專利名稱：排氣處理裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種排氣處理裝置，尤指一種可增加粉塵去除率的排氣處理裝置。
背景技術(shù)：
由半導(dǎo)體制造裝置排出的半導(dǎo)體排氣(gas)對人體或環(huán)境有害，而且具有可燃 性、爆炸性，對于概金屬具有高腐蝕性。以該半導(dǎo)體排氣的代表例而言，列舉周期表III、IV、 V族元素的氫化物，例如SiH4、PH3、B2H6等，而且在制造步驟中加以使用但未反應(yīng)的SiH2Cl2、 SiHCl3、Si2H6、TE0S (四乙氧基硅炕，tetraethoxysilane)等Si化合物亦包含在該排氣中。以往，半導(dǎo)體排氣在利用大量氮?dú)庥枰韵♂尯?，使該排氣濃度在爆炸下限以下，?外進(jìn)行在與大量過剩的空氣相混合以后，直接釋出至大氣的處理。但是，目前對于環(huán)境保護(hù)的認(rèn)識提升，并且環(huán)境管理變得較為嚴(yán)謹(jǐn)，如前所述的大 氣釋出方法趨向嚴(yán)格限制的方向。因此，變得必須積極地將半導(dǎo)體排氣予以除害。因此，當(dāng) 將半導(dǎo)體排氣釋出至大氣中時(shí)，使用半導(dǎo)體排氣處理裝置，而以至少將有毒氣體的濃度降 低至容許值以下。在此，以半導(dǎo)體排氣的處理方法而言，可大致分為濕式法、吸附法、加熱分解法及 燃燒法等4種方法；其中，加熱分解法尤其在反應(yīng)爐內(nèi)配設(shè)棒狀的電熱加熱器，藉由該加熱 器所發(fā)出的高熱，將半導(dǎo)體排氣導(dǎo)入形成在反應(yīng)爐內(nèi)的加熱區(qū)域，且將該氣體進(jìn)行熱分解 的電熱加熱分解法極為符合作業(yè)現(xiàn)場的需求，而在多數(shù)現(xiàn)場予以采用。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型所解決的技術(shù)問題在于提供一種可應(yīng)用于加熱分解法中，增加粉塵 去除率的排氣處理裝置。本實(shí)用新型的技術(shù)方案為一種排氣處理裝置，該排氣處理裝置至少設(shè)有入口 洗氣器、反應(yīng)爐、出口洗氣器、排氣風(fēng)扇以及水槽，該入口洗氣器接收處理氣體，并將該處理 氣體送入水槽，以去除處理氣體所含有的粉塵或水溶性氣體；該水槽設(shè)有氣體信道，該氣體 信道一端連接入口洗氣器，另端則連接反應(yīng)爐，而該氣體通道內(nèi)相對于入口洗氣器與反應(yīng) 爐之間并設(shè)有網(wǎng)板。其中，該氣體通道上方設(shè)有一第一蓋板，該第一蓋板與該網(wǎng)板組裝固定。進(jìn)一步設(shè)有至少一噴水器，且該噴水器設(shè)于該氣體通道上，并朝該氣體通道進(jìn)行 噴水。該氣體通道上方設(shè)有一第一蓋板，該第一蓋板與該網(wǎng)板組裝固定，且該第一蓋板 并設(shè)有至少一噴水穿孔用以連接至少一噴水器，使該噴水器朝該氣體通道進(jìn)行噴水。該水槽上方蓋設(shè)有一第二蓋板，而該第二蓋板并至少設(shè)有第一、第二以及第三穿 孔，該第一穿孔上則供第一蓋板蓋合固定。該入口洗氣器中并設(shè)有復(fù)數(shù)過濾球。