本實(shí)用新型涉及氣體凈化技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說，涉及一種廢氣處理裝置。

背景技術(shù)：

在半導(dǎo)體、面板顯示器、LED、太陽能和MEMS微機(jī)電等制造領(lǐng)域中，生產(chǎn)過程中都會(huì)產(chǎn)生廢氣，以半導(dǎo)體制造為例，其制程設(shè)備在生產(chǎn)時(shí)排放的氣體可以分為如下三類：第一類是易燃易爆氣體，如氫氣(H₂)或硅烷(SiH₄)；第二類是有毒氣體，如一氧化二氮(N₂O)、氯氣(Cl₂)、氟氣(F₂)；第三類是溫室效應(yīng)氣體，如四氟化碳(CF₄)、三氟化氮(NF₃)、六氟化硫(SF₆)等等，其中三氟化氮(NF₃)也具有毒性，四氟化碳(CF₄)也在動(dòng)物實(shí)驗(yàn)上被證實(shí)能破壞細(xì)胞壁結(jié)構(gòu)，使其他污染物更容易進(jìn)入細(xì)胞內(nèi)，因此在這些氣體排放到周圍環(huán)境中之前必須進(jìn)行處理。

目前，常用的廢氣處理方式包括“熱分解+液淋式”、“燃?xì)馊紵?液淋式”和“高溫等離子體+液淋式”等等，都是先將廢氣處理成穩(wěn)定的副產(chǎn)品，然后在液淋區(qū)進(jìn)行液淋沖洗。其中“燃?xì)馊紵?液淋式”運(yùn)用與接受度最為廣泛，燃燒處理反應(yīng)式如下：

但是，隨著近年新制程設(shè)備廢氣排放量的增加，生產(chǎn)過程中的副產(chǎn)物如二氧化硅這類粉塵會(huì)夾雜在廢氣中，這就需要做出相應(yīng)的處理。例如制程設(shè)備在基于硅烷(SiH₄)工藝的生產(chǎn)中，在反應(yīng)腔內(nèi)燃?xì)獾娜紵枰細(xì)馊缪鯕?O₂)，由于硅烷(SiH₄)會(huì)與氧氣(O₂)產(chǎn)生氧化反應(yīng)，生產(chǎn)二氧化硅(SiO₂)，而此類燃?xì)馊紵龔U氣處理裝置為降低氮氧化合物(NO_x)的產(chǎn)生，就會(huì)采用已在多各行業(yè)內(nèi)廣泛運(yùn)用的多級燃燒方式供氣，而此種方式在反應(yīng)腔提供了多余的氧氣。而過多的氧氣極易產(chǎn)生上述反應(yīng)導(dǎo)致二氧化硅粉塵的產(chǎn)生，該粉塵進(jìn)入廢氣處理裝置內(nèi)部后，由于裝置中的每個(gè)噴口都在噴氣，氣流之間互 相擾亂，導(dǎo)致廢氣中的顆粒物不但會(huì)隨氣流的方向運(yùn)動(dòng)，而且會(huì)被其他噴口的氣流所干擾，吹到多個(gè)噴口之間無噴口的區(qū)域，這些顆粒物體積微小，分子間存在相互作用的引力，而且還存在靜電吸引力，或者由于高溫會(huì)產(chǎn)生粘附等等，都會(huì)導(dǎo)致顆粒物粘附在噴口周圍的表面上，這就會(huì)逐漸阻塞廢氣處理裝置內(nèi)部空間，不但影響處理氣體的效率甚至還會(huì)造成安全隱患。在工廠的潔凈室內(nèi)，若頻繁的維護(hù)清理廢氣處理裝置及其與裝置后端連接的中央排風(fēng)管道，不但加重工作人員的負(fù)擔(dān)，還易造成污染物擴(kuò)散，因此減少廢氣處理裝置維護(hù)的頻率就變得非常重要。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供了一種廢氣處理裝置，能夠避免顆粒物或粉塵粘附在反應(yīng)腔內(nèi)，降低維護(hù)清理的負(fù)擔(dān)，避免污染物擴(kuò)散。

本實(shí)用新型提供的上述廢氣處理裝置，包括：

水箱，所述水箱上部包括相互連通的位于左側(cè)的液淋除塵部件和位于右側(cè)的噴淋洗滌部件，所述液淋除塵部件的上部設(shè)置有與其連通的反應(yīng)腔，所述反應(yīng)腔的上部具有將廢氣引入所述反應(yīng)腔內(nèi)部的廢氣進(jìn)氣部件，所述反應(yīng)腔側(cè)壁的外側(cè)面具有引入助燃?xì)怏w的供氣部件，所述反應(yīng)腔的側(cè)壁的內(nèi)側(cè)面覆蓋有密集多孔狀的金屬內(nèi)筒，且所述供氣部件的噴口均位于所述反應(yīng)腔的側(cè)壁和所述金屬內(nèi)筒之間，且所述噴口均與所述金屬內(nèi)筒的孔相連通。

