真空保護(hù)閥 Vb（4）、壓力表（5）、吸附裝置（6）、過(guò)濾器（7）、處理裝置入口閥Vc（8）、處理裝置入口管（9）、充氮再生入口閥Vd（10）、堿液箱（11）、充氮再生出口閥Vd（12）、尾氣出口（13），其特征在于：所述的鋼瓶接口（1）、入口閥Va（2）、換熱風(fēng)扇（3）、抽真空保護(hù)閥 Vb（4）、壓力表（5）、吸附裝置（6）、過(guò)濾器（7）、充氮再生入口閥Vd（10）、堿液箱（11）、充氮再生出口閥Vd（12）、尾氣出口（13）通過(guò)管道依次連接，所述的處理裝置入口管（9）連接在過(guò)濾器（7）與充氮再生入口閥Vd（10）之間的管道上，所述的處理裝置入口閥Vc（8）安裝在處理裝置入口管（9）上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種六氟化硫預(yù)處理裝置，其特征在于：所述的吸附裝置（6）由四個(gè)吸附塔通過(guò)管道連接而成，所述的吸附塔依次填充的是活性炭、氧化鋁、分子篩、KDF-03吸附劑，四種吸附劑。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種六氟化硫預(yù)處理裝置，其特征在于：所述的吸附塔頂部安裝有加熱絲，吸附塔中部安裝有溫度探頭，吸附塔下部安裝有吸附劑出料口。