本發(fā)明涉及在不使含有功能性材料的細(xì)線的形成不穩(wěn)定化的情況下能夠提高該細(xì)線的配置間隔設(shè)定的自由度的圖案形成方法、帶透明導(dǎo)電膜的基材、器件及電子設(shè)備。

背景技術(shù)：

作為形成含有功能性材料的細(xì)線圖案的方法，以往廣泛地使用了利用光刻技術(shù)的方法。

但是，就光刻技術(shù)而言，材料的損失大，工序復(fù)雜。因此，研究了各種材料的損失少、工序簡單的方式。

例如，有采用噴墨法等將含有功能性材料的液滴給予基材、形成細(xì)線圖案的方式，但對(duì)于噴墨法而言，通常細(xì)線的寬度沒有成為排出了的液滴的直徑以下，因此形成數(shù)μm的線寬的細(xì)線圖案困難。

另一方面，有如下方法：預(yù)先在基材的整個(gè)面涂布了防水劑后，使用激光等使防水劑的一部分親水化而形成親水防水圖案(即，由親水部和防水部所形成的圖案)，通過噴墨對(duì)其給予液滴而形成細(xì)線。但是，該方法為涂布防水劑、用激光形成親水防水圖案，工序變得復(fù)雜。

對(duì)此，提出了如下方法：利用液滴內(nèi)部的對(duì)流使作為液滴中的固體成分的功能性材料堆積于液滴的周緣部，形成比液滴微細(xì)的寬度的圖案(專利文獻(xiàn)1)。

根據(jù)該方法，不需要特別的工序，可以形成液滴直徑以下的數(shù)μm寬的細(xì)線。

也提出了使用該方法形成導(dǎo)電性微粒的微細(xì)的寬度的環(huán)，將其多個(gè)連接而形成透明導(dǎo)電膜(專利文獻(xiàn)2)。

但是，對(duì)于該技術(shù)而言，為了制作導(dǎo)電路徑，環(huán)的交點(diǎn)增多，存在著損害透明性的課題。

對(duì)此，本申請(qǐng)人目前為止公開了：將在基材上以線狀所給予了的含有功能性材料的液體干燥時(shí)，利用液滴內(nèi)部的對(duì)流，使功能性材料堆積于線狀液體的邊緣部，形成由1對(duì)細(xì)線構(gòu)成的平行線圖案，進(jìn)而公開了由這樣的平行線圖案構(gòu)成的透明導(dǎo)電膜(專利文獻(xiàn)3)。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開2005-95787號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)2：wo2011/051952

專利文獻(xiàn)3：日本特開2014-38992號(hào)公報(bào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

發(fā)明要解決的課題

然而，對(duì)于專利文獻(xiàn)3的技術(shù)而言，從進(jìn)一步提高透明導(dǎo)電膜的透明性等的觀點(diǎn)出發(fā)，如果要將構(gòu)成平行線圖案的細(xì)線的配置間隔設(shè)定得大，則有時(shí)該細(xì)線的形成不穩(wěn)定化，發(fā)現(xiàn)了進(jìn)一步改善的余地。

因此，本發(fā)明的課題在于提供在不使含有功能性材料的細(xì)線的形成不穩(wěn)定化的情況下能夠提高該細(xì)線的配置間隔設(shè)定的自由度的圖案形成方法、帶透明導(dǎo)電膜的基材、器件及電子設(shè)備。

另外，本發(fā)明的其他課題通過以下的記載而變得清楚。

用于解決課題的手段

上述課題通過以下的各發(fā)明得以解決。

1.圖案形成方法，是如下的圖案形成方法：一邊相對(duì)于基材使液滴排出裝置相對(duì)移動(dòng)，一邊從該液滴排出裝置將含有功能性材料的多個(gè)液滴排出到基材上，使多個(gè)上述液滴在基材上合為一體而形成線狀液體，使形成了的上述線狀液體干燥時(shí)，在該線狀液體的邊緣使上述功能性材料堆積，形成含有該功能性材料的圖案，其中，在形成上述線狀液體時(shí)，將從多個(gè)噴嘴對(duì)于像素組所給予的液滴組在與上述液滴排出裝置的噴嘴列交叉的方向上給予多組，使多組的上述液滴組合為一體，形成在與噴嘴列交叉的方向上進(jìn)行延伸的上述線狀液體，其中,所述像素組相對(duì)于噴嘴列平行配置。

2.上述1所述的圖案形成方法，其中，相對(duì)于液滴排出裝置的相對(duì)移動(dòng)方向，傾斜地形成上述線狀液體。

3.上述1或2所述的圖案形成方法，其中，通過灰度級(jí)數(shù)(階階數(shù))來調(diào)整每1個(gè)像素的液滴量。

4.上述1～3的任一項(xiàng)所述的圖案形成方法，其中，對(duì)于線狀液體的形成方向的液滴給予量調(diào)整為2.5[pl/μm]以上且15[pl/μm]以下的范圍。

5.上述1～4的任一項(xiàng)所述的圖案形成方法，其中，將每1個(gè)像素的點(diǎn)直徑(ドット徑)重疊率調(diào)整為20％以上且60％以下。

6.上述1～5的任一項(xiàng)所述的圖案形成方法，其中，將從上述液滴排出裝置所排出的上述液滴在上述基材上的接觸角調(diào)整為10[°]以上且25[°]以下的范圍。

7.上述1～6的任一項(xiàng)所述的圖案形成方法，其中，在上述線狀液體的干燥時(shí)，實(shí)施促進(jìn)干燥的處理。

8.上述1～7的任一項(xiàng)所述的圖案形成方法，其中，將上述功能性材料的濃度范圍調(diào)整為0.01[wt％]以上且1.0[wt％]以下的范圍。

9.上述1～8的任一項(xiàng)所述的圖案形成方法，其中，上述功能性材料為導(dǎo)電性材料或?qū)щ娦圆牧锨绑w。

10.上述1～9的任一項(xiàng)所述的圖案形成方法，其中，上述基材在圖案形成面具有凹凸。

11.帶透明導(dǎo)電膜的基材，其在基材表面具有透明導(dǎo)電膜，所述透明導(dǎo)電膜包含通過上述1～10的任一項(xiàng)所述的圖案形成方法所形成的圖案。

12.器件，其具有上述11所述的帶透明導(dǎo)電膜的基材。

13.電子設(shè)備，其具備上述12所述的器件。

發(fā)明的效果

根據(jù)本發(fā)明，能夠提供在不使含有功能性材料的細(xì)線的形成不穩(wěn)定化的情況下能夠提高該細(xì)線的配置間隔設(shè)定的自由度的圖案形成方法、帶透明導(dǎo)電膜的基材、器件及電子設(shè)備。

附圖說明

圖1為在概念性地說明由線狀液體形成平行線圖案的樣子的圖。

圖2為說明比較例的圖。

圖3為說明另一比較例的圖。

圖4為在概念性地說明本發(fā)明的圖案形成方法的一例的圖。

圖5為在概念性地說明采用圖4的方法所形成的線狀液體的圖。

圖6為在概念性地說明采用圖4的方法所形成的平行線圖案的圖。

圖7為在概念性地說明本發(fā)明的圖案形成方法的另一例的圖。

圖8為在概念性地說明采用圖7的方法所形成的線狀液體的圖。

圖9為在概念性地說明采用圖7的方法所形成的平行線圖案的圖。

圖10為說明噴嘴列的圖。

圖11為表示在基材上形成了的平行線圖案的一例的立體剖面圖。

圖12為說明透明導(dǎo)電膜的例子的圖。

圖13為說明實(shí)施例中使用的具有凹凸的基材的圖。

圖14為細(xì)線圖案的光學(xué)顯微鏡照片。

具體實(shí)施方式

以下參照附圖對(duì)用于實(shí)施本發(fā)明的方式進(jìn)行說明。

圖1為在概念性地說明由線狀液體形成平行線圖案的樣子的圖。

如圖1(a)中所示那樣，在基材1上給予含有功能性材料的線狀液體2。

就線狀液體2向基材1上的給予而言，能夠使用液滴排出裝置進(jìn)行。具體地，一邊使液滴排出裝置相對(duì)于基材相對(duì)移動(dòng)、一邊從液滴排出裝置將多個(gè)含有功能性材料的液滴排出，所排出的液滴在基材上合為一體，由此能夠形成含有功能性材料的線狀液體。液滴排出裝置例如能夠由噴墨記錄裝置具有的噴墨頭所構(gòu)成。

如圖1(b)中所示那樣，使含有功能性材料的線狀液體2蒸發(fā)、使其干燥時(shí)，利用咖啡漬(コーヒーステイン)現(xiàn)象，使功能性材料選擇性地堆積于線狀液體2的邊緣。

為了促進(jìn)咖啡漬現(xiàn)象，優(yōu)選進(jìn)行：干燥線狀液體2時(shí)的條件設(shè)定。即，就在基材1上配置的線狀液體2的干燥而言，與中央部相比，在邊緣處快，在線狀液體2的邊緣發(fā)生導(dǎo)電性材料的局部的堆積。形成線狀液體2的邊緣通過該堆積了的導(dǎo)電性材料而被固定化了的狀態(tài)，這以后的與干燥相伴的線狀液體2的寬度方向的收縮受到抑制。就線狀液體2的液體而言，形成從中央部向邊緣的流動(dòng)以補(bǔ)充在邊緣由于蒸發(fā)而失去的部分的液體。通過該流動(dòng)，將進(jìn)一步的導(dǎo)電性材料運(yùn)送到邊緣而堆積。該流動(dòng)起因于與干燥相伴的線狀液體2的接觸線的固定化和線狀液體2中央部與邊緣的蒸發(fā)量之差。因此，優(yōu)選設(shè)定導(dǎo)電性材料濃度、線狀液體2與基材1的接觸角、線狀液體2的量、基材1的加熱溫度、線狀液體2的配置密度、或者溫度、濕度、氣壓的環(huán)境因素等條件以促進(jìn)該流動(dòng)。

