專利名稱：流體混合裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種半導(dǎo)體制造工藝中 的流體混合裝置。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體集成電路的制造工藝中，常常需要濕法刻蝕或濕法清洗工
藝，例如在/^開號為CN101063821A的中國專利申^"文件中/>開了 一種去 除刻蝕殘留物的工藝，其中應(yīng)用了濕法清洗工藝去除刻蝕殘留物。
在濕法刻蝕或濕法清洗的工藝中，有時需要兩種或兩種以上的刻蝕 溶液或清洗溶液混合使用。因而需要能夠?qū)煞N不同的溶液按照一定比 例進行混合的裝置。
圖l為現(xiàn)有技術(shù)中一種流體混合裝置，所述的流體混合裝置包括緩沖 槽IOO、計量泵102和混合槽104。其中，緩沖槽100通過流體管路與所述 計量泵102連接，計量泵102通過流體管路與所述混合槽104連接，在所述 緩沖槽100上具有第一接入端106，用于和第一流體供給源連接，在所述 混合槽104上具有第二接入端108,由于和第二流體供給源連接。所述混 合槽104具有輸出端105，用于將所述混合槽104中的液體輸出。
應(yīng)用所述的流體混合裝置混合兩種不同的流體時，將第 一接入端106 連接至第一流體供給源，將第二接入端108連接至第二流體供給源。同時 向所述流體供給裝置供給第 一流體和第二流體；第 一流體經(jīng)第 一接入端 106輸入緩沖槽100，然后經(jīng)計量泵102按照一定流量輸入至混合槽104; 第二流體經(jīng)第二接入端108后輸入至混合槽104,第二流體通過流量表控 制輸入到混合槽104中的流量。按照不同的流量同時輸入到混合槽104中 的第一流體和第二流體混合，形成混合液。
為了實現(xiàn)對流體流量的精確控制，計量泵102的流量一般較小，因而 經(jīng)過緩沖槽100以及計量泵102輸入的流體的流量較小，而經(jīng)輸入端108輸 入的流體的流量較大，導(dǎo)致所述的流體混合裝置僅僅適用于對第一流體 比例小于第二流體比例時的混合，例如，第一流體和第二流體比為l: 100時可以適用所述的流體混合裝置；當(dāng)需要混合液中第一流體的比例大于 第二流體比例時，例如需要第一流體和第二流體比例為100: l時，就需 要將第 一流體供給源連接至第二接入端108，而將第二流體供給源連接至 第一輸入端106才能實現(xiàn)，操作較為麻煩；所述的流體混合裝置無法實現(xiàn) 第一流體供給源、第二流體供給源與該流體混合裝置連接端不變的情況 下第 一 流體和第二流體任意比例的混合。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供一種流體混合裝置，本發(fā)明能夠?qū)崿F(xiàn)在兩種流體供給源 與流體混合裝置連接端不變的情況下該兩種流體任意比例的混合。
本發(fā)明提供的一種流體混合裝置，包括順序流體連接的緩沖槽、計 量裝置和混合槽，還包括第一三通裝置、第二三通裝置和第三三通裝置；
其中，所述第一三通裝置的第一端用于和第一流體供給源連接，第 二端與所述緩沖槽輸入端流體連接，第三端與所述第二三通裝置的第一 端流體連4妻；
所述第二三通裝置的第二端與所述混合槽輸入端流體連接，第三端 與所述第三三通裝置的第 一端流體連接；
所述第三三通裝置的第二端與所述緩沖槽輸入端流體連接，第三端 和第二流體供給源連接。
可選的，所述第一三通裝置、第二三通裝置和/或第三三通裝置為 三通閥。
