顆粒收集裝置及尾氣處理系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明實施例公開了一種顆粒收集裝置以及設(shè)有該顆粒收集裝置的尾氣處理系統(tǒng)，屬于半導(dǎo)體加工【技術(shù)領(lǐng)域】。解決了現(xiàn)有的顆粒收集裝置難以有效地收集尾氣中的顆粒物，導(dǎo)致進入下一階段的尾氣處理裝置中的尾氣仍然具有很高顆粒度的技術(shù)問題。該顆粒收集裝置，包括管道本體和濾網(wǎng)；所述管道本體的下方為進氣口，上方為出氣口；所述濾網(wǎng)設(shè)置于所述管道本體的內(nèi)部，并且罩住所述出氣口。本發(fā)明用于對半導(dǎo)體刻蝕工藝中產(chǎn)生的尾氣進行處理。
【專利說明】
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明屬于半導(dǎo)體加工【技術(shù)領(lǐng)域】，具體涉及一種顆粒收集裝置以及設(shè)有該顆粒收 集裝置的尾氣處理系統(tǒng)。 顆粒收集裝置及尾氣處理系統(tǒng)

【背景技術(shù)】
[0002] 在半導(dǎo)體的加工過程中，刻蝕工藝是其中一項重要工藝。半導(dǎo)體的刻蝕工藝會伴 隨產(chǎn)生大量尾氣，并且所產(chǎn)生的尾氣中含有許多顆粒物，因此需要對刻蝕工藝產(chǎn)生的尾氣 進行處理。
[0003] 目前的尾氣處理系統(tǒng)包括分子泵、干泵和顆粒收集裝置等部分。其中，顆粒收集裝 置主要由管道本體構(gòu)成，管道本體的下方為進氣口，上方為出氣口，在刻蝕工藝的工藝腔中 產(chǎn)生的尾氣由分子泵和干泵抽出，通過進氣口處連接的管路進入顆粒收集裝置，并且顆粒 收集裝置的管道本體比進氣口處連接的管路的直徑粗很多，所以尾氣進入管道本體之后氣 流的流速會明顯減慢，使尾氣中的顆粒物沉積下來；另外，管道本體外部的大氣流動還能夠 對尾氣起到冷卻作用。因此，尾氣中的顆粒物在顆粒收集裝置中主要沉積在管道本體的底 部，并通過定期打開顆粒收集裝置底部的盲板對其內(nèi)部沉積的顆粒物進行清理。但是，本發(fā) 明人在實現(xiàn)本發(fā)明的過程中發(fā)現(xiàn)：現(xiàn)有的顆粒收集裝置難以有效的收集尾氣中的顆粒物， 導(dǎo)致進入下一階段的尾氣處理裝置中的尾氣仍然具有很高顆粒度。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0004] 本發(fā)明實施例提供了一種顆粒收集裝置以及設(shè)有該顆粒收集裝置的尾氣處理系 統(tǒng)，解決了現(xiàn)有的顆粒收集裝置難以有效的收集尾氣中的顆粒物，導(dǎo)致進入下一階段的尾 氣處理裝置中的尾氣仍然具有很高顆粒度的技術(shù)問題。
[0005] 為達到上述目的，本發(fā)明的實施例采用如下技術(shù)方案：
[0006] 一種顆粒收集裝置，包括管道本體和濾網(wǎng)；
[0007] 所述管道本體的下方為進氣口，上方為出氣口；
[0008] 所述濾網(wǎng)設(shè)置于所述管道本體的內(nèi)部，并且罩住所述出氣口。
[0009] 優(yōu)選的，所述濾網(wǎng)的網(wǎng)口焊接在焊接法蘭上，所述焊接法蘭可拆卸地固定在所述 管道本體的出氣口。
[0010] 進一步，所述濾網(wǎng)外部設(shè)置有支撐件，所述支撐件也焊接在所述焊接法蘭上。
[0011] 優(yōu)選的，所述支撐件為帶有沖孔的鋼板。
[0012] 優(yōu)選的，所述濾網(wǎng)為80目濾網(wǎng)。
[0013] 進一步，所述管道本體中設(shè)置有噴淋裝置。
[0014] 進一步，所述管道本體的內(nèi)壁和/或外壁上設(shè)置有冷卻管路。
[0015] 一種尾氣處理系統(tǒng)，用于處理半導(dǎo)體刻蝕工藝，該尾氣處理系統(tǒng)包括干泵和上述 顆粒收集裝置；
[0016] 所述干泵用于抽出半導(dǎo)體刻蝕工藝產(chǎn)生的尾氣；
[0017] 所述顆粒收集裝置的管道本體的進氣口連接至所述干泵，所述管道本體的出氣口 連接至下一階段的尾氣處理裝置。