其結(jié)果，如圖1(c)中所示那樣，在基材1上形成由含有功能性材料的細(xì)線所構(gòu)成的涂膜圖案(以下有時(shí)稱為平行線圖案。)3。就由1條線狀液體2所形成的平行線圖案3而言，由1組2條線段(細(xì)線)31、32構(gòu)成。在圖1(c)中，i為細(xì)線31、32的配置間隔。

其中，所謂功能性材料，是用于對(duì)基材給予特定的功能的材料。所謂給予特定的功能，例如，在對(duì)基材給予導(dǎo)電性的情況下，是指將導(dǎo)電性材料用作功能性材料，另外，在給予絕緣性的情況下，是指將絕緣性材料用作功能性材料。

作為本發(fā)明的墨含有的功能性材料，并無特別限定，可以優(yōu)選地例示導(dǎo)電性微粒、導(dǎo)電性聚合物等的導(dǎo)電性材料、絕緣性材料、半導(dǎo)體材料、光學(xué)濾波器材料、介電體材料等。

作為功能性材料，如上述那樣，例如如果使用導(dǎo)電性材料，則能夠?qū)?xì)線31、32給予導(dǎo)電性。在基材1上將該細(xì)線31、32配置為例如條狀或篩網(wǎng)狀等而成的透明導(dǎo)電膜成為光的透射率優(yōu)異的透明導(dǎo)電膜。在以下的說明中，主要對(duì)使用導(dǎo)電性材料作為功能性材料的情形進(jìn)行說明。

就上述的細(xì)線31、32而言，由于變得足夠地細(xì)，因此即使功能性材料自身不具有透明性，也變得難以可見，能夠?qū)ν该鲗?dǎo)電膜給予透明性。另一方面，對(duì)于導(dǎo)電性，細(xì)線31、32越細(xì)，電阻值越容易升高。

因此，在上述的專利文獻(xiàn)3中，通過使線狀液體2的形成寬度變小，使細(xì)線31、32的配置間隔i變小，通過在基材1上以致密的狀態(tài)使細(xì)線31、32并列，確保透明導(dǎo)電膜的導(dǎo)電性。具體地，如圖2中所示那樣，使用液滴排出裝置4具有的1個(gè)噴嘴41給予了為了形成1條線狀液體而在基材1上所給予的多個(gè)液滴20。這樣形成了足夠細(xì)的線狀液體。圖中，α為相對(duì)于基材1的液滴排出裝置4的相對(duì)移動(dòng)方向。

根據(jù)本發(fā)明人之后的研究，發(fā)現(xiàn)通過對(duì)細(xì)線31、32實(shí)施鍍敷等，能夠適宜地降低其電阻值，能夠適宜地改善導(dǎo)電性。由此可知，即使使細(xì)線31、32的配置間隔i變大，也能夠?qū)ν该鲗?dǎo)電膜給予高導(dǎo)電性。此外，從進(jìn)一步提高透明導(dǎo)電膜等透明功能性膜的透射率的觀點(diǎn)出發(fā)，也優(yōu)選使細(xì)線31、32的配置間隔i變大。

通過使線狀液體2的形成寬度變大，能夠使細(xì)線31、32的配置間隔i變大。本發(fā)明人為了使線狀液體2的形成寬度變大，嘗試了使液滴給予量變大。

形成線狀液體2時(shí)，嘗試了使從噴嘴4在基材1上給予的各液滴20的容量變大而由此使液滴給予量變大。然而，從由噴嘴穩(wěn)定地排出液滴的觀點(diǎn)出發(fā)，使液滴容量變大存在限度。即，使細(xì)線31、32的配置間隔i變大存在限度。

另外，形成線狀液體2時(shí)，嘗試了通過使多個(gè)液滴彈著(著弾)于每1個(gè)像素，即，使灰度級(jí)數(shù)(dropsperdot)[dpd]為2以上，使液滴20的給予量變大(參照?qǐng)D3)。由此能夠使線狀液體的形成寬度變大，使細(xì)線31、32的配置間隔i變大，但發(fā)現(xiàn)了越是使灰度級(jí)數(shù)變大，在所生成的細(xì)線31、32中越容易產(chǎn)生異形狀部分(鼓脹)這樣的新的課題。

對(duì)此，本發(fā)明的圖案形成方法中，在形成線狀液體2時(shí)，對(duì)于相對(duì)于液滴排出裝置的噴嘴列平行地所配置的像素組，將從多個(gè)噴嘴所給予的液滴組在與噴嘴列交叉的方向上給予多組，使多組的上述液滴組合為一體，形成在與噴嘴列交叉的方向上延伸的上述線狀液體。由此，特別是即使使線狀液體2的形成寬度變大，使細(xì)線31、32的配置間隔i變大的情況下，也能夠適宜地防止在所生成的細(xì)線31、32產(chǎn)生鼓脹。因此，采用本發(fā)明的圖案形成方法，獲得如下效果：在不使含有功能性材料的細(xì)線的形成不穩(wěn)定化的情況下，能夠提高該細(xì)線的配置間隔i的設(shè)定的自由度。也可知特別是如形成透明導(dǎo)電膜的情形那樣，使用導(dǎo)電性材料作為功能性材料時(shí)，通過防止鼓脹，圖案的電阻降低，獲得能夠適宜地改善導(dǎo)電性的效果。

另外，進(jìn)而，對(duì)于采用圖3的例子中所示的方法和本發(fā)明涉及的方法將配置間隔i設(shè)定得相同程度地大的情況進(jìn)行比較，通過使用本發(fā)明涉及的方法，從而能夠尤其地提高防鼓脹性。對(duì)于這點(diǎn)，如后面在實(shí)施例中詳述那樣，從表示采用本發(fā)明涉及的方法形成了的圖案的圖14(a)與表示采用圖3的例子中所示的方法形成了的圖案的圖14(d)的對(duì)比也可知。

在以下，對(duì)本發(fā)明更詳細(xì)地說明。

圖4為在概念性地說明本發(fā)明的圖案形成方法的一例的圖，表示對(duì)基材俯視的樣子。

就液滴排出裝置4而言，在此，具有由沿著方向n配置為一列的多個(gè)噴嘴41a～41j構(gòu)成的噴嘴列40。

就基材1表面的成為圖案形成的對(duì)象的區(qū)域而言，如在圖中用縱橫的網(wǎng)格表示那樣，可以視為由多個(gè)像素構(gòu)成。在以下的說明中，在像素(xy)這樣的情況下，x特別指定列，y特別指定行。例如在像素d4這樣的情況下，表示d列4行的像素。各個(gè)行由在相對(duì)于噴嘴列40的方向n平行的方向上并列的多個(gè)像素構(gòu)成，各個(gè)列由在相對(duì)于噴嘴列40的方向n正交的方向上并列的多個(gè)像素構(gòu)成。

一邊相對(duì)于基材1使液滴排出裝置4相對(duì)移動(dòng)、一邊從液滴排出裝置4在基材1上排出含有功能性材料的液滴20。將相對(duì)移動(dòng)方向α設(shè)定為相對(duì)于噴嘴列40的方向n進(jìn)行正交的方向。

在該相對(duì)移動(dòng)的過程中，對(duì)于由相對(duì)于噴嘴列40的方向n平行配置了的多個(gè)像素(d1、e1、f1)構(gòu)成的像素組，從多個(gè)噴嘴41d、41e、41f各自給予液滴20。有時(shí)將對(duì)于像素組所給予的這些液滴20稱為液滴組。通過對(duì)于構(gòu)成像素組的各像素(d1、e1、f1)分配噴嘴41d、41e、41f，能夠?qū)Ω飨袼?d1、e1、f1)個(gè)別地給予液滴20。

接著，在使液滴排出裝置4在相對(duì)移動(dòng)方向α上只相對(duì)移動(dòng)了1個(gè)像素部分時(shí)，對(duì)于由相對(duì)于噴嘴列40的方向n平行配置了的多個(gè)像素(d2、e2、f2)構(gòu)成的下一像素組，從多個(gè)噴嘴41d、41e、41f各自給予下一液滴20、即下一液滴組。通過將其反復(fù)，能夠在與噴嘴列40的方向n交叉的方向上給予多組的液滴組。此處，在與噴嘴列40的方向n正交的方向上給予了多組的液滴組。

通過使構(gòu)成這些多個(gè)液滴組的液滴20之間合為一體，能夠如圖5中所示那樣，形成在與噴嘴列40的方向n交叉的方向上延伸的線狀液體2。

進(jìn)而，使線狀液體2干燥時(shí)，通過使功能性材料堆積于線狀液體2的邊緣，能夠如圖6中所示那樣形成含有該功能性材料的平行線圖案3。就由1條線狀液體2形成了的平行線圖案3而言，由1組2條線段(細(xì)線)31、32構(gòu)成。

根據(jù)以上的方法，在形成線狀液體2時(shí)，對(duì)于由相對(duì)于噴嘴列40平行配置了的多個(gè)像素構(gòu)成的像素組從多個(gè)噴嘴給予液滴組，由此能夠自由地使線狀液體2的形成寬度變大。進(jìn)而，即使在使由線狀液體2所生成的細(xì)線31、32的配置間隔i變大的情況下，也能夠適宜地防止鼓脹發(fā)生。即，能夠在不使含有功能性材料的細(xì)線31、32的形成不穩(wěn)定化的情況下提高該細(xì)線31、32的配置間隔i的設(shè)定的自由度。

在線狀液體2的形成時(shí)，就在基材1上所給予的液滴20而言，以不僅在含有該液滴20的液滴組內(nèi)合為一體、而且在與噴嘴列40交叉的方向上所鄰接的液滴組之間合為一體的方式來給予。

為了適宜地實(shí)現(xiàn)這樣的合為一體，液滴20的點(diǎn)直徑(ドット徑)優(yōu)選相對(duì)于1個(gè)像素的大小具有足夠的大小。具體地，優(yōu)選將液滴20的點(diǎn)直徑設(shè)定為優(yōu)選1個(gè)像素的像素長以上、更優(yōu)選1個(gè)像素的對(duì)角線的長度以上。液滴20的點(diǎn)直徑與1個(gè)像素的大小的大小關(guān)系例如能夠通過調(diào)整像素分辨率、每1個(gè)像素的液滴量、液滴對(duì)于基材的接觸角等來適當(dāng)?shù)卦O(shè)定。應(yīng)予說明，就上述“1個(gè)像素的像素長”而言，如果該像素為正方形，則可以設(shè)為1邊的長度，如果該像素為長方形，則可以設(shè)為長邊的長度。