可選的，所述第一三通裝置、第二三通裝置和/或第三三通裝置由 第一單通閥、第二單通閥和第三單通閥組成；其中，所述第一單通閥的 一端、第二單通閥的一端和第三單通閥的一端連^妻在一起，另一端分別 為每一三通裝置的第一端、第二端和第三端。
可選的，所述第一三通裝置由第一單通閥和第二單通閥組成，其中 第一單通閥和第二單通閥的一端連接在一起，作為所述第一三通裝置的
第 一端，所述第 一單通閥和第二單通闊的另 一端分別作為該第 一三通裝 置的第二端和第三端?？蛇x的，所述第二三通裝置由第一單通閥和第二單通閥組成，其中 第一單通閥和第二單通閥的一端連接在一起，作為所述第二三通裝置的 第二端，所述第 一單通閥和第二單通閥的另 一端分別作為該第二三通裝 置的第一端和第三端。
可選的，所述第三三通裝置由第一單通閥和第二單通閥組成，其中 第一單通閥和第二單通閥的一端連接在一起，作為所述第三三通裝置的 第二端，所述第 一單通閥和第二單通閥的另 一端分別作為該笫三三通裝 置的第一端和第三端。
可選的，所述三通閥和/或單通閥為氣動閥或電子閥或枳^成閥。 可選的，所述第二三通裝置的第二端與混合槽的之間有計量裝置。 可選的，所述計量裝置為計量表或計量泵。 可選的，所述第 一流體和/或第二流體為液體或氣體。 相應(yīng)的，本發(fā)明還提供一種流體混合裝置，包括順序流體連接的緩 沖槽、計量裝置和混合槽，還包括第一三通裝置、第二三通裝置和第三
三通裝置；
其中，所述第一三通裝置的第一端用于和第一流體供給源連接，第 二端與所述混合槽輸入端流體連接，第三端與所述第二三通裝置的第一 端流體連4妄；
所述第二三通裝置的第二端與所述緩沖槽輸入端流體連接，第三端 與所述第三三通裝置的第 一端流體連接；
所述第三三通裝置的第二端與所述混合槽輸入端流體連接，第三端 用于和第二流體供給源連接。
可選的，所述第一三通裝置、第二三通裝置和/或第三三通裝置為 三通閥。
可選的，所述第一三通裝置、第二三通裝置和/或第三三通裝置由 第一單通閥、第二單通閥和第三單通閥組成；其中，所述第一單通閥的 一端、第二單通閥的一端和第三單通閥的一端連接在一起，另一端分別 為每一三通裝置的第一端、第二端和第三端。可選的，所述第一三通裝置由第一單通閥和第二單通閥組成，其中 第一單通闊和第二單通閥的一端連接在一起，作為所述第一三通裝置的 第二端，所述第一單通閥和第二單通閥的另一端分別作為該第一三通裝 置的第一端和第三端。
可選的，所述第二三通裝置由第一單通閥和第二單通閥組成，其中 第一單通閥和第二單通閥的一端連接在一起，作為所述第二三通裝置的 第二端，所述第一單通閥和第二單通閥的另一端分別作為該第二三通裝 置的第一端和第三端。
可選的，所述第三三通裝置由第一單通閥和第二單通閥組成，其中 第一單通閥和第二單通閥的一端連接在一起，作為所述第三三通裝置的 第三端，所述第一單通閥和第二單通閥的另一端分別作為該第三三通裝 置的第一端和第二端。
可選的，所述三通閥和/或單通閥為氣動閥或電子閥或才幾械閥。
可選的，所述第一三通裝置的第二端與混合槽之間、第三三通裝置 第二端與混合槽之間有計量裝置。
可選的，所述計量裝置為計量表或計量泵。
可選的，所述第一流體和/或第二流體為液體或氣體。
與現(xiàn)有技術(shù)相比，上述技術(shù)方案中的一個具有以下優(yōu)點
所述的流體混合裝置通過第一、第二和第三三通裝置之間的連接以 及與混合槽、緩沖槽的連接，能夠?qū)崿F(xiàn)在不必改變兩種流體與該流體混 合裝置的情況下，實現(xiàn)任意比例的混合，操作較為方便。