[0018] 與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明所提供的上述技術(shù)方案具有如下優(yōu)點：因為濾網(wǎng)是從顆 粒收集裝置的管道本體內(nèi)部罩住出氣口，所以當尾氣從進氣口流向出氣口時，尾氣中的絕 大部分顆粒物都會被濾網(wǎng)擋住，而留在管道本體中，僅有小部分粒徑非常小的顆粒物能通 過濾網(wǎng)。因此，本發(fā)明提供的顆粒收集裝置能夠有效的過濾掉尾氣中的顆粒物，使進入下一 階段的尾氣處理裝置中的尾氣的顆粒度顯著降低。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0019] 為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn) 有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹。
[0020] 圖1為本發(fā)明的實施例1所提供的顆粒收集裝置的示意圖；
[0021] 圖2為圖1中A部分的放大示意圖；
[0022] 圖3為本發(fā)明的實施例1所提供的顆粒收集裝置的濾網(wǎng)組件的示意圖；
[0023] 圖4為本發(fā)明的實施例2所提供的顆粒收集裝置的示意圖；
[0024] 圖5為本發(fā)明的實施例3所提供的顆粒收集裝置的示意圖；
[0025] 圖6為本發(fā)明的實施例3所提供的顆粒收集裝置的另一示意圖。

【具體實施方式】
[0026] 下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完 整地描述。
[0027] 實施例1 :
[0028] 如圖1所示，本發(fā)明實施例所提供的顆粒收集裝置包括管道本體1和濾網(wǎng)2,用于 對半導(dǎo)體刻蝕工藝中產(chǎn)生的尾氣進行處理。管道本體1的下方為進氣口，通過一段管路3 連接至干泵（圖中未示出），干泵用于抽出刻蝕工藝的工藝腔中產(chǎn)生的尾氣。管道本體1的 上方為出氣口，連接至下一階段的尾氣處理裝置。濾網(wǎng)2設(shè)置于管道本體1的內(nèi)部，并且罩 住出氣口。本發(fā)明實施例中的濾網(wǎng)2,優(yōu)選為80目規(guī)格的濾網(wǎng)，即濾網(wǎng)2的孔徑在0. 2_以 內(nèi)。
[0029] 因為濾網(wǎng)2是從顆粒收集裝置的管道本體1內(nèi)部罩住出氣口，所以當尾氣從進氣 口流向出氣口時，尾氣中的絕大部分顆粒物都會被濾網(wǎng)2擋住，而留在管道本體1中，僅有 小部分粒徑非常小的顆粒物能通過濾網(wǎng)2。因此，本發(fā)明提供的顆粒收集裝置能夠有效的過 濾掉尾氣中的顆粒物，使進入下一階段的尾氣處理裝置中的尾氣的顆粒度顯著降低。
[0030] 作為一個優(yōu)選方案，如圖2所示，濾網(wǎng)2的網(wǎng)口焊接在焊接法蘭4上，焊接法蘭4 可拆卸地固定在管道本體1的出氣口，具體可通過螺栓41和螺母42將焊接法蘭4密封固 定在出氣口外圍的法蘭43上。這樣能夠方便于定期拆卸濾網(wǎng)2,對濾網(wǎng)2上沉積的顆粒物 進行清理，同時也可以打開管道本體1底部的盲板5,對管道本體1內(nèi)部顆粒物進行清理。
[0031] 進一步，如圖3所示，濾網(wǎng)2外部還設(shè)置有支撐件6,支撐件6也焊接在焊接法蘭4 上，支撐件6具體可以為帶有沖孔的鋼板。濾網(wǎng)2、支撐件6和焊接法蘭4就構(gòu)成了濾網(wǎng)組 件，作為一個整體安裝固定在管道本體1的出氣口。因為濾網(wǎng)2的厚度和強度較低，所以支 撐件6能夠?qū)V網(wǎng)2起到支撐固定作用。另外，還可以使濾網(wǎng)2過濾的顆粒物主要集中在 支撐件6的沖孔處，以及濾網(wǎng)2與支撐件6之間，不僅方便顆粒物的清理，還可以避免清理 顆粒物時，顆粒收集裝置內(nèi)部有大塊顆粒物墜落產(chǎn)生火花的現(xiàn)象發(fā)生。
[0032] 實施例2 :
[0033] 本實施例與實施例1基本相同，并且在實施例1的基礎(chǔ)上進行了改進。如圖4所 示，本實施例中，管道本體1中設(shè)置有噴淋裝置7。通過調(diào)整適當?shù)膰娏芊秶?，噴淋裝置7噴 出的水珠能夠?qū)︻w粒物起到的沉降作用，同時水珠還能夠在沉降過程中對尾氣起到一定的 冷卻作用。
[0034] 實施例3 :