上述“液滴20的點(diǎn)直徑”d[mm]能夠由液滴20與基材的接觸角θ[rad]、每1個(gè)像素的液滴20的液滴量v[mm3]、通過下述式算出。

[數(shù)學(xué)式1]

應(yīng)予說明，接觸角為靜態(tài)接觸角，例如能夠通過使用協(xié)和界面科學(xué)株式會(huì)社制dm-500，在25℃、50％rh環(huán)境下，將要測(cè)定的液滴(5μl左右)從注射器載置在基材1上，測(cè)定液滴端部的切線與基材面所成的角度而求出。

從液滴排出裝置4所排出的液滴20在基材1上的接觸角優(yōu)選被調(diào)整為10[°]以上且25[°]以下的范圍。由此能夠使細(xì)線31、32的各自的細(xì)線寬變得更細(xì)，能夠進(jìn)一步提高透射率，同時(shí)能夠進(jìn)一步防止鼓脹，進(jìn)一步降低圖案的電阻。

每1個(gè)像素的液滴量的調(diào)整可通過調(diào)整從噴嘴排出的液滴的容量(每1液滴的容量)來進(jìn)行，但優(yōu)選通過調(diào)整對(duì)1個(gè)像素給予的液滴數(shù)、即灰度級(jí)數(shù)[dpd]來進(jìn)行。即，對(duì)1個(gè)像素所給予的液滴20可只由從噴嘴排出了的1個(gè)液滴構(gòu)成，也可由從噴嘴排出的2個(gè)以上的液滴構(gòu)成。圖3的例子中，為了對(duì)線狀液體給予充分的形成寬度，需要將灰度級(jí)數(shù)設(shè)定得大，與此相對(duì)，本發(fā)明中，能夠?qū)⒒叶燃?jí)數(shù)設(shè)定得比較小以與構(gòu)成像素組的像素?cái)?shù)成反比例。

對(duì)于線狀液體2的形成方向的液滴給予量優(yōu)選被調(diào)整為2.5[pl/μm]以上且15[pl/μm]以下的范圍。由此能夠使細(xì)線31、32的配置間隔i進(jìn)一步變大，能夠進(jìn)一步提高透射率，同時(shí)能夠進(jìn)一步防止鼓脹，進(jìn)一步降低圖案的電阻。

優(yōu)選將每1個(gè)像素的點(diǎn)直徑的重疊率調(diào)整為20％以上且60％以下。由此能夠適宜地實(shí)現(xiàn)線狀液體的形成過程中的液滴之間的合為一體，同時(shí)能夠進(jìn)一步防止鼓脹，進(jìn)一步降低圖案的電阻。其中，“每1個(gè)像素的點(diǎn)直徑的重疊率”[％]為根據(jù)([d-d]/d)·100所算出的值，“將每1個(gè)像素的點(diǎn)直徑的重疊率調(diào)整為20％以上且60％以下”可以換言之為滿足20％≤([d-d]/d)·100≤60％的關(guān)系。其中，d為上述的液滴20的點(diǎn)直徑d[mm]，d為點(diǎn)間距離[mm]。點(diǎn)間距離d[mm]對(duì)應(yīng)于構(gòu)成液滴排出裝置4的噴嘴列40的多個(gè)噴嘴的排列間距。點(diǎn)間距離d[mm]也可以稱為在噴嘴列40方向上鄰接地所給予的液滴20的中心間距離。

從更為顯著地發(fā)揮本發(fā)明的效果的觀點(diǎn)出發(fā)，特別優(yōu)選將對(duì)于線狀液體2的形成方向的液滴給予量調(diào)整為2.5[pl/μm]以上且15[pl/μm]以下的范圍，同時(shí)將每1個(gè)像素的點(diǎn)直徑的重疊率調(diào)整為20％以上且60％以下，進(jìn)而，最優(yōu)選在滿足了這些條件后將從液滴排出裝置4所排出的液滴20的在基材1上的接觸角調(diào)整為10[°]以上且25[°]以下的范圍。

根據(jù)本發(fā)明，也獲得在線狀液體的形成時(shí)能夠縮短在基材上所給予的液滴的潤濕擴(kuò)展所需的時(shí)間的效果。例如，在圖3的例子中，直至對(duì)1個(gè)像素所給予了的液滴潤濕擴(kuò)展到線狀液體的寬度方向的規(guī)定范圍需要比較長的時(shí)間，但在本發(fā)明中，通過對(duì)于由相對(duì)于噴嘴列平行配置了的多個(gè)像素構(gòu)成的像素組給予液滴組，從而能夠在線狀液體的寬度方向的規(guī)定范圍更為直接地給予液滴。因此，即使是形成寬度大的線狀液體，也能夠迅速地形成。

有效利用能夠縮短在基材上所給予的液滴的潤濕擴(kuò)展所需的時(shí)間的優(yōu)點(diǎn)，在將線狀液體2干燥時(shí)，能夠適宜地實(shí)施促進(jìn)干燥的處理。從穩(wěn)定地形成平行線圖案的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選比較緩慢地進(jìn)行干燥以等待液滴的潤濕擴(kuò)展，但根據(jù)本發(fā)明，由于如上述那樣能夠縮短液滴的潤濕擴(kuò)展所需的時(shí)間，因此即使在實(shí)施促進(jìn)干燥的處理的情況下，也能夠穩(wěn)定地形成平行線圖案。

作為促進(jìn)干燥的處理，例如可以例示加熱、送風(fēng)、能量線的照射等處理，可使用這些中的1個(gè)或?qū)?個(gè)以上組合使用。

優(yōu)選使用促進(jìn)線狀液體的干燥的干燥裝置(也稱為干燥機(jī))。干燥裝置只要可執(zhí)行上述的干燥處理地構(gòu)成即可，例如可以例示加熱器、送風(fēng)機(jī)、能量線照射裝置等，可將這些的1個(gè)或2個(gè)以上組合地構(gòu)成。

另外，利用能夠縮短在基材上所給予的液滴的潤濕擴(kuò)展所需的時(shí)間的優(yōu)點(diǎn)，本發(fā)明的圖案形成方法在具有凹凸的基材進(jìn)行圖案形成時(shí)也能夠適合使用。即，對(duì)于在圖案形成面具有例如凹曲面、凸曲面等凹凸的基材，能夠適宜地進(jìn)行圖案形成。通過如上述那樣能夠縮短液滴的潤濕擴(kuò)展所需的時(shí)間，從而能夠縮短從液滴的給予直至干燥的時(shí)間。因此，在沒有給予例如在凹凸中的傾斜面上所給予了的液滴由于重力等而流動(dòng)的充分的余裕的情況下，能夠使線狀液體干燥而形成平行線圖案。在具有凹凸的基材進(jìn)行圖案形成時(shí)，特別優(yōu)選實(shí)施促進(jìn)干燥的處理。平行線圖案即使在傾斜面上形成的情況下，也防止液滴的流動(dòng)，從而使得圖案精度優(yōu)異。進(jìn)而，與例如對(duì)于平坦的基材進(jìn)行了圖案形成后進(jìn)行給予凹凸的彎曲加工的情形比較，對(duì)于具有凹凸的基材進(jìn)行圖案形成的情形容易保持對(duì)于基材的圖案的密合性。

進(jìn)而，另外，在本發(fā)明中，通過對(duì)于由相對(duì)于噴嘴列平行配置了的多個(gè)像素組成的像素組給予液滴組，從而能夠以比較少的灰度級(jí)數(shù)對(duì)線狀液體給予充分的形成寬度。例如，在圖3的例子中，為了對(duì)線狀液體給予充分的形成寬度，必須將灰度級(jí)數(shù)設(shè)定得大，與此相對(duì)，本發(fā)明中，能夠?qū)⒒叶燃?jí)數(shù)設(shè)定得小以與構(gòu)成像素組的像素?cái)?shù)成反比例。能夠使灰度級(jí)數(shù)變小是指能夠使從1個(gè)噴嘴給予1個(gè)像素的液滴數(shù)變小，即，是指能夠使相對(duì)于基材的液滴排出裝置的相對(duì)移動(dòng)的速度變快。通過使相對(duì)移動(dòng)的速度變快，從而能夠使線狀液體的形成速度加速。其結(jié)果能夠防止在線狀液體的長度方向上在干燥的進(jìn)行上產(chǎn)生差異，這也適宜地有助于防止鼓脹發(fā)生。即，從防止鼓脹發(fā)生的觀點(diǎn)出發(fā)，各個(gè)1條線狀液體在該線狀液體全體中同時(shí)地進(jìn)行干燥是理想的，根據(jù)本發(fā)明，可以在更接近理想的狀態(tài)下進(jìn)行干燥。

以上的說明中，對(duì)于沿著液滴排出裝置的相對(duì)移動(dòng)方向形成線狀液體的情形進(jìn)行了表示，但并不限定于此。也優(yōu)選相對(duì)于液滴排出裝置的相對(duì)移動(dòng)方向傾斜地形成線狀液體。

圖7為概念性地說明本發(fā)明的圖案形成方法的另一例的圖，表示對(duì)基材俯視的樣子。

在圖示的例子中，如以下說明那樣，相對(duì)于液滴排出裝置4的相對(duì)移動(dòng)方向α傾斜地形成線狀液體2。

一邊使液滴排出裝置4相對(duì)于基材1相對(duì)移動(dòng)，一邊從液滴排出裝置4在基材1上排出含有功能性材料的液滴20。將相對(duì)移動(dòng)方向α設(shè)定為相對(duì)于噴嘴列40的方向n進(jìn)行正交的方向。

在該相對(duì)移動(dòng)的過程中，對(duì)于由相對(duì)于噴嘴列40的方向n平行配置的多個(gè)像素(a1、b1、c1)組成的像素組，從多個(gè)噴嘴41a、41b、41c的各個(gè)噴嘴給予液滴20、即液滴組。