圖1為現(xiàn)有技術(shù)中的一種流體混合裝置的示意圖； 圖2為本發(fā)明的流體混合裝置的第一實施例的示意圖； 圖3為本發(fā)明的流體混合裝置的第二實施例的示意圖； 圖4為本發(fā)明的流體混合裝置的第三實施例的示意圖； 圖5為本發(fā)明的流體混合裝置的第四實施例的示意圖；圖6為本發(fā)明的流體混合裝置的第五實施例的示意圖； 圖7為本發(fā)明的流體混合裝置的第六實施例的示意圖。
具體實施例方式
下面結(jié)合附圖對本發(fā)明的具體實施方式
做詳細(xì)的說明。
本發(fā)明提供一種流體混合裝置，可以使兩種不同的流體按任意比例 的混合。該流體混合裝置包括緩沖槽、計量裝置、混合槽、第一三通裝 置、第二三通裝置和第三三通裝置；其中，所述緩沖槽與計量裝置流體 連接；所述計量裝置與混合槽流體連^t妄；所述第一三通裝置、第一三通 裝置、第二三通裝置和第三三通裝置各有三端，所述第一三通裝置的第 一端與第一流體供給源連接，第二端與所述緩沖槽輸入端流體連接，第 三端與所述第二三通裝置的第一端流體連接；所述第二三通裝置的第二 端與所述混合槽輸入端流體連接，第三端與所述第三三通裝置的第 一端 流體連接；所述第三三通裝置的第二端與所述緩沖槽輸入端流體連接， 第三端連接第二流體供給源。所述的流體連接裝置可以實現(xiàn)兩種不同的 流體按任意比例的混合，使用方便。
下面結(jié)合示意圖對本發(fā)明的流體混合裝置進行詳細(xì)描述。
圖2為本發(fā)明的流體混合裝置的第一實施例的示意圖。
請參考圖2,流體混合裝置包括緩沖槽10、計量泵12和混合槽14, 以及第一三通閥16、第二三通閥18和第三三通閥20。其中，所述第一 三通閥16具有第一端16a、第二端16b和第三端16c，第二三通閥18 具有第一端18a、第二端18b和第三端18c，所述第三三通閥20具有第 一端20a、第二端20b和第三端20c。所述混合槽14具有輸出端11。
所述緩沖槽10通過流體管路連接至計量泵12,實現(xiàn)緩沖槽10和計 量泵12之間的流體連接，所述計量泵12通過流體管路連接至混合槽14, 實現(xiàn)計量泵12和混合槽14之間的流體連接。從而，緩沖槽10中的流 體通過計量泵12可進入混合槽14,其中，計量泵12用于控制緩沖槽 10中的流體進入混合槽14中的流量。
所述第一三通閥16的第一端16a用于和第一流體供給源連接，第二端16b與所述緩沖槽10輸入端連接，第三端16c與所述第二三通閥 18的第一端18a通過流體管路連接。
當(dāng)所述第一三通網(wǎng)16的第三端16c封閉、第一端16a和第二端16b 打開時，第一流體供給源可通過該第一三通閥16的第一端16a和第二 端16b向所述緩沖槽IO供給流體；同樣的，當(dāng)關(guān)閉所述第一三通閥16 的第二端16b,打開第一端16a和第三端16c時，第一流體供給源通過 該第一三通閥16的第一端16a和第三端16c向第二三通閥18的第一端 18a供給流體。
所述第二三通閥18的第二端18b與所述混合槽14輸入端連接，第 三端18c與所述第三三通閥20的第一端20a通過流體管路連接。
當(dāng)關(guān)閉所述第二三通閥18的第三端18c、打開第一端18a和第二端 18b時，可接收來自第一三通閥16的流體并輸送至混合槽14中；同理， 當(dāng)關(guān)閉第一端18a、打開第二端18b和第三端18c時，可4妄收來自第三 三通閥20的流體，并輸送至混合槽14中。
所述第三三通閥20的第二端20b通過流體管路與所述緩沖槽10輸 入端連接，第三端20c用于與第二流體供給源連接。
關(guān)閉第二端20b、打開第一端20a和第三端20c,第二流體供給源 的第二流體通過所述第三端20c和第一端20a可輸送至第二三通閥18。 關(guān)閉第一端20a、打開第二端20b和第三端20c，第二流體供給源的第 二流體可通過第三端20c和第二端20b,并通過流體管路輸送至緩沖槽 10中。