優(yōu)選的，在上述廢氣處理裝置中，所述金屬內(nèi)筒的形狀為圓臺(tái)形，且所述金屬內(nèi)筒的上表面的直徑小于下表面的直徑。

優(yōu)選的，在上述廢氣處理裝置中，所述金屬內(nèi)筒的孔為直徑范圍為0.5毫米至0.8毫米的孔。

優(yōu)選的，在上述廢氣處理裝置中，所述金屬內(nèi)筒為鎳金屬內(nèi)筒。

優(yōu)選的，在上述廢氣處理裝置中，所述供氣部件包括連接有氣罐的風(fēng)機(jī)。

優(yōu)選的，在上述廢氣處理裝置中，所述風(fēng)機(jī)為連接有氧氣氣罐或壓縮空氣氣罐的風(fēng)機(jī)。

從上述技術(shù)方案可以看出，本實(shí)用新型所提供的廢氣處理裝置，由于包括水箱，所述水箱上部包括相互連通的位于左側(cè)的液淋除塵部件和位于右側(cè) 的噴淋洗滌部件，所述液淋除塵部件的上部設(shè)置有與其連通的反應(yīng)腔，所述反應(yīng)腔的上部具有將廢氣引入所述反應(yīng)腔內(nèi)部的廢氣進(jìn)氣部件，所述反應(yīng)腔側(cè)壁的外側(cè)面具有引入助燃?xì)怏w的供氣部件，所述反應(yīng)腔的側(cè)壁的內(nèi)側(cè)面覆蓋有密集多孔狀的金屬內(nèi)筒，且所述供氣部件的噴口均位于所述反應(yīng)腔的側(cè)壁和所述金屬內(nèi)筒之間，且所述噴口均與所述金屬內(nèi)筒的孔相連通，因此在連續(xù)供風(fēng)模式下，遍布細(xì)小的孔且孔與孔之間的間隙極小的金屬內(nèi)筒的內(nèi)周面產(chǎn)生向內(nèi)的氣流膜，導(dǎo)致二氧化硅顆粒物無法向金屬內(nèi)筒的內(nèi)表面靠近附著，從而能夠避免顆粒物或粉塵粘附在反應(yīng)腔內(nèi)，降低維護(hù)清理的負(fù)擔(dān)，避免污染物擴(kuò)散。

附圖說明

為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的實(shí)施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)提供的附圖獲得其他的附圖。

圖1為本申請實(shí)施例提供的第一種廢氣處理裝置的示意圖；

圖2為本申請實(shí)施例提供的廢氣處理裝置的工作原理示意圖。

具體實(shí)施方式

本實(shí)用新型的核心思想在于提供一種廢氣處理裝置，能夠避免顆粒物或粉塵粘附在反應(yīng)腔內(nèi)，降低維護(hù)清理的負(fù)擔(dān)，避免污染物擴(kuò)散。

下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。

本申請實(shí)施例提供的第一種廢氣處理裝置如圖1所示，圖1為本申請實(shí)施例提供的第一種廢氣處理裝置的示意圖。該廢氣處理裝置包括：

水箱1，所述水箱1上部包括相互連通的位于左側(cè)的液淋除塵部件2和位于 右側(cè)的噴淋洗滌部件3，所述液淋除塵部件2的上部設(shè)置有與其連通的反應(yīng)腔4，該反應(yīng)腔4用于包圍由燃燒火炬生成的火焰與要處理的尾氣，在其內(nèi)部對要處理的尾氣進(jìn)行分解，降低氮氧化合物的產(chǎn)生；

所述反應(yīng)腔4的上部具有將廢氣引入所述反應(yīng)腔4內(nèi)部的廢氣進(jìn)氣部件5，所述反應(yīng)腔4側(cè)壁的外側(cè)面具有引入助燃?xì)怏w的供氣部件6，所述反應(yīng)腔4的側(cè)壁的內(nèi)側(cè)面覆蓋有密集多孔狀的金屬內(nèi)筒7，且所述供氣部件6的噴口均位于所述反應(yīng)腔4的側(cè)壁和所述金屬內(nèi)筒7之間，且所述噴口均與所述金屬內(nèi)筒7的孔相連通，具體的，反應(yīng)腔的外筒豎立安裝在液淋除塵部件2上，金屬內(nèi)筒7被安裝在外筒的內(nèi)周面，具有比外筒小的直徑，該外筒內(nèi)周面和金屬內(nèi)筒外周面之間的空間中，形成安裝多級供氣裝置的空間結(jié)構(gòu)。

上述廢氣處理裝置的工作原理如圖2所示，圖2為本申請實(shí)施例提供的廢氣處理裝置的工作原理示意圖，廢氣從位于反應(yīng)腔上部的廢氣進(jìn)氣部件5進(jìn)入該廢氣處理裝置，助燃?xì)鈴姆磻?yīng)腔4左側(cè)穿過金屬內(nèi)筒7的孔之后進(jìn)入該反應(yīng)腔4，利用火焰將二者點(diǎn)燃后形成的氣體在依次經(jīng)過液淋除塵部件2的除塵和噴淋洗滌部件3的洗滌之后達(dá)到環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)，離開該廢氣處理裝置。