接著，在使液滴排出裝置4在相對(duì)移動(dòng)方向α上只相對(duì)移動(dòng)了1個(gè)像素部分時(shí)，對(duì)于由相對(duì)于噴嘴列40的方向n平行配置了的多個(gè)像素(b2、c2、d2)組成的下一像素組，從多個(gè)噴嘴41b、41c、41d的各個(gè)噴嘴給予下一液滴20、即下一液滴組。通過將其反復(fù)，在相對(duì)于噴嘴列40的方向n傾斜的方向上給予了多組的液滴組。

即，在圖示的例子中，在選擇成為液滴20的給予對(duì)象的像素組時(shí)，以相對(duì)于構(gòu)成先選擇了的像素組的各像素，在噴嘴列的方向n上偏移規(guī)定像素?cái)?shù)(在圖示的例子中為1個(gè)像素)的方式，從構(gòu)成下一行的像素中選擇下一像素組。

通過使構(gòu)成這些多個(gè)液滴組的液滴20之間合為一體，如圖8中所示那樣，能夠形成在相對(duì)于噴嘴列40的方向n傾斜的方向上、即在相對(duì)于液滴排出裝置4的相對(duì)移動(dòng)方向傾斜的方向上延伸的線狀液體2。

進(jìn)而，使線狀液體2干燥時(shí)，通過在線狀液體2的邊緣使功能性材料堆積，從而能夠如圖9中所示那樣形成含有該功能性材料的平行線圖案3。由1條線狀液體2形成了的平行線圖案3由1組2條線段(細(xì)線)31、32構(gòu)成。相對(duì)于液滴排出裝置4的相對(duì)移動(dòng)方向傾斜地形成了平行線圖案3。

如以上那樣，在相對(duì)于液滴排出裝置的相對(duì)移動(dòng)方向α傾斜地形成線狀液體2的情況下，通過對(duì)于由相對(duì)于噴嘴列40平行配置了的多個(gè)像素組成的像素組，從多個(gè)噴嘴給予液滴組，從而也能夠自由地使線狀液體2的形成寬度變大。進(jìn)而，在使由線狀液體2所生成的細(xì)線31、32的配置間隔i變大的情況下，也能夠適宜地防止鼓脹發(fā)生。即，在不使含有功能性材料的細(xì)線31、32的形成不穩(wěn)定化的情況下，能夠提高該細(xì)線31、32的配置間隔i的設(shè)定的自由度。

以上的例子中，對(duì)于在相對(duì)于液滴排出裝置的相對(duì)移動(dòng)方向α傾斜45°的方向上形成線狀液體2的情形進(jìn)行了表示，但傾斜角度并不限定于此。

在以上的說明中，對(duì)于將構(gòu)成像素組的像素?cái)?shù)設(shè)定為3個(gè)像素的情形進(jìn)行了表示，但并不限定于此，能夠以細(xì)線31、32成為所期望的配置間隔i的方式適當(dāng)?shù)卦O(shè)定。因此，獲得配置間隔i的設(shè)定的自由度高的效果。構(gòu)成像素組的像素?cái)?shù)例如優(yōu)選設(shè)定為2個(gè)像素～20個(gè)像素的范圍，更優(yōu)選設(shè)定為2個(gè)像素～10個(gè)像素的范圍。

以上的說明中，主要對(duì)將基材固定、將液滴排出裝置移動(dòng)的情形進(jìn)行了表示，但并不限定于此，通過將基材和液滴排出裝置的至少一者移動(dòng)，從而能夠相對(duì)于基材使液滴排出裝置相對(duì)移動(dòng)。例如，也優(yōu)選通過將基材移動(dòng)，將液滴排出裝置固定，從而相對(duì)于基材使液滴排出裝置相對(duì)移動(dòng)。相對(duì)移動(dòng)方向α也可以稱為從基材看到的液滴排出裝置的相對(duì)速度矢量的方向。

以上的說明中，對(duì)于液滴排出裝置具有配置為一列的多個(gè)噴嘴的情形進(jìn)行了表示，但未必限定于此。例如，如圖10中所示那樣，液滴排出裝置4可具有配置為多列的多個(gè)噴嘴。這種情況下，噴嘴列的方向?qū)?yīng)于這些多個(gè)噴嘴的整體的排列方向n。

對(duì)從液滴排出裝置排出到基材的液體中所含有的功能性材料并無特別限定，但優(yōu)選為導(dǎo)電性材料或?qū)щ娦圆牧锨绑w。導(dǎo)電性材料前體是指通過實(shí)施適當(dāng)處理能夠變化為導(dǎo)電性材料的物質(zhì)。

作為導(dǎo)電性材料，例如可以優(yōu)選地例示導(dǎo)電性微粒、導(dǎo)電性聚合物等。

作為導(dǎo)電性微粒，并無特別限定，可以優(yōu)選地例示au、pt、ag、cu、ni、cr、rh、pd、zn、co、mo、ru、w、os、ir、fe、mn、ge、sn、ga、in等的微粒，其中，如果使用au、ag、cu這樣的金屬微粒，則能夠形成電阻低并且耐腐蝕的電路圖案，因此更優(yōu)選。從成本和穩(wěn)定性的觀點(diǎn)出發(fā)，最優(yōu)選含有ag的金屬微粒。這些金屬微粒的平均粒徑優(yōu)選設(shè)為1～100nm的范圍，更優(yōu)選設(shè)為3～50nm的范圍。

另外，作為導(dǎo)電性微粒，也優(yōu)選使用碳微粒。作為碳微粒，可以優(yōu)選地例示石墨微粒、碳納米管、富勒烯等。

作為導(dǎo)電性聚合物，并無特別限定，可以優(yōu)選地列舉出π共軛系導(dǎo)電性高分子。

作為π共軛系導(dǎo)電性高分子，并無特別限定，能夠利用聚噻吩類、聚吡咯類、聚吲哚類、聚咔唑類、聚苯胺類、聚乙炔類、聚呋喃類、聚對(duì)亞苯基類、聚對(duì)亞苯基亞乙烯基類、聚對(duì)苯硫醚類、聚奧類、聚苯并噻吩(polyisothianaphthene)類、聚氮化硫(polythiazyl)類等鏈狀導(dǎo)電性聚合物。其中，在獲得高導(dǎo)電性的方面，優(yōu)選聚噻吩類、聚苯胺類。最優(yōu)選為聚亞乙基二氧噻吩。

導(dǎo)電性聚合物更優(yōu)選含有上述的π共軛系導(dǎo)電性高分子和聚陰離子而成。這樣的導(dǎo)電性聚合物通過在適當(dāng)?shù)难趸瘎┖脱趸呋瘎┡c聚陰離子的存在下對(duì)形成π共軛系導(dǎo)電性高分子的前體單體進(jìn)行化學(xué)氧化聚合，能夠容易地制造。

聚陰離子為取代或未取代的聚亞烷基、取代或未取代的聚亞烯基、取代或未取代的聚酰亞胺、取代或未取代的聚酰胺、取代或未取代的聚酯和它們的共聚物，由具有陰離子基的結(jié)構(gòu)單元和不具有陰離子基的結(jié)構(gòu)單元組成。

該聚陰離子是使π共軛系導(dǎo)電性高分子在溶劑中可溶化的可溶化高分子。另外，聚陰離子的陰離子基作為對(duì)于π共軛系導(dǎo)電性高分子的摻雜劑發(fā)揮功能，使π共軛系導(dǎo)電性高分子的導(dǎo)電性和耐熱性提高。

作為聚陰離子的陰離子基，只要是可發(fā)生對(duì)π共軛系導(dǎo)電性高分子的化學(xué)氧化摻雜的官能團(tuán)即可，其中，從制造的容易性和穩(wěn)定性的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選一取代硫酸酯基、一取代磷酸酯基、磷酸基、羧基、磺基等。進(jìn)而，從官能團(tuán)的對(duì)π共軛系導(dǎo)電性高分子的摻雜效果的觀點(diǎn)出發(fā)，更優(yōu)選磺基、一取代硫酸酯基、羧基。

作為聚陰離子的具體例，可列舉出聚乙烯基磺酸、聚苯乙烯磺酸、聚烯丙基磺酸、聚丙烯酸乙酯磺酸、聚丙烯酸丁酯磺酸、聚-2-丙烯酰氨基-2-甲基丙磺酸、聚異戊二烯磺酸、聚乙烯基羧酸、聚苯乙烯羧酸、聚烯丙基羧酸、聚丙烯?；人?、聚甲基丙烯?；人帷⒕?2-丙烯酰氨基-2-甲基丙烷羧酸、聚異戊二烯羧酸、聚丙烯酸等。可以是這些的均聚物，也可以是2種以上的共聚物。

另外，也可以是在化合物內(nèi)具有f(氟原子)的聚陰離子。具體地，可以列舉出含有全氟磺酸基的nafion(dupont公司制造)、由含有羧酸基的全氟型乙烯基醚構(gòu)成的フレミオン(旭硝子公司制造)等。

這些中，如果是具有磺酸的化合物，則使用了噴墨印刷方式時(shí)墨射出穩(wěn)定性特別良好，并且獲得高導(dǎo)電性，因此更優(yōu)選。

進(jìn)而，在這些中，優(yōu)選聚苯乙烯磺酸、聚異戊二烯磺酸、聚丙烯酸乙酯磺酸、聚丙烯酸丁酯磺酸。這些聚陰離子發(fā)揮導(dǎo)電性優(yōu)異的效果。

就聚陰離子的聚合度而言，優(yōu)選單體單元為10～100000個(gè)的范圍，從溶劑溶解性和導(dǎo)電性的方面出發(fā)，更優(yōu)選50～10000個(gè)的范圍。

導(dǎo)電性聚合物也可以優(yōu)選地利用市售的材料。例如，由聚(3,4-亞乙基二氧噻吩)和聚苯乙烯磺酸組成的導(dǎo)電性聚合物(簡寫為pedot/pss)已由h.c.starck公司作為clevios系列、由aldrich公司作為pedot-pss483095、560598、由nagasechemtex公司作為denatron系列市售。另外，聚苯胺已由日產(chǎn)化學(xué)公司作為ormecon系列市售。