其中，所述第一三通閥16可以是氣動閥或電子閥或才幾械閥，第二 三通閥18可以也是氣動閥或電子閥或機械閥，第三三通閥20也可以是 氣動閥或電子閥或積4成閥。
所述計量裝置12可以是計量泵或計量表。所述計量泵可以是柱塞 式計量泵、液壓隔膜式計量泵、機械驅(qū)動隔膜式計量泵中的一種。
在所述第二三通閥18的第二端18b與所述混合槽14的流體管路上 可以具有計量裝置(圖未示)，該計量裝置可以是計量表或計量泵。所述第一流體和第二流體可以是氣體或液體。
所述實施例的流體混合裝置可實現(xiàn)兩種不同的流體按任意比例的
混合，例如需要實現(xiàn)流體A和B按照1: 100的體積比混合時，將所述 流體A供給源通過流體管路與所述第一三通閥16的第一端16a連接， 流體B供給源通過流體管路與所述第三三通閥20的第三端20c連接； 關(guān)閉第一三通閥16的第三端16c，打開第一三通閥16的第一端16a和 第二端16b;關(guān)閉第三三通閥20的第二端20b,打開第三三通閥20的 第一端20a和第三端20c;關(guān)閉第二三通閥18第一端18a,打開第二三 通閥18的第二端18b,第三端18c。
工作時，流體A通過流體管路供給至第一三通閥16的第一端16a， 然后通過所述第一三通閥16的第二端16b，被輸送至緩沖槽10，緩沖 槽10中的流體A經(jīng)計量裝置12后按照一定的流量或劑量向所述混合槽 14供給流體A。另外，流體B通過流體管路供給至第三三通閥20的第 三端20c，經(jīng)過該第三三通閥20的第一端20a后輸送至第二三通閥18 的第三端18c,然后經(jīng)過第三三通閥18的第二端18b后被輸送至混合槽 14，在第二端18b和混合槽14之間的流體管路上若具有計量表，可控 制流體B進入混合槽14的流量。在流體B供給源和第三三通閥20的 第三端20c之間的流體管路上也可以具有流量表，控制流體B的供給。
通過4安照不同的流量，例如l: 100，同時向混合槽14中供給流體 A和流體B,實現(xiàn)流體A和流體B在混合槽14中混合，形成體積比為 1: 100的混合液。
上述實現(xiàn)流體A和B^t姿照1: 100的比例形成混合液的方法中，流 體A的比例較小，流體B的比例較大；若要仍然用所述的流體混合裝 置實現(xiàn)流體A比例較大，流體B比例較小的混合液時，例如需要實現(xiàn) 流體A和流體B按照100: 1的體積比混合，不必改變流體A供給源和 流體B供給源與該流體混合裝置的連接端，僅需要改變第一三通閥16、 第二三通閥18和第三三通閥20的中的不同端的開關(guān)設(shè)定即可，其具體 操作如下
關(guān)閉第一三通閥16的第二端16b,打開第一三通閥16的第一端16a和第三端16c,關(guān)閉第三三通閥20的第一端20a,打開第三三通閥20 的第二端20b和第三端20c,關(guān)閉第二三通閥18的第三端18c,打開第 二三通閥18的第一端18a和18c。
工作時，流體A通過第一端16a進入第一三通閥16,并由第三端 16c流出，然后通過流體管路進入第二三通閥18的第一端18a，并由第 二三通閥18的第二端18b流出后進入混合槽14,若第二端18b和混合 槽14之間具有計量表(圖未示)，通過計量表可控制流體A進入混合槽 14的流量。
流體B通過第三端20c進入第三三通閥20，并由第二端20b流出 后，沿流體管路進入緩沖槽10，然后通過計量裝置12進入混合槽14, 計量裝置12可控制流體B進入混合槽14的流量。
