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技術(shù)編號：5052217

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本實用新型涉及一種排氣處理裝置，尤指一種可增加粉塵去除率的排氣處理裝置。背景技術(shù)由半導(dǎo)體制造裝置排出的半導(dǎo)體排氣(gas)對人體或環(huán)境有害，而且具有可燃 性、爆炸性，對于概金屬具有高腐蝕性。以該半導(dǎo)體排氣的代表例而言，列舉周期表III、IV、 V族元素的氫化物，例如SiH4、PH3、B2H6等，而且在制造步驟中加以使用但未反應(yīng)的SiH2Cl2、 SiHCl3、Si2H6、TE0S (四乙氧基硅炕，tetraethoxysilane)等Si化合物亦包含在該排...
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