作為形成線狀液體時(shí)使用的、含有功能性材料的液體，能夠?qū)⑺?、有機(jī)溶劑等的1種或2種以上組合使用。

對(duì)有機(jī)溶劑并無特別限定，例如可以例示1,2-己二醇、2-甲基-2,4-戊二醇、1,3-丁二醇、1,4-丁二醇、丙二醇等醇類；二甘醇單甲基醚、二甘醇單乙基醚、二甘醇單丁基醚、三甘醇單甲基醚、二丙二醇單甲基醚、二丙二醇單乙基醚等醚類等。

另外，在含有功能性材料的液體中可含有表面活性劑等各種添加劑。

通過使用表面活性劑，例如，在使用噴墨法等液滴排出法形成線狀液體這樣的情形等，調(diào)整表面張力等來實(shí)現(xiàn)排出的穩(wěn)定化等成為可能。作為表面活性劑，并無特別限定，能夠使用硅系表面活性劑等。硅系表面活性劑是對(duì)二甲基聚硅氧烷的側(cè)鏈或末端進(jìn)行了聚醚改性的產(chǎn)物，例如信越化學(xué)工業(yè)制的kf-351a、kf-642、ビッグケミー制的byk347、byk348等已市售。就表面活性劑的添加量而言，相對(duì)于形成線狀液體2的液體的總量，優(yōu)選為1重量％以下。

從液滴排出裝置排出到基材的液體中的功能性材料的濃度范圍優(yōu)選調(diào)整為0.01[wt％]以上且1.0[wt％]以下的范圍。由此能夠使細(xì)線31、32的形成進(jìn)一步穩(wěn)定化。

對(duì)基材并無特別限定，例如可以列舉出玻璃、塑料(聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯、聚對(duì)苯二甲酸丁二醇酯、聚乙烯、聚丙烯、丙烯酸系、聚酯、聚酰胺等)、金屬(銅、鎳、鋁、鐵等、或者合金)、陶瓷等，這些可以單獨(dú)使用，也可在貼合的狀態(tài)下使用。其中，優(yōu)選塑料，聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯，聚乙烯、聚丙烯這樣的聚烯烴等是適宜的。

進(jìn)而，如上述那樣，也優(yōu)選使用具有凹凸的基材。本發(fā)明的圖案形成方法在具有凹凸的基材形成圖案時(shí)也可以適合地使用。

圖11為表示在基材上形成了的平行線圖案的一例的部分剖切立體圖，截面對(duì)應(yīng)于在相對(duì)于平行線圖案的形成方向正交的方向上切斷的縱截面。

由1條線狀液體所生成的平行線圖案3的1組2條細(xì)線(線段)31、32未必必須是相互完全獨(dú)立的島狀。如圖示那樣，2條線段31、32也優(yōu)選被形成為在該線段31、32間通過以比該線段31、32的高度低的高度形成了的薄膜部30連接的連續(xù)體。

平行線圖案3的線段31、32的線寬w1、w2優(yōu)選各自為10μm以下。如果為10μm以下，則成為通常不能可見的水平，因此從提高透明性的觀點(diǎn)出發(fā)更優(yōu)選。如果也考慮各線段31、32的穩(wěn)定性，則各線段31、32的線寬w1、w2優(yōu)選各自為2μm以上且10μm以下的范圍。

予以說明，線段31、32的寬度w1、w2在將該線段31、32間功能性材料的厚度成為最薄的最薄部分的高度設(shè)為z、進(jìn)而將從該z開始的線段31、32的突出高度設(shè)為y1、y2時(shí)，定義為y1、y2的一半的高度處的線段31、32的寬度。例如，在圖案3具有上述的薄膜部30的情況下，能夠?qū)⒃摫∧げ?0中的最薄部分的高度設(shè)為z。予以說明，各線段31、32間的功能性材料的最薄部分的高度為0時(shí)，線段31、32的線寬w1、w2定義為從基材1表面開始的線段31、32的高度h1、h2的一半的高度處的線段31、32的寬度。

構(gòu)成平行線圖案3的線段31、32的線寬w1、w2如上述那樣極細(xì)，因此從確保截面積、實(shí)現(xiàn)低電阻化的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選從基材1表面開始的線段31、32的高度h1、h2高。具體地，線段31、32的高度h1、h2優(yōu)選為50nm以上且5μm以下的范圍。

進(jìn)而，從提高平行線圖案3的穩(wěn)定性的觀點(diǎn)出發(fā)，h1/w1比、h2/w2比優(yōu)選各自為0.01以上且1以下的范圍。

另外，從進(jìn)一步提高平行線圖案3的細(xì)線化的觀點(diǎn)出發(fā)，優(yōu)選在線段31、32間功能性材料的厚度成為最薄的最薄部分的高度z、具體地薄膜部30的最薄部分的高度z為10nm以下的范圍。最優(yōu)選地，為了實(shí)現(xiàn)透明性與穩(wěn)定性的平衡的兼顧，以0＜z≤10nm的范圍具有薄膜部30。

進(jìn)而，為了平行線圖案3的進(jìn)一步的細(xì)線化提高，h1/z比、h2/z比優(yōu)選各自為5以上，更優(yōu)選為10以上，特別優(yōu)選為20以上。

本發(fā)明中，對(duì)線段31、32的配置間隔i的范圍并無特別限定，能夠如上述那樣自由度高地適當(dāng)設(shè)定，特別是即使在使配置間隔i增大的情況下，也能夠適宜地防止鼓脹。具體地，在將配置間隔i例如設(shè)定為50μm以上、100μm以上、200μm以上、300μm以上、400μm以上、進(jìn)而500μm以上這樣的大值的情況下，也能夠適宜地防止鼓脹，能夠使線段31、32的形成穩(wěn)定化。根據(jù)本發(fā)明，能夠在適宜地防止鼓脹的狀態(tài)下根據(jù)用途將配置間隔i適宜地設(shè)定為最佳的值。在形成透明導(dǎo)電膜等的情形等下，配置間隔i例如優(yōu)選設(shè)為100μm以上～1000μm以下的范圍，更優(yōu)選設(shè)為100μm以上～500μm以下的范圍。

應(yīng)予說明，線段31、32的配置間隔i設(shè)為線段31、32的各最大突出部間的距離。

進(jìn)而，另外，優(yōu)選對(duì)線段31和線段32給予同樣的形狀(相同程度的截面積)，具體地，優(yōu)選使線段31與線段32的高度h1和h2成為基本上相等的值。與其同樣地，對(duì)于線段31與線段32的線寬w1和w2，也優(yōu)選使它們成為基本上相等的值。

線段31、32未必必須是平行的，至少在線段方向的某長度l上，線段31、32是不結(jié)合的即可。優(yōu)選地，至少線段方向的某長度l上，線段31、32為基本上平行。

線段31、32的線段方向的長度l優(yōu)選為線段31、32的配置間隔i的5倍以上，更優(yōu)選為10倍以上。長度l和配置間隔i可以對(duì)應(yīng)于圖案(線狀液體)2的形成長度和形成寬度來設(shè)定。

可在線狀液體的形成起點(diǎn)和終點(diǎn)(線段方向的某長度l上的起點(diǎn)和終點(diǎn))，線段31、32連接而形成為連續(xù)體。

另外，就線段31、32而言，優(yōu)選其線寬w1、w2基本相等，并且線寬w1、w2與2條線間距離(配置間隔i)相比足夠地細(xì)。

進(jìn)而，優(yōu)選由1條線狀液體生成的構(gòu)成圖案3的線段31與線段32是同時(shí)形成的。

特別優(yōu)選平行線圖案3的各線段31、32全部滿足下述(1)～(3)的條件。由此，圖案變得難以可見，能夠提高透明性，同時(shí)使線段穩(wěn)定化，特別是功能性材料為導(dǎo)電性材料的情況下，能夠降低圖案的電阻值的效果優(yōu)異。

(1)將各線段31、32的高度設(shè)為h1、h2，將該各線段間的最薄部分的高度設(shè)為z時(shí)，為5≤h1/z并且5≤h2/z。

(2)將各線段31、32的寬度設(shè)為w1、w2時(shí)，為w1≤10μm并且w2≤10μm。

(3)將各線段31、32的高度設(shè)為h1、h2時(shí)，為50nm＜h1＜5μm并且50nm＜h2＜5μm。

對(duì)于根據(jù)本發(fā)明形成了的圖案，也優(yōu)選根據(jù)需要實(shí)施燒成、鍍敷等后處理。含有導(dǎo)電性材料作為功能性材料的情況下，后處理優(yōu)選為提高圖案的導(dǎo)電性的處理。

本發(fā)明的帶透明導(dǎo)電膜的基材在基材表面具有含有采用以上說明的圖案形成方法形成了的圖案的透明導(dǎo)電膜。

透明導(dǎo)電膜即使在含有的功能性材料(導(dǎo)電性材料)自身不透明的情況下，通過使線狀液體變化為平行線圖案而細(xì)線化，也能夠使圖案難以可見。

圖12為說明透明導(dǎo)電膜的例子的圖。透明導(dǎo)電膜5優(yōu)選作為多個(gè)平行線圖案3的集合體而構(gòu)成。就透明導(dǎo)電膜5而言，例如優(yōu)選成為如圖12(a)和(b)中所示那樣在1個(gè)方向上將平行線圖案3多個(gè)并列而成的條狀、如圖12(c)和(d)中所示那樣使在1個(gè)方向上將平行線圖案3多個(gè)并列而成的圖案與在與其交叉的方向上將平行線圖案3多個(gè)并列而成的圖案交叉而成的篩網(wǎng)狀(也稱為格子狀)的形態(tài)。其中，圖12(a)和(c)的例子表示相對(duì)于基材1的邊平行地形成了平行線圖案3的情形，圖12(b)和(d)的例子表示相對(duì)于基材1的邊傾斜地形成了平行線圖案3的情形。