通過控制流體A和流體B進入混合槽的比例為100: 1 ，可實現(xiàn)在 混合槽中形成100: 1的混合液。
利用所述的流體混合裝置可實現(xiàn)兩種不同的流體A和流體B按照 任意比例的混合，使用方便。
圖3為本發(fā)明的流體混合裝置的第二實施例的示意圖。
請參考圖3,流體混合裝置包括緩沖槽10、計量泵12和混合槽14， 以及第一三通裝置16、第二三通裝置18和第三三通裝置20。所述混合 槽14具有輸出端11。
所述緩沖槽10通過流體管路連接至計量泵12,實現(xiàn)緩沖槽10和計 量泵12之間的流體連接，所述計量泵12通過流體管路連接至混合槽14, 實現(xiàn)計量泵12和混合槽14之間的流體連接，從而，緩沖槽10中的流 體通過計量泵12可進入混合槽14,其中，計量泵12用于控制緩沖槽 10中的流體進入混合槽14中的量。
所述第一三通裝置16由第一單通閥15和第二單通閥13組成，其 中，所述第一單通閥15的一端和第二單通閥13的一段連接在一起，作 為該第一三通裝置16的第一端，用于與第一流體供給裝置連接，所述 第一單通閥15的另一端作為第一三通裝置16的第二端，與所述緩沖槽IO輸入端連接，所述第二單通閥13的另一端作為第一三通裝置16的第 三端，與所述第二三通裝置18連接的第一端連接。
所述第二三通裝置18由第一單通閥17和第二單通閥19組成，其 中，所述第一單通閥17的一端和第二單通閥19的一端連接在一起作為 該第二三通裝置18的第二端，與所述混合槽14輸入端連接，所述第一 單通閥17的另一端作為第二三通裝置18的第一端，所述第二單通閥19 的另一端作為第二三通裝置18的第三端通過流體管路與所述第三三通 裝置20的第一端連接。
所述第三三通裝置20由第一單通閥21和第二單通閥23組成，其 中，所述第一單通閥21和第二單通閥23的一端連接在一起作為該第三 三通裝置20的第二端，通過管路與所述緩沖槽IO輸入端連接，所述第 一單通閥21的另一端作為第三三通裝置20的第一端，所述第二單通閥 23的另一端作為第三三通裝置20的第三端，用于與所述第二流體供給 源連接。
其中所述單通閥可以是氣動閥或電子閥或積4成閥。
所述計量裝置12可以是計量表或計量泵，所述計量泵可以是柱塞 式計量泵、液壓隔膜式計量泵、才幾械驅(qū)動隔膜式計量泵中的一種。
所述第 一流體和/或第二流體為液體或氣體。
圖4為本發(fā)明的流體混合裝置的第三實施例的示意圖。
請參考圖4,所述第一三通裝置16、第二三通裝置18和第三三通 裝置20分別增加了第三單通閥27、第三單通閥33和第三單通閥39。 其余部分與第二實施例相同，這里不再贅述。
圖5為本發(fā)明的流體混合裝置的第四實施例的示意圖。
請參考圖5，流體混合裝置包括緩沖槽50、計量泵52和混合槽54， 以及第一三通閥60、第二三通閥58和第三三通閥56。其中，所述第一 三通閥60具有第一端60a、第二端60b和第三端60c，第二三通閥58 具有第一端58a、第二端58b和第三端58c，第三三通閥56具有第一端 56a、第二端56b第三端56c。所述混合槽54具有輸出端51。所述緩沖槽50通過流體管路連接至計量泵52,實現(xiàn)緩沖槽50和計 量泵52之間的流體連接，所述計量泵52通過流體管路連接至混合槽54， 實現(xiàn)計量泵52和混合槽54之間的流體連接；從而，緩沖槽50中的流 體通過計量泵52可進入混合槽54,其中，計量泵52用于控制緩沖槽 50中的流體進入混合槽54中的量。
所述第一三通閥60的第一端60a用于和第一流體供給源連接，第 二端60b與所述混合槽54輸入端連接，第三端60c與所述第二三通閥 58的第一端58a通過流體管路連接。