[0013]該反應(yīng)爐至少設(shè)有一本體、一氣體導(dǎo)入口以及一底座，該氣體導(dǎo)入口與該氣體通 道一端連接用以將氣體導(dǎo)入本體內(nèi)，該底座設(shè)于本體底部，且該底座中央設(shè)有一穿槽以供 氣體導(dǎo)入口穿設(shè)，而該底座底部設(shè)有一導(dǎo)出口，該導(dǎo)出口與該出口洗氣器連接。該底座設(shè)有一環(huán)形承水槽以及與該承水槽相通的可制造出隨該環(huán)形承水槽形成 螺旋狀水流的供水管。該承水槽設(shè)有一斜導(dǎo)邊。該入口洗氣器中并設(shè)有復(fù)數(shù)過濾球。本實(shí)用新型的有益效果為排氣處理裝置至少設(shè)有入口洗氣器、反應(yīng)爐、出口洗 氣器、排氣風(fēng)扇以及水槽，該入口洗氣器接收處理氣體，并將該處理氣體送入水槽，以去除 處理氣體所含有的粉塵或水溶性氣體；其中，該水槽設(shè)有氣體信道，該氣體信道一端連接入 口洗氣器，另端則連接反應(yīng)爐，而該氣體通道內(nèi)相對于入口洗氣器與反應(yīng)爐之間并設(shè)有網(wǎng) 板，使處理氣體經(jīng)由該網(wǎng)板時(shí)可將粉塵濾出而掉落至下方的水槽，可增加粉塵去除率。


圖1為本實(shí)用新型中排氣處理裝置的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2為本實(shí)用新型中水槽與各蓋板的結(jié)構(gòu)分解圖； 圖3為本實(shí)用新型中入口洗氣器、水槽與出口洗氣器的結(jié)構(gòu)立體圖； 圖4為本實(shí)用新型中處理氣體經(jīng)過入口洗氣器、水槽與出口洗氣器的結(jié)構(gòu)示意
圖5為本實(shí)用新型中底座 圖6為本實(shí)用新型中底座 圖7為本實(shí)用新型中底座圖號說明
排氣處理裝置1 過濾球11 本體21 加熱器212 氣體導(dǎo)入口 22 穿槽231 承水槽233 斜導(dǎo)邊235 出口洗氣器30 水槽50 網(wǎng)板52 第一穿孔531 第三穿孔533 噴水穿孔541
的結(jié)構(gòu)立體圖； 的結(jié)構(gòu)剖視圖； 中螺旋狀水流的結(jié)構(gòu)示意圖<
入口洗氣器10 反應(yīng)爐20 氣體導(dǎo)入管211 刮除器213 底座23 導(dǎo)出口 232 供水管234 液體導(dǎo)管24 排氣風(fēng)扇40 氣體通道51 第二蓋板53 第二穿孔532 第一蓋板54 噴水器5具體實(shí)施方式
本實(shí)用新型排氣處理裝置，如圖1至圖4所示，藉由加熱分解法的排氣處理裝置， 該排氣處理裝置1至少設(shè)有入口洗氣器10、反應(yīng)爐20、出口洗氣器30、排氣風(fēng)扇40以及 水槽50，該入口洗氣器10接收處理氣體，并將該處理氣體送入水槽50，以去除處理氣體所 含有的粉塵或水溶性氣體。該水槽50設(shè)有氣體信道51，該氣體信道51 —端連接入口洗氣器10，另端則連接 反應(yīng)爐20，而該氣體通道51內(nèi)相對于入口洗氣器10與反應(yīng)爐20之間并設(shè)有網(wǎng)板52，該水 槽50上方蓋設(shè)有一第二蓋板53，用以將氣體通道51遮蔽，而該第二蓋板53并至少設(shè)有第 一、第二以及第三穿孔531、532、533，該第一穿孔531上則可供一第一蓋板54蓋合固定，該 第一蓋板54與該網(wǎng)板52組裝固定，且該第一蓋板54并設(shè)有至少一噴水穿孔541用以連接 至少一噴水器55，使該噴水器55朝該氣體通道51進(jìn)行噴水。