對(duì)帶透明導(dǎo)電膜的基材的用途并無特別限定，能夠用于各種電子設(shè)備具有的各種器件。

就帶透明導(dǎo)電膜的基材的優(yōu)選的用途而言，從顯著地發(fā)揮本發(fā)明的效果的觀點(diǎn)出發(fā)，例如能夠優(yōu)選地用作液晶、等離子體、有機(jī)電致發(fā)光、場致發(fā)射等各種方式的顯示器用透明電極，或者用作觸摸面板、移動(dòng)電話、電子紙、各種太陽能電池、各種電致發(fā)光調(diào)光元件等中使用的透明電極。

進(jìn)而，帶透明導(dǎo)電膜的基材優(yōu)選用作器件的透明電極。作為器件，并無特別限定，例如可以優(yōu)選地例示觸摸面板傳感器等。另外，作為具有這些器件的電子設(shè)備，并無特別限定，例如可以優(yōu)選地例示智能手機(jī)、平板終端等。

以上的說明中，對(duì)于一個(gè)方式所說明的構(gòu)成能夠適當(dāng)?shù)貞?yīng)用于其他方式。

實(shí)施例

以下，對(duì)于本發(fā)明的實(shí)施例進(jìn)行說明，但本發(fā)明并不受這些實(shí)施例限定。

1.圖案形成

(實(shí)施例1)

＜墨的組成＞

作為墨(含有功能性材料的液體)，制備了以下的組成的墨。

·銀納米粒子(平均粒徑：20nm)：0.054wt％

·表面活性劑(ビッグケミー公司制造“byk348”)：0.05wt％

·二甘醇單丁基醚(簡稱：degbe)(分散介質(zhì))：20wt％

·水(分散介質(zhì))：余量

＜基材＞

作為基材，準(zhǔn)備了以含有功能性材料的液體的接觸角成為20.3°的方式實(shí)施了表面處理的pet基材1。作為表面處理，使用信光電氣計(jì)裝公司制造的“ps-1m”進(jìn)行了電暈放電處理。

＜圖案的形成＞

一邊使液滴排出裝置(コニカミノルタ公司制造“km1024ilhe-30”(標(biāo)準(zhǔn)液滴容量30pl))相對(duì)于基材相對(duì)移動(dòng)一邊從該液滴排出裝置將墨排出，沿著相對(duì)于相對(duì)移動(dòng)方向α傾斜45°的方向，形成了多條線狀液體。

就各線狀液體的涂布間隔而言，對(duì)于透射率測(cè)定用的樣品，以成為2條線寬的倍數(shù)的值的方式進(jìn)行控制，對(duì)于端子電阻測(cè)定用的樣品，以成為1000μm的方式進(jìn)行控制。

通過使線狀液體蒸發(fā)、使其干燥，在該線狀液體的邊緣使功能性材料選擇性地堆積，在相對(duì)于相對(duì)移動(dòng)方向α傾斜45°的方向上形成了平行線圖案。在此，通過在加熱至70℃的平臺(tái)上配置了的基材進(jìn)行圖案形成，促進(jìn)線狀液體的干燥。

以上的圖案形成中，如以下那樣將形成線狀液體時(shí)的采用液滴排出裝置的墨排出進(jìn)行控制。

·單一液滴量(每1液滴的液滴容量)：30[pl]

·噴嘴列方向的構(gòu)成像素組的像素?cái)?shù)：7

·灰度級(jí)數(shù)：3[dpd]

·對(duì)于1個(gè)線狀液體的形成方向的液滴給予量：6.32[pl/μm]

·點(diǎn)直徑的重疊率：48.3[％]

得到的圖案是圖12(b)那樣的傾斜的條狀。

(實(shí)施例2)

＜墨的組成＞

作為墨(含有功能性材料的液體)，制備了以下的組成的墨。

·銀納米粒子(平均粒徑：20nm)：0.19wt％

·表面活性劑(ビッグケミー公司制造“byk348”)：0.05wt％

·二甘醇單丁基醚(簡稱：degbe)(分散介質(zhì))：20wt％

·水(分散介質(zhì))：余量

＜基材＞

作為基材，使用了與實(shí)施例1同樣的pet基材1。

＜圖案的形成＞

除了如以下那樣控制形成線狀液體時(shí)的采用液滴排出裝置的墨排出以外，與實(shí)施例1同樣。

·單一液滴量：30[pl]

·噴嘴列方向的構(gòu)成像素組的像素?cái)?shù)：2

·灰度級(jí)數(shù)：3[dpd]

·對(duì)于1個(gè)線狀液體的形成方向的液滴給予量：1.81[pl/μm]

·點(diǎn)直徑的重疊率：48.3[％]

得到的圖案為圖12(b)那樣的傾斜的條狀。

(實(shí)施例3)

＜墨的組成＞

作為墨(含有功能性材料的液體)，制備了以下的組成的墨。

·銀納米粒子(平均粒徑：20nm)：0.13wt％

·表面活性劑(ビッグケミー公司制造“byk348”)：0.05wt％

·二甘醇單丁基醚(簡稱：degbe)(分散介質(zhì))：20wt％

·水(分散介質(zhì))：余量

＜基材＞

作為基材，使用了與實(shí)施例1同樣的pet基材1。

＜圖案的形成＞

除了如以下那樣控制形成線狀液體時(shí)的采用液滴排出裝置的墨排出以外，與實(shí)施例1同樣。

·單一液滴量：30[pl]

·噴嘴列方向的構(gòu)成像素組的像素?cái)?shù)：3

·灰度級(jí)數(shù)：3[dpd]

·對(duì)于1個(gè)線狀液體的形成方向的液滴給予量：2.71[pl/μm]

·點(diǎn)直徑的重疊率：48.3[％]

得到的圖案為圖12(b)那樣的傾斜的條狀。

(實(shí)施例4)

＜墨的組成＞

作為墨(含有功能性材料的液體)，制備了以下的組成的墨。

·銀納米粒子(平均粒徑：20nm)：0.036wt％

·表面活性劑(ビッグケミー公司制造“byk348”)：0.05wt％

·二甘醇單丁基醚(簡稱：degbe)(分散介質(zhì))：20wt％

·水(分散介質(zhì))：余量

＜基材＞

作為基材，使用了與實(shí)施例1同樣的pet基材1。

＜圖案的形成＞

除了如以下那樣控制形成線狀液體時(shí)的采用液滴排出裝置的墨排出以外，與實(shí)施例1同樣。

·單一液滴量：30[pl]

·噴嘴列方向的構(gòu)成像素組的像素?cái)?shù)：8

·灰度級(jí)數(shù)：4[dpd]

·對(duì)于1個(gè)線狀液體的形成方向的液滴給予量：9.63[pl/μm]

·點(diǎn)直徑的重疊率：53.0[％]

得到的圖案為圖12(b)那樣的傾斜的條狀。

(實(shí)施例5)

＜墨的組成＞

作為墨(含有功能性材料的液體)，制備了以下的組成的墨。

·銀納米粒子(平均粒徑：20nm)：0.023wt％

·表面活性劑(ビッグケミー公司制造“byk348”)：0.05wt％

·二甘醇單丁基醚(簡稱：degbe)(分散介質(zhì))：20wt％

·水(分散介質(zhì))：余量

＜基材＞

作為基材，使用了與實(shí)施例1同樣的pet基材1。

＜圖案的形成＞

除了如以下那樣控制形成線狀液體時(shí)的采用液滴排出裝置的墨排出以外，與實(shí)施例1同樣。

·單一液滴量：30[pl]

·噴嘴列方向的構(gòu)成像素組的像素?cái)?shù)：8

·灰度級(jí)數(shù)：6[dpd]

·對(duì)于1個(gè)線狀液體的形成方向的液滴給予量：14.43[pl/μm]

·點(diǎn)直徑的重疊率：58.9[％]

得到的圖案為圖12(b)那樣的傾斜的條狀。

(實(shí)施例6)

＜墨的組成＞

作為墨(含有功能性材料的液體)，制備了以下的組成的墨。

·銀納米粒子(平均粒徑：20nm)：0.021wt％

·表面活性劑(ビッグケミー公司制造“byk348”)：0.05wt％

·二甘醇單丁基醚(簡稱：degbe)(分散介質(zhì))：20wt％

·水(分散介質(zhì))：余量

＜基材＞

作為基材，使用了與實(shí)施例1同樣的pet基材1。

＜圖案的形成＞

除了如以下那樣控制形成線狀液體時(shí)的采用液滴排出裝置的墨排出以外，與實(shí)施例1同樣。

·單一液滴量：30[pl]

·噴嘴列方向的構(gòu)成像素組的像素?cái)?shù)：9

·灰度級(jí)數(shù)：6[dpd]

·對(duì)于1個(gè)線狀液體的形成方向的液滴給予量：16.25[pl/μm]

·點(diǎn)直徑的重疊率：58.9[％]

得到的圖案為圖12(b)那樣的傾斜的條狀。

(實(shí)施例7)

＜墨的組成＞

作為墨(含有功能性材料的液體)，制備了以下的組成的墨。

·銀納米粒子(平均粒徑：20nm)：0.24wt％

·表面活性劑(ビッグケミー公司制造“byk348”)：0.05wt％

·二甘醇單丁基醚(簡稱：degbe)(分散介質(zhì))：20wt％

·水(分散介質(zhì))：余量

＜基材＞

作為基材，使用了與實(shí)施例1同樣的pet基材1。

＜圖案的形成＞

除了在形成線狀液體時(shí)使用液滴排出裝置(コニカミノルタ公司制造“km1024ishe”(標(biāo)準(zhǔn)液滴量6pl)，如以下那樣控制墨排出以外，與實(shí)施例1同樣。

·單一液滴量：6[pl]

·噴嘴列方向的構(gòu)成像素組的像素?cái)?shù)：6

·灰度級(jí)數(shù)：4[dpd]

·對(duì)于1個(gè)線狀液體的形成方向的液滴給予量：1.44[pl/μm]

·點(diǎn)直徑的重疊率：19.6[％]

得到的圖案為圖12(b)那樣的傾斜的條狀。

(實(shí)施例8)