當(dāng)所述第一三通閥60的第三端60c封閉，第一端60a和第二端60b 打開時，第一流體供給源可通過該第一三通閥60的第一端60a和第二 端60b向所述混合槽54供給流體；同樣的，當(dāng)關(guān)閉所述第 一三通閥60 的第二端60b，打開第一端60a和第三端60c時，第一流體供給源通過 該第一三通閥60的第一端60a和第三端60c向第二三通閥58的第一端 58a供給流體。
所述第二三通閥58的第二端58b與所述緩沖槽50輸入端連接，第 三端58c與所述第三三通閥56的第一端56a通過流體管路連接。
當(dāng)關(guān)閉所述第二三通閥58的第三端58c,打開第一端58a和第二端 58b時，可接收來自第一三通閥60的流體并輸送至緩沖槽50中；同理， 當(dāng)關(guān)閉第一端58a,打開第二端58b和第三端8c時，可接收來自第三三 通閥56的流體，并輸送至緩沖槽50中。
所述第三三通閥56的第二端56b通過流體管路與所述混合槽54輸 入端連接，第三端56c用于與第二流體供給源連接。關(guān)閉第二端56b、 打開第一端56a和第三端56c，第二流體供給源的第二流體通過所述第 三端56c和第一端56a可輸送至第二三通閥58;關(guān)閉第一端56a、打開 第二端56b和第三端56c，第二流體供給源的第二流體可通過第三端56c 和第二端56b，并通過流體管3各輸送至混合槽54中。
其中，所述第一三通閥60可以是氣動閥或電子閥或機械閥，第二 三通閥58可以是氣動閥或電子閥或才幾械閥，第三三通閥56可以是氣動 閥或電子閥或積4成閥。所述計量裝置52可以是計量泵或計量表。所述計量泵可以是柱塞
式計量泵、液壓隔膜式計量泵、機械驅(qū)動隔膜式計量泵中的一種。 所述第 一流體和第二流體可以是氣體或液體。
圖6為本發(fā)明的流體混合裝置的第五實施例的示意圖。
請參考圖6，流體混合裝置包括緩沖槽50、計量泵52和混合槽54， 以及第一三通裝置60、第二三通裝置58和第三三通裝置56。所述混合 槽54具有輸出端51。
所述緩沖槽50通過流體管路連接至計量泵52,實現(xiàn)緩沖槽50和計 量泵52之間的流體連接，所述計量泵52通過流體管路連接至混合槽54, 實現(xiàn)計量泵52和混合槽54之間的流體連接，從而，緩沖槽50中的流 體通過計量泵52可進入混合槽54，其中，計量泵52用于控制緩沖槽 50中的流體進入混合槽54中的量。
所述第一三通裝置60由第一單通閥63和第二單通閥61組成，其 中，所述第一單通閥63的一端和第二單通閥61的一端連接在一起，作 為該第一三通裝置60的第二端，通過流體管路與所述混合槽54輸入端 連接；所述第一單通閥63的另一端作為第一三通裝置60的第一端，用 于與第一流體供給裝置連接；所述第二單通閥61的另一端作為第一三 通裝置60的第三端與所述第二三通裝置58連接的第一端連接。
所述第二三通裝置58由第一單通閥59和第二單通閥57組成，其 中，所述第一單通閥59的一端和第二單通閥57的一端連接在一起作為 該第二三通裝置58的第二端與所述緩沖槽50輸入端連接；所述第一單 通閥59的另一端作為第二三通裝置58的第一端；所述第二單通閥57 的另一端作為第二三通裝置58的第三端，通過流體管路與所述第三三 通裝置56的第一端連接。
所述第三三通裝置56由第一單通閥53和第二單通閥55組成，其 中，所述第一單通閥53和第二單通閥55的一端連接在一起作為該第三 三通裝置56的第三端，用于與所述第二流體供給源連接；所述第一單 通閥53的另一端作為第三三通裝置56的第一端；所述第二單通閥55的另一端作為第三三通裝置56的第三端，通過管路與所述混合槽54輸