從上述技術(shù)方案可以看出，本申請實(shí)施例所提供的第一種廢氣處理裝置，由于包括水箱，所述水箱上部包括相互連通的位于左側(cè)的液淋除塵部件和位于右側(cè)的噴淋洗滌部件，所述液淋除塵部件的上部設(shè)置有與其連通的反應(yīng)腔，所述反應(yīng)腔的上部具有將廢氣引入所述反應(yīng)腔內(nèi)部的廢氣進(jìn)氣部件，所述反應(yīng)腔側(cè)壁的外側(cè)面具有引入助燃?xì)怏w的供氣部件，所述反應(yīng)腔的側(cè)壁的內(nèi)側(cè)面覆蓋有密集多孔狀的金屬內(nèi)筒，且所述供氣部件的噴口均位于所述反應(yīng)腔的側(cè)壁和所述金屬內(nèi)筒之間，且所述噴口均與所述金屬內(nèi)筒的孔相連通，因此在連續(xù)供風(fēng)模式下，遍布細(xì)小的孔且孔與孔之間的間隙極小的金屬內(nèi)筒的內(nèi)周面產(chǎn)生向內(nèi)的氣流膜，導(dǎo)致二氧化硅顆粒物無法向金屬內(nèi)筒的內(nèi)表面靠近附著，從而能夠避免顆粒物或粉塵粘附反應(yīng)腔內(nèi)，降低維護(hù)清理的負(fù)擔(dān)，避免污染物擴(kuò)散。

本申請實(shí)施例提供的第二種廢氣處理裝置，是在上述第一種廢氣處理裝置的基礎(chǔ)上，還包括如下技術(shù)特征：

所述金屬內(nèi)筒的形狀為圓臺(tái)形，且所述金屬內(nèi)筒的上表面的直徑小于下表面的直徑。由于從上到下逐步加大金屬內(nèi)筒的內(nèi)表面直徑，就可使上下部 的氣源供風(fēng)氣流不互相干擾，并且由于含硅烷的廢氣流與氣源供風(fēng)中的氧氣會(huì)反應(yīng)出更多的二氧化硅顆粒物，所以從上到下逐漸擴(kuò)大直徑的內(nèi)筒，能夠更好的遠(yuǎn)離二氧化硅顆粒物。

本申請實(shí)施例提供的第三種廢氣處理裝置，是在上述第二種廢氣處理裝置的基礎(chǔ)上，還包括如下技術(shù)特征：

所述金屬內(nèi)筒的孔為直徑范圍為0.5毫米至0.8毫米的孔。具有這種孔的金屬內(nèi)筒的內(nèi)周面全部是均勻流向中心的氣流，顆粒物就不存在向內(nèi)筒的內(nèi)周面靠近的作用力，而且由于孔洞細(xì)密，不存在像現(xiàn)有腔體那樣多個(gè)噴口之間存在較大面積的可粘附顆粒物的區(qū)域，因此帶有顆粒物的廢氣流只會(huì)繼續(xù)流向裝置下一級區(qū)域。

本申請實(shí)施例提供的第四種廢氣處理裝置，是在上述第三種廢氣處理裝置的基礎(chǔ)上，還包括如下技術(shù)特征：

所述金屬內(nèi)筒為鎳金屬內(nèi)筒，這種材質(zhì)的內(nèi)筒為一種常見的內(nèi)筒，孔洞密集，且易于加工，成本低，因此選用這種金屬內(nèi)筒就能夠降低整個(gè)廢氣處理裝置的生產(chǎn)成本。

在上述任一種廢氣處理裝置中，所述供氣部件可以包括連接有氣罐的風(fēng)機(jī)，以保證助燃?xì)饽軌蛟丛床粩嗟倪M(jìn)入該廢氣處理裝置，以促進(jìn)廢氣的充分燃燒，去除有害氣體。

進(jìn)一步的，所述風(fēng)機(jī)可以優(yōu)選為連接有氧氣氣罐或壓縮空氣氣罐的風(fēng)機(jī)。風(fēng)機(jī)采用的氣源介質(zhì)可以是氧氣、空氣或者壓縮空氣，此處不做限制。氧氣可由氧氣氣罐供氣，壓縮空氣可由空壓機(jī)或壓縮空氣罐供氣，而空氣的來源可以是環(huán)境中的空氣，風(fēng)機(jī)的作用是將其供入反應(yīng)腔。

上述各種廢氣處理裝置，均能夠避免顆粒物或粉塵粘附在反應(yīng)腔內(nèi)，降低維護(hù)清理的負(fù)擔(dān)，避免污染物擴(kuò)散。

對所公開的實(shí)施例的上述說明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本實(shí)用新型。對這些實(shí)施例的多種修改對本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來說將是顯而易見的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本實(shí)用新型的精神或范圍的情況下，在其它實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)。因此，本實(shí)用新型將不會(huì)被限制于本文所示的這些實(shí)施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點(diǎn)相一致的最寬的范圍。