＜墨的組成＞

作為墨(含有功能性材料的液體)，制備了以下的組成的墨。

·銀納米粒子(平均粒徑：20nm)：0.19wt％

·表面活性劑(ビッグケミー公司制造“byk348”)：0.05wt％

·二甘醇單丁基醚(簡稱：degbe)(分散介質(zhì))：20wt％

·水(分散介質(zhì))：余量

＜基材＞

作為基材，使用了與實(shí)施例1同樣的pet基材1。

＜圖案的形成＞

除了在形成線狀液體時(shí)使用液滴排出裝置(コニカミノルタ公司制造“km1024ishe”(標(biāo)準(zhǔn)液滴量6pl)，如以下那樣控制墨排出以外，與實(shí)施例1同樣。

·單一液滴量：6[pl]

·噴嘴列方向的構(gòu)成像素組的像素?cái)?shù)：6

·灰度級(jí)數(shù)：5[dpd]

·對(duì)于1個(gè)線狀液體的形成方向的液滴給予量：1.80[pl/μm]

·點(diǎn)直徑的重疊率：25.3[％]

得到的圖案為圖12(b)那樣的傾斜的條狀。

(實(shí)施例9)

＜墨的組成＞

作為墨(含有功能性材料的液體)，制備了以下的組成的墨。

·銀納米粒子(平均粒徑：20nm)：0.063wt％

·表面活性劑(ビッグケミー公司制造“byk348”)：0.05wt％

·二甘醇單丁基醚(簡稱：degbe)(分散介質(zhì))：20wt％

·水(分散介質(zhì))：余量

＜基材＞

作為基材，使用了與實(shí)施例1同樣的pet基材1。

＜圖案的形成＞

除了如以下那樣控制形成線狀液體時(shí)的采用液滴排出裝置的墨排出以外，與實(shí)施例1同樣。

·單一液滴量：30[pl]

·噴嘴列方向的構(gòu)成像素組的像素?cái)?shù)：3

·灰度級(jí)數(shù)：6[dpd]

·對(duì)于1個(gè)線狀液體的形成方向的液滴給予量：5.41[pl/μm]

·點(diǎn)直徑的重疊率：58.9[％]

得到的圖案為圖12(b)那樣的傾斜的條狀。

(實(shí)施例10)

＜墨的組成＞

作為墨，使用了與實(shí)施例1同樣的墨。

＜基材＞

作為基材，使用了與實(shí)施例1同樣的pet基材1。

＜圖案的形成＞

除了如以下那樣控制形成線狀液體時(shí)的采用液滴排出裝置的墨排出以外，與實(shí)施例1同樣。

·單一液滴量：30[pl]

·噴嘴列方向的構(gòu)成像素組的像素?cái)?shù)：3

·灰度級(jí)數(shù)：7[dpd]

·對(duì)于1個(gè)線狀液體的形成方向的液滴給予量：6.31[pl/μm]

·點(diǎn)直徑的重疊率：61.0[％]

得到的圖案為圖12(b)那樣的傾斜的條狀。

(實(shí)施例11)

＜墨的組成＞

作為墨，使用了與實(shí)施例1同樣的墨。

＜基材＞

作為基材，準(zhǔn)備了以含有功能性材料的液體的接觸角成為9.6°的方式實(shí)施了表面處理的pet基材2。作為表面處理，使用信光電氣計(jì)裝公司制造的“ps-1m”進(jìn)行了電暈放電處理。通過使表面處理的強(qiáng)度與實(shí)施例1不同，從而調(diào)整為上述接觸角。

＜圖案的形成＞

除了如以下那樣控制形成線狀液體時(shí)的采用液滴排出裝置的墨排出以外，與實(shí)施例1同樣。

·單一液滴量：30[pl]

·噴嘴列方向的構(gòu)成像素組的像素?cái)?shù)：7

·灰度級(jí)數(shù)：3[dpd]

·對(duì)于1個(gè)線狀液體的形成方向的液滴給予量：6.32[pl/μm]

·點(diǎn)直徑的重疊率：59.9[％]

得到的圖案為圖12(b)那樣的傾斜的條狀。

(實(shí)施例12)

＜墨的組成＞

作為墨，使用了與實(shí)施例1同樣的墨。

＜基材＞

作為基材，準(zhǔn)備了以含有功能性材料的液體的接觸角成為10.4°的方式實(shí)施了表面處理的pet基材3。作為表面處理，使用信光電氣計(jì)裝公司制造“ps-1m”進(jìn)行了電暈放電處理。通過使表面處理的強(qiáng)度與實(shí)施例1不同，從而調(diào)整為上述接觸角。

＜圖案的形成＞

除了如以下那樣控制形成線狀液體時(shí)的采用液滴排出裝置的墨排出以外，與實(shí)施例1同樣。

·單一液滴量：30[pl]

·噴嘴列方向的構(gòu)成像素組的像素?cái)?shù)：7

·灰度級(jí)數(shù)：3[dpd]

·對(duì)于1個(gè)線狀液體的形成方向的液滴給予量：6.32[pl/μm]

·點(diǎn)直徑的重疊率：58.8[％]

得到的圖案為如圖12(b)那樣的傾斜的條狀。

(實(shí)施例13)

＜墨的組成＞

作為墨，使用了與實(shí)施例1同樣的墨。

＜基材＞

作為基材，準(zhǔn)備了以含有功能性材料的液體的接觸角成為24.1°的方式實(shí)施了表面處理的pet基材4。作為表面處理，使用信光電氣計(jì)裝公司制造“ps-1m”進(jìn)行了電暈放電處理。通過使表面處理的強(qiáng)度與實(shí)施例1不同，從而調(diào)整為上述接觸角。

＜圖案的形成＞

除了如以下那樣控制形成線狀液體時(shí)的采用液滴排出裝置的墨排出以外，與實(shí)施例1同樣。

·單一液滴量：30[pl]

·噴嘴列方向的構(gòu)成像素組的像素?cái)?shù)：7

·灰度級(jí)數(shù)：3[dpd]

·對(duì)于1個(gè)線狀液體的形成方向的液滴給予量：6.32[pl/μm]

·點(diǎn)直徑的重疊率：45.1[％]

得到的圖案為如圖12(b)那樣的傾斜的條狀。

(實(shí)施例14)

＜墨的組成＞

作為墨，使用了與實(shí)施例1同樣的墨。

＜基材＞

作為基材，準(zhǔn)備了以含有功能性材料的液體的接觸角成為26.7°的方式實(shí)施了表面處理的pet基材5。作為表面處理，使用信光電氣計(jì)裝公司制造“ps-1m”進(jìn)行了電暈放電處理。通過使表面處理的強(qiáng)度與實(shí)施例1不同，從而調(diào)整為上述接觸角。

＜圖案的形成＞

除了如以下那樣控制形成線狀液體時(shí)的采用液滴排出裝置的墨排出以外，與實(shí)施例1同樣。

·單一液滴量：30[pl]

·噴嘴列方向的構(gòu)成像素組的像素?cái)?shù)：7

·灰度級(jí)數(shù)：3[dpd]

·對(duì)于1個(gè)線狀液體的形成方向的液滴給予量：6.32[pl/μm]

·點(diǎn)直徑的重疊率：43.0[％]

得到的圖案為如圖12(b)那樣的傾斜的條狀。

(實(shí)施例15)

＜墨的組成＞

作為墨(含有功能性材料的液體)，制備了以下的組成的墨。

·銀納米粒子(平均粒徑：20nm)：0.039wt％

·表面活性劑(ビッグケミー公司制造“byk348”)：0.05wt％

·二甘醇單丁基醚(簡稱：degbe)(分散介質(zhì))：20wt％

·水(分散介質(zhì))：余量

＜基材＞

作為基材，使用了與實(shí)施例1同樣的pet基材1。

＜圖案的形成＞

一邊使液滴排出裝置(コニカミノルタ公司制造“km1024ilhe-30”(標(biāo)準(zhǔn)液滴容量30pl))相對(duì)于基材相對(duì)移動(dòng)，一邊從該液滴排出裝置將墨排出，沿著相對(duì)移動(dòng)方向α，形成了多條線狀液體。

就各線狀液體的涂布間隔而言，對(duì)于透射率測(cè)定用的樣品，以成為2條線寬的倍數(shù)的值的方式進(jìn)行控制，對(duì)于端子電阻測(cè)定用的樣品，以成為1000μm的方式進(jìn)行控制。

通過使線狀液體蒸發(fā)、使其干燥，從而在該線狀液體的邊緣使功能性材料選擇性地堆積，在相對(duì)移動(dòng)方向α上形成了平行線圖案。其中，通過在加熱至70℃的平臺(tái)上配置了的基材進(jìn)行圖案形成，從而促進(jìn)線狀液體的干燥。

以上的圖案形成中，如以下那樣控制了形成線狀液體時(shí)的采用液滴排出裝置的墨排出。

·單一液滴量(每1液滴的液滴容量)：30[pl]

·噴嘴列方向的構(gòu)成像素組的像素?cái)?shù)：7

·灰度級(jí)數(shù)：3[dpd]

·對(duì)于1個(gè)線狀液體的形成方向的液滴給予量：8.94[pl/μm]

·點(diǎn)直徑的重疊率：48.3[％]

得到的圖案為圖12(a)那樣的條狀。

(實(shí)施例16)

＜墨的組成＞

作為墨，使用了與實(shí)施例15同樣的墨。

＜基材＞

作為基材，使用了將與實(shí)施例1同樣的pet基材1粘貼于圖13中所示的凹面形狀的玻璃的凹面的產(chǎn)物。

＜圖案的形成＞

一邊使液滴排出裝置(コニカミノルタ公司制造“km1024ilhe-30”(標(biāo)準(zhǔn)液滴容量30pl))相對(duì)于基材相對(duì)移動(dòng)，一邊從該液滴排出裝置將墨排出，沿著相對(duì)移動(dòng)方向α，形成了多條線狀液體。

就各線狀液體的涂布間隔而言，對(duì)于透射率測(cè)定用的樣品，以成為2條線寬的倍數(shù)的值的方式進(jìn)行控制，對(duì)于端子電阻測(cè)定用的樣品，以成為1000μm的方式進(jìn)行控制。

通過使線狀液體蒸發(fā)、使其干燥，從而在該線狀液體的邊緣使功能性材料選擇性地堆積，在相對(duì)移動(dòng)方向α上形成了平行線圖案。其中，通過在加熱至70℃的平臺(tái)上配置了的基材進(jìn)行圖案形成，從而促進(jìn)線狀液體的干燥。