[0035] 本實施例與實施例1基本相同，并且在實施例1的基礎(chǔ)上進行了改進。如圖5和 圖6所示，本實施例中，管道本體1的內(nèi)壁或外壁上設(shè)置有冷卻管路8,這樣可以利用冷卻管 路8對顆粒收集裝置內(nèi)的尾氣起到冷卻的作用。如圖5所示，如果在管道本體1的內(nèi)壁上 設(shè)置冷卻管路8,顆粒物將會較為集中地沉積在冷卻管路8的管壁上。如圖6所示，如果在 管道本體1的外壁上設(shè)置冷卻管路8,那么顆粒物也會更多的沉積在管道本體1的內(nèi)壁上， 而較少的落到管道本體1的底部。
[0036] 當然，在其他實施方式中，也可以在管道本體的內(nèi)壁和外壁上都設(shè)置冷卻管路，并 且冷卻管路還可以與實施例2中的噴淋裝置相結(jié)合，共用一套水循環(huán)系統(tǒng)。
[0037] 實施例4 :
[0038] 一種尾氣處理系統(tǒng)，用于處理半導(dǎo)體刻蝕工藝，該尾氣處理系統(tǒng)主要包括干泵和 上述實施例1至3中的任意一種顆粒收集裝置。干泵用于抽出半導(dǎo)體刻蝕工藝產(chǎn)生的尾氣， 顆粒收集裝置的管道本體的進氣口通過一段管路連接至干泵，管道本體的出氣口則連接至 下一階段的尾氣處理裝置。
[0039] 由于本發(fā)明實施例與上述本發(fā)明實施例所提供的顆粒收集裝置具有相同的技術(shù) 特征，所以也能產(chǎn)生相同的技術(shù)效果，解決相同的技術(shù)問題。
[0040] 以上所述，僅為本發(fā)明的【具體實施方式】，但本發(fā)明的保護范圍并不局限于此，任何 熟悉本【技術(shù)領(lǐng)域】的技術(shù)人員在本發(fā)明揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到的變化或替換，都應(yīng) 涵蓋在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。因此，本發(fā)明的保護范圍應(yīng)以權(quán)利要求的保護范圍為準。
【權(quán)利要求】
1. 一種顆粒收集裝置，其特征在于：包括管道本體和濾網(wǎng)； 所述管道本體的下方為進氣口，上方為出氣口； 所述濾網(wǎng)設(shè)置于所述管道本體的內(nèi)部，并且罩住所述出氣口。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的顆粒收集裝置，其特征在于：所述濾網(wǎng)的網(wǎng)口焊接在焊接法 蘭上，所述焊接法蘭可拆卸地固定在所述管道本體的出氣口。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的顆粒收集裝置，其特征在于：所述濾網(wǎng)外部設(shè)置有支撐件，所 述支撐件焊接在所述焊接法蘭上。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的顆粒收集裝置，其特征在于：所述支撐件為帶有沖孔的鋼板。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的顆粒收集裝置，其特征在于：所述濾網(wǎng)為80目濾網(wǎng)。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的顆粒收集裝置，其特征在于：所述管道本體中設(shè)置有噴淋裝 置。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的顆粒收集裝置，其特征在于：所述管道本體的內(nèi)壁和/或外 壁上設(shè)置有冷卻管路。
8. -種尾氣處理系統(tǒng)，用于處理半導(dǎo)體刻蝕工藝，其特征在于：包括干泵和權(quán)利要求1 至7任一項所述的顆粒收集裝置； 所述干泵用于抽出半導(dǎo)體刻蝕工藝產(chǎn)生的尾氣； 所述顆粒收集裝置的管道本體的進氣口連接至所述干泵，所述管道本體的出氣口連接 至下一階段的尾氣處理裝置。
【文檔編號】B01D46/24GK104107601SQ201310141393
【公開日】2014年10月22日 申請日期:2013年4月22日 優(yōu)先權(quán)日:2013年4月22日
【發(fā)明者】侯寧 申請人:北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司