本實(shí)用新型涉及硅晶制作設(shè)備中噴涂裝置，特別適用于噴涂坩堝內(nèi)外壁用的新型通用多晶鑄錠坩堝噴涂臺(tái)裝置。

背景技術(shù)：

坩堝噴涂用純水把粉末噴料氮化硅分子式為Ｓi3Ｎ4，是一種重要的結(jié)構(gòu)陶瓷材料。它是一種超硬物質(zhì)，本身具有潤(rùn)滑性，并且耐磨損；除氫氟酸外，它不與其他無(wú)機(jī)酸反應(yīng)，抗腐蝕能力強(qiáng)，高溫時(shí)抗氧化。而且它還能抵抗冷沖擊，有空氣中加熱到1000℃以上，急劇冷卻再急劇加熱，也不會(huì)碎裂。等涂噴在坩堝表面，在加熱作用下，使液態(tài)氮化硅均勻的吸附坩堝表面，形成粉狀涂層，涂層目的是保護(hù)石英坩堝在高溫下石英坩堝與硅隔離，使液態(tài)硅不與石英坩堝反應(yīng)，而使石英坩堝破裂，及冷確后最終保證硅碇脫膜完整性。坩堝噴涂是利用不同于其它噴涂技術(shù)和方法，坩堝噴涂是涂裝坩堝通過(guò)加熱使其液態(tài)混合物氮化硅迅速附著在坩堝表面。涂裝坩堝的方法可分為加熱噴涂與滾涂?jī)煞N方法涂覆工藝，滾涂涂裝其技術(shù)工藝簡(jiǎn)單，涂裝涂層不均，時(shí)間長(zhǎng)，氮化硅使用量大，成本高，所以公司現(xiàn)使用的是較先進(jìn)工藝熱噴涂技術(shù)。

噴涂坩堝對(duì)多晶鑄錠制造至關(guān)重要，因現(xiàn)有的坩堝多為G6/G7兩種尺寸，目前使用的噴涂臺(tái)多為針對(duì)坩堝尺寸分別定制的噴涂臺(tái)，成本高且實(shí)用性受局限，故需要一種新的技術(shù)方案，以解決上述問(wèn)題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

實(shí)用新型目的，本實(shí)用新型針對(duì)上述現(xiàn)有的噴涂臺(tái)笨重并且難以適應(yīng)多種型號(hào)的問(wèn)題，而提供了多晶鑄錠坩堝噴涂臺(tái)裝置，其可以適應(yīng)任何尺寸坩堝，不受限制，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單易用。

本實(shí)用新型所要解決的問(wèn)題是由以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的：

一種新型通用多晶鑄錠坩堝噴涂臺(tái)裝置，其包括支撐平臺(tái)，在支撐平臺(tái)上設(shè)有四個(gè)組成十字狀的平臺(tái)導(dǎo)軌，每個(gè)導(dǎo)軌上都配裝有一豎直面板，每個(gè)豎直面板都設(shè)有一圓環(huán)，在支撐平臺(tái)上還設(shè)有一驅(qū)動(dòng)電機(jī)，驅(qū)動(dòng)電機(jī)上配裝有滾輪，在滾輪上設(shè)有繩索，繩索的自由端穿過(guò)每個(gè)豎直面板的圓環(huán)并固定在支撐平臺(tái)上。

進(jìn)一步的，在每個(gè)導(dǎo)軌上都配裝有一限位塊，限位塊上連接有彈簧，彈簧連接至豎直面板上。

進(jìn)一步的，所述的各個(gè)豎直面板形成方框狀。

進(jìn)一步的，所述的繩索為尼龍繩索。

本實(shí)用新型相對(duì)于現(xiàn)有而言具有的有益效果：

采用繩索配合電機(jī)進(jìn)行緊縮和擴(kuò)張，搭配不同坩堝可以卡合任何尺寸，配裝上卡合件之后可以保證足夠的伸縮擴(kuò)張余量，以配合不同型號(hào)，整體結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單高效。

采用彈簧配合燕尾槽和燕尾形導(dǎo)軌，受力均勻，防止出現(xiàn)磨損失效的情況

附圖說(shuō)明

圖1是本實(shí)用新型的俯視圖。

圖2是本實(shí)用新型的側(cè)視圖。

其中，驅(qū)動(dòng)電機(jī)1、豎直面板2、平臺(tái)導(dǎo)軌3、彈簧4、繩索5、支撐平臺(tái)6。

具體實(shí)施方式

參照?qǐng)D1、圖2所示，提供了一種新型通用多晶鑄錠坩堝噴涂臺(tái)裝置，其包括支撐平臺(tái)6，在支撐平臺(tái)上設(shè)有四個(gè)組成十字狀的平臺(tái)導(dǎo)軌3，每個(gè)導(dǎo)軌與相鄰的導(dǎo)軌相垂直，每個(gè)導(dǎo)軌上都配裝有一豎直面板2，各個(gè)豎直面板形成方框狀，在每個(gè)導(dǎo)軌上都配裝有一限位塊，限位塊上連接有彈簧4，彈簧連接至豎直面板上。每個(gè)豎直面板都設(shè)有一圓環(huán)，在支撐平臺(tái)上還設(shè)有一驅(qū)動(dòng)電機(jī)1，驅(qū)動(dòng)電機(jī)上配裝有滾輪，在滾輪上設(shè)有繩索5，繩索的自由端穿過(guò)每個(gè)豎直面板的圓環(huán)并固定在支撐平臺(tái)上。

為保證連接強(qiáng)度，所述的繩索為尼龍繩索。

以下根據(jù)附圖對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步說(shuō)明：

在使用過(guò)程中，由驅(qū)動(dòng)電機(jī)帶動(dòng)滾輪，進(jìn)而抽動(dòng)繩索，繩索漸漸勒緊以將各個(gè)面板逐漸聚攏，當(dāng)需要增加口徑時(shí)，驅(qū)動(dòng)電機(jī)翻轉(zhuǎn)放開(kāi)繩索，在彈簧的作用下各個(gè)面板逐漸分散，即可適應(yīng)不同口徑。