故整體組裝時(shí)，該第二蓋板53蓋合固定于水槽50上方，并將水槽50連同該氣體 通道51遮蔽，而入口洗氣器10則裝設(shè)于第二穿孔532上，并藉由該第二穿孔L532與氣體 通道51相通，該反應(yīng)爐20則裝設(shè)于第三穿孔533上，并藉由該第三穿孔533與氣體通道51 相通，其中，該網(wǎng)板52與第一蓋板54相互組裝固定，使該網(wǎng)板52可隨該第一蓋板54的拆 離而自氣體信道51分離，以讓使用者可清洗該網(wǎng)板甚至方便進(jìn)行更換維修等作業(yè)。使用時(shí)，處理氣體進(jìn)入入口洗氣器10中，該入口洗氣器10中可設(shè)有復(fù)數(shù)過濾球 11，對該處理氣體進(jìn)行第一次的過濾，而該處理氣體進(jìn)入水槽中的氣體通道51時(shí)，可藉由 該網(wǎng)板52對該處理氣體進(jìn)行第二次過濾，以將處理氣體中的粉塵濾出而掉落至下方的水 槽50，可增加粉塵去除率，且該氣體通道51中并藉由噴水器55的噴水，亦可將水溶性氣體 溶解至水槽50中，而去除粉塵及水溶性氣體的處理氣體則離開氣體通道51進(jìn)入反應(yīng)爐20 進(jìn)行加熱分解。而該反應(yīng)爐20至少設(shè)有一本體21、一氣體導(dǎo)入口 22以及一底座23，該氣體導(dǎo)入 口 22與該氣體通道51 —端連接用以將氣體導(dǎo)入本體21內(nèi)，該底座23設(shè)于本體21底部， 且該底座23中央設(shè)有一穿槽231以供氣體導(dǎo)入口 22穿設(shè)，而該底座23底部設(shè)有一導(dǎo)出口 232，該導(dǎo)出口 232與該出口洗氣器30連接，請同時(shí)參閱圖5至圖7所示，該底座23設(shè)有一 環(huán)形承水槽233以及與該承水槽233相通的供水管234，該供水管234可制造出隨該環(huán)形 承水槽233形成螺旋狀的水流，且該承水槽233設(shè)有一斜導(dǎo)邊235，讓處理氣體經(jīng)由氣體通 道51后藉氣體導(dǎo)入口 22進(jìn)入反應(yīng)爐的本體21中，該本體21內(nèi)設(shè)有氣體導(dǎo)入管211、加熱 器212以及刮除器213，令該處理氣體進(jìn)行熱分解，并利用刮除器213將附著于氣體導(dǎo)入管 211以及本體21的內(nèi)周面的粉塵予以去除，而分解后的處理氣體以及被刮除的粉塵則經(jīng)由 底座環(huán)形承水槽233中斜導(dǎo)邊235的設(shè)置，以及該供水管234所形成螺旋狀水流的沖刷使 粉塵集中由導(dǎo)出口 232流出，而該導(dǎo)出口 232與該出口洗氣器30連接，且該導(dǎo)出口 232并 連接有一液體導(dǎo)管24至該水槽50處，使該分解后的處理氣體則連接至出口洗氣器30，而液 體連同粉塵則由該液體導(dǎo)管24導(dǎo)入水槽50中；最后，分解后的處理氣體則經(jīng)由出口洗氣器 30連接至排氣風(fēng)扇40，以將處理分解完畢的氣體得以排出至大氣。值得一提的是，本實(shí)用新型氣體通道中所設(shè)置的網(wǎng)板可進(jìn)一步對處理氣體進(jìn)行過 濾，以增加粉塵去除率，且該網(wǎng)板設(shè)計(jì)成與該第一蓋板連接，使該網(wǎng)板可隨該第一蓋板的拆 離而自氣體信道分離，以讓使用者可清洗該網(wǎng)板甚至方便進(jìn)行更換維修等作業(yè)。