以上的圖案形成中，如以下那樣控制了形成線狀液體時(shí)的采用液滴排出裝置的墨排出。

·單一液滴量(每1液滴的液滴容量)：30[pl]

·噴嘴列方向的構(gòu)成像素組的像素?cái)?shù)：7

·灰度級(jí)數(shù)：3[dpd]

·對(duì)于1個(gè)線狀液體的形成方向的液滴給予量：8.94[pl/μm]

·點(diǎn)直徑的重疊率：48.3[％]

在基材的凹面形成了的圖案為圖12(a)那樣的條狀。

(比較例1)

＜墨的組成＞

作為墨，使用了與實(shí)施例1同樣的墨。

＜基材＞

作為基材，使用了與實(shí)施例1同樣的pet基材1。

＜圖案的形成＞

除了如以下那樣控制形成線狀液體時(shí)的采用液滴排出裝置的墨排出以外，與實(shí)施例1同樣。

·單一液滴量：30[pl]

·噴嘴列方向的像素?cái)?shù)：1

·灰度級(jí)數(shù)：21[dpd]

·對(duì)于1個(gè)線狀液體的形成方向的液滴給予量：6.32[pl/μm]

·點(diǎn)直徑的重疊率：73.0[％]

得到的圖案為圖12(b)那樣的傾向的條狀。

(比較例2)

＜墨的組成＞

作為墨，使用了與實(shí)施例15同樣的墨。

＜基材＞

作為基材，使用了與實(shí)施例15同樣的pet基材1。

＜圖案的形成＞

除了如以下那樣控制形成線狀液體時(shí)的采用液滴排出裝置的墨排出以外，與實(shí)施例15同樣。

·單一液滴量：30[pl]

·噴嘴列方向的像素?cái)?shù)：1

·灰度級(jí)數(shù)：21[dpd]

·對(duì)于1個(gè)線狀液體的形成方向的液滴給予量：6.32[pl/μm]

·點(diǎn)直徑的重疊率：73.0[％]

得到的圖案為圖12(a)那樣的條狀。

2.評(píng)價(jià)方法

對(duì)于各實(shí)施例和比較例中形成了的圖案，評(píng)價(jià)了圖案性狀和物性值。

(1)圖案性狀

作為圖案性狀，對(duì)于以下的項(xiàng)目(防鼓脹性、2條線寬和細(xì)線寬)進(jìn)行了評(píng)價(jià)。

·防鼓脹性

表1～5中所示的2條線性狀為通過光學(xué)顯微鏡觀察來觀察1組2條細(xì)線，按照下述評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)評(píng)價(jià)了防鼓脹性。

＜評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)＞

a：沒有產(chǎn)生鼓脹

b：少許地產(chǎn)生了鼓脹

c：大量地產(chǎn)生了鼓脹

·2條線寬

2條線寬(μm)為通過光學(xué)顯微鏡觀察測(cè)定了的1組2條細(xì)線間的間隔。測(cè)定值相當(dāng)于上述的配置間隔i。

·細(xì)線寬

細(xì)線寬(μm)為通過光學(xué)顯微鏡觀察測(cè)定了的1組2條細(xì)線的寬度。測(cè)定值相當(dāng)于上述的寬度w1、w2。予以說明，由于2條細(xì)線的寬度基本上相同，因此用一條細(xì)線的測(cè)定值作為細(xì)線寬(μm)。

(2)物性值

作為物性值，對(duì)于以下的項(xiàng)目(透射率、薄層電阻和端子電阻)進(jìn)行了評(píng)價(jià)。

·透射率(全光線透射率)

透射率(全光線透射率)(％t)為使用東京電色公司制automatichazemeter(modeltc-hiiidp)測(cè)定了全光線透射率。予以說明，使用無圖案的基材進(jìn)行修正，測(cè)定為作成的圖案的全光線透射率。

·端子電阻

端子電阻(ω)為將形成了圖案的基材以長邊沿著圖案形成方向的方式切出成100mm×10mm的長條狀、測(cè)定了的端子間(即，長條狀區(qū)域的縱向方向的兩端間)的電阻值的值。在測(cè)定前，通過在120℃下、在熱板上將基材加熱1小時(shí)，從而對(duì)圖案實(shí)施了加熱燒成處理。

將以上的評(píng)價(jià)結(jié)果示于表1～5中。

[表4]

[表5]

3.評(píng)價(jià)

將表1～4中所示的實(shí)施例1～16與比較例1、2進(jìn)行對(duì)比，得知：根據(jù)本發(fā)明，不依賴于細(xì)線形成方向，特別是即使在使線狀液體2的形成寬度變大而使細(xì)線31、32的配置間隔i變大的情況下，也能夠適宜地防止在所生成的細(xì)線31、32中產(chǎn)生鼓脹。即，可知根據(jù)本發(fā)明可獲得如下的效果：在不使含有功能性材料的細(xì)線的形成不穩(wěn)定化的情況下，能夠提高該細(xì)線的配置間隔i設(shè)定的自由度。

特別是如果關(guān)注實(shí)施例2～6，由實(shí)施例3～5的結(jié)果可知，通過使對(duì)于1個(gè)線狀液體的形成方向的液滴給予量成為2.5[pl/μm]以上且15[pl/μm]以下的范圍，能夠使2條線寬(相當(dāng)于配置間隔i)變得更大，能夠進(jìn)一步提高透射率，同時(shí)能夠進(jìn)一步防止鼓脹，進(jìn)一步降低電阻。

特別是如果關(guān)注實(shí)施例7～10，可知通過將點(diǎn)直徑重疊率調(diào)整為20％以上且60％以下，能夠進(jìn)一步防止鼓脹，進(jìn)一步降低電阻。

特別是如果關(guān)注實(shí)施例11～14，由實(shí)施例13、14的結(jié)果可知，通過將由液滴排出裝置所排出的液滴的在基材上的接觸角調(diào)整為10[°]以上且25[°]以下的范圍，能夠使細(xì)線31、32的各自的細(xì)線寬進(jìn)一步變細(xì)，能夠進(jìn)一步提高透射率，同時(shí)能夠進(jìn)一步防止鼓脹，能夠進(jìn)一步降低電阻。

特別是如果關(guān)注實(shí)施例1、15，可知不依賴于相對(duì)于頭相對(duì)移動(dòng)方向的細(xì)線形成角度而發(fā)揮本發(fā)明的效果。

特別是如果關(guān)注實(shí)施例16，可知本發(fā)明在具有凹凸面的基材進(jìn)行圖案形成時(shí)也適合使用。

5.采用光學(xué)顯微鏡的觀察

在圖14(a)～(d)中示出了4張光學(xué)顯微鏡照片。這些都是對(duì)使在基材上所給予了的線狀液體干燥時(shí)在該線狀液體的邊緣使功能性材料堆積而形成了的細(xì)線圖案拍攝的照片。圖中，暗的部分對(duì)應(yīng)于基材，線狀的明亮的部分對(duì)應(yīng)于在基材上所形成了的細(xì)線。

圖14(a)和(b)為本發(fā)明的實(shí)施例，在各自形成1條線狀液體時(shí)，在與噴嘴列交叉的方向上給予多組對(duì)于由相對(duì)于液滴排出裝置的噴嘴列平行地所配置的3個(gè)像素構(gòu)成的像素組從多個(gè)噴嘴所給予的液滴組，使這些液滴組合為一體，形成了在與噴嘴列交叉的方向上延伸的線狀液體。

圖14(a)中，通過使灰度級(jí)數(shù)設(shè)定為5[dpd]，對(duì)于構(gòu)成像素組的3個(gè)像素使合計(jì)15滴的液滴彈著。圖14(b)中，通過將灰度級(jí)數(shù)設(shè)定為7[dpd]，相對(duì)于構(gòu)成像素組的3個(gè)像素使合計(jì)21滴的液滴彈著。得知：這樣即使將彈著液滴數(shù)設(shè)定得比較多而使2條線寬變大的情況下，也防止鼓脹。

另一方面，圖14(c)及(d)為比較例，是在形成1條線狀液體時(shí)，在與噴嘴列交叉的方向上給予多個(gè)不是對(duì)于像素組而是對(duì)于1個(gè)像素所給予的液滴、使這些液滴合為一體，形成了在與噴嘴列交叉的方向上延伸的線狀液體。

圖14(c)中，通過將灰度級(jí)數(shù)設(shè)定為6[dpd]，對(duì)于1個(gè)像素使合計(jì)6滴的液滴彈著。圖14(d)中，通過將灰度級(jí)數(shù)設(shè)定為14[dpd]，對(duì)于1個(gè)像素使合計(jì)14滴的液滴彈著。在使彈著液滴數(shù)變得比較小的圖14(c)中，幾乎沒有發(fā)現(xiàn)鼓脹的發(fā)生，但不能使2條線寬變大。得知：如果如圖14(d)那樣使彈著液滴數(shù)變大，則鼓脹的發(fā)生變得顯著。因此得知：在使2條線寬變大的情況下，不能防止鼓脹。

特別地，就實(shí)施例的圖14(a)與比較例的圖14(d)而言，得知：盡管線狀液體的單位長度的液滴給予量是相同程度、即使配置間隔i相同程度地變大，但在使用了本發(fā)明的圖14(a)中，防鼓脹性格外地優(yōu)異。在本發(fā)明中，即使與其相比進(jìn)一步地增加彈著液滴數(shù)而使液滴給予量變大、使配置間隔i進(jìn)一步變大，也能夠如圖14(b)中所示那樣適宜地發(fā)揮防鼓脹性。

由以上的結(jié)果也得知：根據(jù)本發(fā)明，能夠在不使含有功能性材料的細(xì)線的形成不穩(wěn)定化的情況下提高該細(xì)線的配置間隔i設(shè)定的自由度。

符號(hào)的說明

1：基材

2：線狀液體

20：液滴

3：平行線圖案

31、32：細(xì)線

4：液滴排出裝置

40：噴嘴列

41、41a～41j：噴嘴