入端連才妄。
其中所述單通閥可以是氣動閥或電子閥或機械閥。
所述計量裝置52可以是計量表或計量泵，所述計量泵可以是柱塞 式計量泵、液壓隔膜式計量泵、才幾械驅(qū)動隔膜式計量泵中的一種。
所述第 一流體和/或第二流體為液體或氣體。
圖7為本發(fā)明的流體混合裝置的第六實施例的示意圖。
請參考圖7,所述第一三通裝置60、第二三通裝置58和第三三通 裝置56分別增加了第三單通閥69、第三單通閥73和第三單通閥65。 其余部分與第二實施例相同，這里不再贅述。
在其它的實施例中，所述第一三通裝置、第二三通裝置和第三三通 裝置可以不必同時為三通閥，或同時由三個單通閥組成，或同時由兩個 單通閥組成，而是可以任意組合，例如第一三通裝置為三通閥，第二三 通裝置由三個單通閥組成，第三三通裝置由兩個單通閥組成......這里不
再贅述。
本發(fā)明雖然以較佳實施例公開如上，但其并不是用來限定本發(fā)明， 任何本領(lǐng)域技術(shù)人員在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，都可以做出可能 的變動和修改，因此本發(fā)明的保護范圍應(yīng)當(dāng)以本發(fā)明權(quán)利要求所界定的 范圍為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1、一種流體混合裝置，包括順序流體連接的緩沖槽、計量裝置和混合槽，其特征在于還包括第一三通裝置、第二三通裝置和第三三通裝置；其中，所述第一三通裝置的第一端用于和第一流體供給源連接，第二端與所述緩沖槽輸入端流體連接，第三端與所述第二三通裝置的第一端流體連接；所述第二三通裝置的第二端與所述混合槽輸入端流體連接，第三端與所述第三三通裝置的第一端流體連接；所述第三三通裝置的第二端與所述緩沖槽輸入端流體連接，第三端和第二流體供給源連接。
2、 如權(quán)利要求1所述的流體混合裝置，其特征在于所述第一三 通裝置、第二三通裝置和/或第三三通裝置為三通閥。
3、 如權(quán)利要求1所述的流體混合裝置，其特征在于所述第一三 通裝置、第二三通裝置和/或第三三通裝置由第一單通閥、第二單通閥 和第三單通閥組成；其中，所述第一單通閥的一端、第二單通閥的一端 和第三單通閥的一端連接在一起，另一端分別為每一三通裝置的第一端 第二端和第三端o
4、 如權(quán)利要求1所述的流體混合裝置，其特征在于所述第一三 通裝置由第 一單通閥和第二單通閥組成，其中第 一單通閥和第二單通閥 的一端連接在一起，作為所述第一三通裝置的第一端，所述第一單通闊 和第二單通閥的另一端分別作為該第一三通裝置的第二端和第三端。
5、 如權(quán)利要求1所述的流體混合裝置，其特征在于所述第二三 通裝置由第一單通閥和第二單通閥組成，其中第一單通閥和第二單通閥 的一端連接在一起，作為所述第二三通裝置的第二端，所述第一單通閥 和第二單通閥的另一端分別作為該第二三通裝置的第一端和第三端。
6、 如權(quán)利要求1所述的流體混合裝置，其特征在于所述第三三 通裝置由第一單通閥和第二單通閥組成，其中第一單通閥和第二單通閥 的一端連接在一起，作為所述第三三通裝置的第二端，所述第一單通閥和第二單通閥的另一端分別作為該第三三通裝置的第一端和第三端。
7、 如權(quán)利要求2至6任一權(quán)利要求所述的流體混合裝置，其特征 在于所述三通閥和/或單通閥為氣動閥或電子閥或才幾械閥。
8、 如權(quán)利要求1所述的流體混合裝置，其特征在于所述第二三 通裝置的第二端與混合槽的之間有計量裝置。
