本實用新型涉及鍺烷純化技術領域，特別是鍺烷精餾系統(tǒng)。

背景技術：

鍺烷是一種在半導體工業(yè)上有重要用途的危險性的氣體，同時也是毒性很高的無色氣體，長久以來，要怎樣有效去除鍺烷里面混合的水分和其他雜質一直沒有一個很好的有效方法，然而在工業(yè)上對鍺烷純度的要求卻是很高的。

而且鍺烷是一個很不穩(wěn)定的氣體，很容易就會有乙烷和丙鍺烷產生，因此對于如何有效的去除鍺烷內的雜質迫在眉睫。

技術實現(xiàn)要素：

本實用新型的目的在于提供一種鍺烷精餾系統(tǒng)，以滿足鍺烷去除雜質方法的空白，同時提高精餾的安全性、高效性和實用性。

為實現(xiàn)上述技術目的，達到上述技術效果，本實用新型公開了鍺烷精餾系統(tǒng)，鍺烷精餾系統(tǒng)通過輸配管道與真空泵組、尾氣處理系統(tǒng)、氮氣管道、氦氣管道相連，包括了雜質吸收塔組件、雜質吸收塔備用塔組件和反應組件，雜質吸收塔組件和雜質吸收塔備用塔組件與真空泵組、尾氣處理系統(tǒng)、氮氣管道和氦氣管道相連，連接處設置有氣動隔離閥組，雜質吸收塔組件與反應組件相連，雜質吸收塔組件和雜質吸收塔備用塔組件相互串聯(lián)，雜質吸收塔備用塔組件底部通過輸配管道經過過濾器與交流純化系統(tǒng)相連。

其中，雜質吸收塔組件和雜質吸收塔備用塔組件結構相同，頂部設置有填料口和壓力表，底部設置有倒料口，雜質吸收塔備用塔組件底部設置有加熱棒，雜質吸收塔備用塔組件的側邊設置有溫度傳感器。

其中，反應組件包括了反應器、熱交換器和冷凝器，反應器通過輸配管道順次與熱交換器和冷凝器相連，冷凝器與雜質吸收塔組件相連。

優(yōu)選的，雜質吸收塔組件和雜質吸收塔備用塔組件為不銹鋼材質制成。

優(yōu)選的，還包括有PLC控制組件，PLC控制組件通過信號線路與雜質吸收塔組件和雜質吸收塔備用塔組件相連。

本實用新型具有以下有益效果：

1.根據(jù)系統(tǒng)的整體結構對精餾系統(tǒng)雜質吸收塔進行合理區(qū)分，分為雜質吸收塔組件和雜質吸收塔備用塔組件，并填充不同用途的填料，雜質吸收塔組件和雜質吸收塔備用塔組件連接有氦氣管道，氮氣管道，真空泵組，可以對雜質吸收塔進行內部清洗，并且對雜質吸收塔組件和雜質吸收塔備用塔組件采用PLC控制系統(tǒng)的設計，從而使鍺烷的純化精餾更加的安全、高效和純度更高。

2.經過精密合理的設計，同時可在雜質吸收塔備用塔組件內增設加熱棒，利于鍺烷純化更加完全，精餾更加徹底，同時加熱棒可以對吸收塔里面的填料進行活化，讓填料能夠重復的使用。整體系統(tǒng)的設計彌補了純化鍺烷純化的空缺，填補了鍺烷精餾不成熟的技術難題。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖。

1：雜質吸收塔組件，2：雜質吸收塔備用塔組件，3：過濾器，4：填料口，5：壓力表，6：倒料口，7：加熱棒，8：溫度傳感器，9：反應器，10：熱交換器，11：冷凝器，12：PLC控制組件，13:氣動隔離閥組。

具體實施方式

為了使本實用新型的目的、技術方案及優(yōu)點更加清楚明白，以下結合附圖及實施例，對本實用新型進行進一步詳細說明。

如圖1所示，本實用新型公開了鍺烷精餾系統(tǒng)，鍺烷精餾系統(tǒng)通過輸配管道與真空泵組、尾氣處理系統(tǒng)、氮氣管道、氦氣管道相連，包括了雜質吸收塔組件1、雜質吸收塔備用塔組件2、反應組件和PLC控制組件12，雜質吸收塔組件1和雜質吸收塔備用塔組件2與真空泵組、尾氣處理系統(tǒng)、氮氣管道和氦氣管道相連，連接處設置有氣動隔離閥組13，雜質吸收塔組件1與反應組件相連，雜質吸收塔組件1和雜質吸收塔備用塔組件2相互串聯(lián)，雜質吸收塔備用塔組件2底部通過輸配管道經過過濾器3與交流純化系統(tǒng)相連，PLC控制組件12通過信號線路與雜質吸收塔組件1和雜質吸收塔備用塔組件2相連。

雜質吸收塔組件1和雜質吸收塔備用塔組件2結構相同均為不銹鋼材質制成，頂部設置有填料口4和壓力表5，底部設置有倒料口6，雜質吸收塔備用塔組件2底部設置有加熱棒7，雜質吸收塔備用塔組件2的側邊設置有溫度傳感器8。

反應組件包括了反應器9、熱交換器10和冷凝器11，反應器9通過輸配管道順次與熱交換器10和冷凝器11相連，冷凝器11與雜質吸收塔組件1相連。

工作原理：

在鍺烷進入精餾系統(tǒng)之前，為確保系統(tǒng)內的管道沒有雜質存在，需要對精餾系統(tǒng)進行分段清洗，開啟氣動隔離閥組13中相應的氣動隔離閥對雜質吸收塔組件1和雜質吸收塔備用塔組件2進行吹掃清洗，重復若干次保證吸收塔清潔。

開始純化鍺烷時，需要先讓冷凝器11冷凝一段時間，然后開啟反應組件、雜質吸收塔組件1和雜質吸收塔備用塔組件2直接的輸配管道，準備就緒后，鍺烷從反應器9依次通過熱交換器10和冷凝器11，進入雜質吸收塔組件1和雜質吸收塔備用塔組件2進行雜質吸收，最后通過過濾器3進入交流純化系統(tǒng)。純化過程中，雜質吸收塔組件1吸收的是二氧化碳和水分，雜質吸收塔備用塔組件2吸收的是乙鍺烷和丙鍺烷以及其他一些雜質，熱交換器10，冷凝器11將鍺烷中的水分冷凝去除掉，同時用氮氣氦氣排空抽真空管道。

以上所述，僅為本實用新型較佳的具體實施方式，但本實用新型的保護范圍并不局限于此，任何熟悉本技術領域的技術人員在本實用新型揭露的技術范圍內，可輕易想到的變化或替換，都應涵蓋在本實用新型的保護范圍之內。