權(quán)利要求一種排氣處理裝置，該排氣處理裝置至少設(shè)有入口洗氣器、反應(yīng)爐、出口洗氣器、排氣風(fēng)扇以及水槽，該入口洗氣器接收處理氣體，并將該處理氣體送入水槽，以去除處理氣體所含有的粉塵或水溶性氣體；其特征在于該水槽設(shè)有氣體信道，該氣體信道一端連接入口洗氣器，另端則連接反應(yīng)爐，而該氣體通道內(nèi)相對于入口洗氣器與反應(yīng)爐之間并設(shè)有網(wǎng)板。
2.如權(quán)利要求1所述的排氣處理裝置，其特征在于，該氣體通道上方設(shè)有一第一蓋板， 該第一蓋板與該網(wǎng)板組裝固定。
3.如權(quán)利要求1所述的排氣處理裝置，其特征在于，進(jìn)一步設(shè)有至少一噴水器，且該噴 水器設(shè)于該氣體通道上，并朝該氣體通道進(jìn)行噴水。
4.如權(quán)利要求1所述的排氣處理裝置，其特征在于，該氣體通道上方設(shè)有一第一蓋板， 該第一蓋板與該網(wǎng)板組裝固定，且該第一蓋板并設(shè)有至少一噴水穿孔用以連接至少一噴水 器，使該噴水器朝該氣體通道進(jìn)行噴水。
5.如權(quán)利要求2或4所述的排氣處理裝置，其特征在于，該水槽上方蓋設(shè)有一第二蓋 板，而該第二蓋板并至少設(shè)有第一、第二以及第三穿孔，該第一穿孔上則供第一蓋板蓋合固 定。
6.如權(quán)利要求5所述的排氣處理裝置，其特征在于，該入口洗氣器中并設(shè)有復(fù)數(shù)過濾球。
7.如權(quán)利要求5所述的排氣處理裝置，其特征在于，該反應(yīng)爐至少設(shè)有一本體、一氣體 導(dǎo)入口以及一底座，該氣體導(dǎo)入口與該氣體通道一端連接用以將氣體導(dǎo)入本體內(nèi)，該底座 設(shè)于本體底部，且該底座中央設(shè)有一穿槽以供氣體導(dǎo)入口穿設(shè)，而該底座底部設(shè)有一導(dǎo)出 口，該導(dǎo)出口與該出口洗氣器連接。
8.如權(quán)利要求7所述的排氣處理裝置，其特征在于，該底座設(shè)有一環(huán)形承水槽以及與 該承水槽相通的可制造出隨該環(huán)形承水槽形成螺旋狀水流的供水管。
9.如權(quán)利要求8所述的排氣處理裝置，其特征在于，該承水槽設(shè)有一斜導(dǎo)邊。
10.如權(quán)利要求1、2、3或4所述的排氣處理裝置，其特征在于，該入口洗氣器中并設(shè)有 復(fù)數(shù)過濾球。
專利摘要本實(shí)用新型排氣處理裝置，排氣處理裝置至少設(shè)有入口洗氣器、反應(yīng)爐、出口洗氣器、排氣風(fēng)扇以及水槽，該入口洗氣器接收處理氣體，并將該處理氣體送入水槽，以去除處理氣體所含有的粉塵或水溶性氣體；其中，該水槽設(shè)有氣體信道，該氣體信道一端連接入口洗氣器，另端則連接反應(yīng)爐，而該氣體通道內(nèi)相對于入口洗氣器與反應(yīng)爐之間并設(shè)有網(wǎng)板，使處理氣體經(jīng)由該網(wǎng)板時(shí)可將粉塵濾出而掉落至下方的水槽，可增加粉塵去除率。
文檔編號B01D46/10GK201658913SQ200920350380
公開日2010年12月1日 申請日期2009年12月25日 優(yōu)先權(quán)日2009年12月25日
發(fā)明者田少郎 申請人:華宣科技股份有限公司