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技術(shù)編號：12503052

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本實用新型涉及氣體凈化技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說，涉及一種廢氣處理裝置。背景技術(shù)在半導(dǎo)體、面板顯示器、LED、太陽能和MEMS微機(jī)電等制造領(lǐng)域中，生產(chǎn)過程中都會產(chǎn)生廢氣，以半導(dǎo)體制造為例，其制程設(shè)備在生產(chǎn)時排放的氣體可以分為如下三類：第一類是易燃易爆氣體，如氫氣(H2)或硅烷(SiH4)；第二類是有毒氣體，如一氧化二氮(N2O)、氯氣(Cl2)、氟氣(F2)；第三類是溫室效應(yīng)氣體，如四氟化碳(CF4)、三氟化氮(NF3)、六氟化硫(SF6)等等，其中三氟化氮(NF3)也具有毒性，四氟化碳(CF4)也在...
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