9、 如權(quán)利要求1或8所述的流體混合裝置，其特征在于所述計 量裝置為計量表或計量泵。
10、 如權(quán)利要求1所述的流體混合裝置，其特征在于所述第一流 體和/或第二流體為液體或氣體。
11、 一種流體混合裝置，包括順序流體連接的緩沖槽、計量裝置和 混合槽，其特征在于還包括第一三通裝置、第二三通裝置和第三三通裝置；其中，所述第一三通裝置的第一端用于和第一流體供給源連接，第 二端與所述混合槽輸入端流體連接，第三端與所述第二三通裝置的第一 端流體連接；所述第二三通裝置的第二端與所述緩沖槽輸入端流體連接，第三端 與所述第三三通裝置的第 一端流體連接；所述第三三通裝置的第二端與所述混合槽輸入端流體連接，第三端 用于和第二流體供給源連接。
12、 如權(quán)利要求11所述的流體混合裝置，其特征在于所述第一 三通裝置、第二三通裝置和/或第三三通裝置為三通閥。
13、 如權(quán)利要求11所述的流體混合裝置，其特征在于所述第一 三通裝置、第二三通裝置和/或第三三通裝置由第一單通閥、第二單通 閥和第三單通閥組成；其中，所述第一單通閥的一端、第二單通閥的一端和第三單通閥的一端連接在一起，另一端分別為每一三通裝置的第一 端、第二端和第三端。
14、 如權(quán)利要求11所述的流體混合裝置，其特征在于所述第一 三通裝置由第一單通閥和第二單通閥組成，其中第一單通閥和第二單通閥的一端連接在一起，作為所述第一三通裝置的第二端，所述第一單通 閥和第二單通閥的另一端分別作為該第一三通裝置的第一端和第三端。
15、 如權(quán)利要求11所述的流體混合裝置，其特征在于所述第二 三通裝置由第一單通閥和第二單通閥組成，其中第一單通閥和第二單通 閥的一端連^^妄在一起，作為所述第二三通裝置的第二端，所述第一單通 閥和第二單通閥的另一端分別作為該第二三通裝置的第一端和第三端。
16、 如權(quán)利要求11所述的流體混合裝置，其特征在于所述第三 三通裝置由第 一單通閥和第二單通閥組成，其中第 一單通閥和第二單通 閥的一端連接在一起，作為所述第三三通裝置的第三端，所述第一單通 閥和第二單通閥的另一端分別作為該第三三通裝置的第一端和第二端。
17、 如權(quán)利要求12至16所述的流體混合裝置，其特征在于所述 三通閥和/或單通閥為氣動閥或電子閥或積4戒閥。
18、 如權(quán)利要求11所述的流體混合裝置，其特征在于所述第一 三通裝置的第二端與混合槽之間、第三三通裝置第二端與混合槽之間有 計量裝置。
19、 如權(quán)利要求11或18所述的流體混合裝置，其特征在于所述 計量裝置為計量表或計量泵。
20、 如權(quán)利要求11所述的流體混合裝置，其特征在于所述第一 流體和/或第二流體為液體或氣體。
全文摘要
一種流體混合裝置，包括順序流體連接的緩沖槽、計量裝置和混合槽，還包括第一三通裝置、第二三通裝置和第三三通裝置；其中，所述第一三通裝置的第一端用于和第一流體供給源連接，第二端與所述緩沖槽輸入端流體連接，第三端與所述第二三通裝置的第一端流體連接；所述第二三通裝置的第二端與所述混合槽輸入端流體連接，第三端與所述第三三通裝置的第一端流體連接；所述第三三通裝置的第二端與所述緩沖槽輸入端流體連接，第三端用于和第二流體供給源連接。本發(fā)明能夠?qū)崿F(xiàn)在兩種流體供給源與流體混合裝置連接端不變的情況下該兩種流體任意比例的混合。
文檔編號B01F3/08GK101455948SQ20071009455
公開日2009年6月17日 申請日期2007年12月13日 優(yōu)先權(quán)日2007年12月13日
發(fā)明者偉 王, 秦志濤 申請人:中芯國際集成電路制造(上海)有限公司