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一種氦氣循環(huán)干燥凈化系統(tǒng)的制作方法

文檔序號:12010743閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種氦氣循環(huán)干燥凈化系統(tǒng),包括進氣端與工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備的出氣端相連的壓縮機和第一端通過第一管道與壓縮機的出氣端相連的吸附塔,所述吸附塔的第二端通過第二管道與工業(yè)生產(chǎn)設(shè)備的進氣端連接,其特征在于,所述吸附塔具有兩個,在第二管道和兩個吸附塔的第二端之間還設(shè)置有第三管道,在兩個吸附塔的第一端與壓縮機的進氣端還設(shè)置有第四管道,第一管道、第二管道、第四管道與吸附塔的連通是可控的。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氦氣循環(huán)干燥凈化系統(tǒng),其特征在于,所述第一管道在與每個吸附塔的連接處設(shè)置有第一控制閥門,所述第二管道在與每個吸附塔的連接處設(shè)置有第二控制閥門,所述第三管道在與每個吸附塔的連接處設(shè)置有第三閥門,所述第四管道在與每個吸附塔的連接處設(shè)置有第四控制閥門。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種氦氣循環(huán)干燥凈化系統(tǒng),其特征在于,在所述第一管道上設(shè)置有過濾器。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種氦氣循環(huán)干燥凈化系統(tǒng),其特征在于,在所述第三管道上設(shè)置有減壓閥。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種氦氣循環(huán)干燥凈化系統(tǒng),其特征在于,所述第三閥門為單向閥,并且所述單向閥沿著進入到吸附塔的方向打開。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種氦氣循環(huán)干燥凈化系統(tǒng),其特征在于,在所述第三管道上還設(shè)置有加熱器。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種氦氣循環(huán)干燥凈化系統(tǒng),其特征在于,在所述第三管道上且在減壓閥和加熱器之間還設(shè)置有換熱器。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氦氣循環(huán)干燥凈化系統(tǒng),其特征在于,在所述第四管道上設(shè)置有凍干機。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種氦氣循環(huán)干燥凈化系統(tǒng),其特征在于,在所述第四管道上且在凍干機之前還設(shè)置有換熱器。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的一種氦氣循環(huán)干燥凈化系統(tǒng),其特征在于,位于所述第四管道上的換熱器與位于第三管道上的換熱器屬于同一換熱器。

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