一種氣路清洗系統(tǒng)及清洗方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種氣路清洗系統(tǒng)及清洗方法，特別是涉及一種用于動(dòng)態(tài)配氣氣路的二級清洗系統(tǒng)及清洗方法。
【背景技術(shù)】
[0002]氣體檢測實(shí)驗(yàn)，例如氣敏傳感器測試、氣體吸附劑測試、汽車尾氣或輪船尾氣模擬等，通常需要配備動(dòng)態(tài)配氣氣路。在測定一個(gè)樣品后或?qū)嶒?yàn)結(jié)束后，氣路需要進(jìn)行清理，以便進(jìn)行下一個(gè)樣品測試或下一次實(shí)驗(yàn)；另外，很多實(shí)驗(yàn)涉及腐蝕性氣體，如硫化氫、氯化氫等，出于對設(shè)備使用壽命的考慮，尤其是高精度的質(zhì)量流量計(jì)，清洗氣路、保持干燥都是非常有必要的。
[0003]通常采用的氣路清洗方法是:直接使用稀釋氣，通常為氮?dú)饣蚋稍锟諝?，對整套設(shè)備進(jìn)行清洗，但是該方法必然會經(jīng)過流量計(jì)等不適合用較大流速的氣體進(jìn)行清洗的部件，導(dǎo)致清洗時(shí)間較長、清洗效果欠佳。由于清洗流量受到限制，導(dǎo)致傳感器脫附氣體速度慢，不適合大量采集樣本數(shù)據(jù)。因此，也有實(shí)驗(yàn)者將流量計(jì)等部件卸下，加大載氣流量，對氣路管路和流量計(jì)等部件分開清洗，但該方法操作繁瑣，且頻繁拆卸流量計(jì)等部件易造成損壞和潮濕引起的腐蝕。
[0004]因此，開發(fā)出一套高效的動(dòng)態(tài)配氣氣路清洗系統(tǒng)，既能保證清洗工作的的快速便捷，又能維護(hù)儀器設(shè)備的長期穩(wěn)定，對氣體檢測實(shí)驗(yàn)的發(fā)展具有十分重要的意義。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，本發(fā)明的目的在于提供一種氣路清洗系統(tǒng)及清洗方法，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中不能使用較大流速的氣體進(jìn)行清洗，導(dǎo)致清洗時(shí)間較長、清洗效果欠佳的問題。
[0006]為實(shí)現(xiàn)上述目的及其他相關(guān)目的，本發(fā)明提供一種氣路清洗系統(tǒng)包括以下部件:待測氣源、稀釋氣源、清洗氣源、氣體混合裝置、氣體檢測裝置、多個(gè)閥門以及用于各部件間氣體傳輸?shù)臍怏w管路。各待測氣源連接于所述氣體混合裝置，所述氣體混合裝置有至少三個(gè)進(jìn)氣口和至少一個(gè)出氣口，所述出氣口與所述氣體檢測裝置連接，第一進(jìn)氣口通過閥門與待測氣源以及稀釋氣源連接，第二進(jìn)氣口通過閥門與稀釋氣源連接，第三進(jìn)氣口通過閥門和清洗氣源連接。
[0007]優(yōu)選地，第一閥門設(shè)置于所述稀釋氣源以及待測氣源之間的氣體管路，第二閥門設(shè)置于所述待測氣源以及氣體混合裝置第一進(jìn)氣口之間的氣體管路，第三閥門設(shè)置于所述稀釋氣源以及氣體混合裝置第二進(jìn)氣口之間的氣體管路，第四閥門設(shè)置于所述清洗氣源以及氣體混合裝置第三進(jìn)氣口之間的氣體管路。
[0008]優(yōu)選地，還包括多個(gè)氣體流量控制裝置，第一氣體流量控制裝置設(shè)置于所述待測氣源以及所述氣體混合裝置第一進(jìn)氣口之間的氣體管路，第二氣體流量控制裝置設(shè)置于所述稀釋氣源以及所述氣體混合裝置第二進(jìn)氣口之間的氣體管路。
[0009]優(yōu)選地，氣體檢測裝置通過可拆卸接頭與氣栗連接。
[0010]優(yōu)選地，氣體流量控制裝置為帶流量控制功能的質(zhì)量流量計(jì)。
[0011 ]優(yōu)選地，清洗氣源與稀釋氣源的氣源相同。
[0012]優(yōu)選地，所述閥門為多個(gè)手動(dòng)閥門和多個(gè)自動(dòng)閥門的組合。
[0013]本發(fā)明還提供一種所述清洗系統(tǒng)的氣路清洗方法:步驟一，關(guān)閉第四閥門，其余閥門開啟，打開稀釋氣源，稀釋氣源釋放稀釋氣體，稀釋氣體通過第一閥門、第二閥門和第三閥門進(jìn)入氣體管路進(jìn)行清洗;步驟二，停止稀釋氣體通入，關(guān)閉第一閥門、第二閥門和第三閥門，打開第四閥門，打開清洗氣源，清洗氣源釋放清洗氣體，清洗氣體通過第四閥門進(jìn)入氣體管路進(jìn)行清洗。
[0014]優(yōu)選地，步驟二中，打開清洗氣源前，還包括通過可拆卸接頭連接氣栗的步驟。
[0015]優(yōu)選地，氣路清洗步驟之前，還包括氣體檢測步驟，關(guān)閉第一閥門和第四閥門，其余閥門開啟，釋放稀釋氣體和待測氣體;待測氣體通過第二閥門進(jìn)入氣體混合裝置;稀釋氣源釋放稀釋氣體，稀釋氣體通過第三閥門進(jìn)入氣體混合裝置和待測氣體混合形成混合氣體，所述混合氣體進(jìn)入氣體檢測裝置檢測和傳感器反應(yīng)，產(chǎn)生電信號輸出。
[0016]如上所述，本發(fā)明的一種氣路清洗系統(tǒng)及清洗方法，具有以下有益效果:
[0017]I)本發(fā)明的氣路清洗裝置可以大幅度減少清洗時(shí)間，清洗氣體清洗過程持續(xù)不超過10分鐘即可實(shí)現(xiàn)對配氣氣路的清洗，與通常半小時(shí)以上的清洗時(shí)間相比，清洗時(shí)間縮短至1/3甚至更少。
[0018]2)本發(fā)明先用稀釋氣體對連接有氣體流量控制裝置的氣路進(jìn)行小流量清洗，即一級清洗;再用清洗氣體對其余氣路和腔室進(jìn)行大流量快速清洗，即二級清洗。本發(fā)明大幅度減少清洗時(shí)間的同時(shí)，可以避免流量過大對設(shè)備造成影響甚至損壞。
[0019]3)本發(fā)明通過大流量的清洗氣體氣流沖擊，使得管路和腔室內(nèi)壁的殘余氣體被沖洗的更加徹底。
【附圖說明】
[0020]圖1顯示為本發(fā)明的一種氣路清洗系統(tǒng)示意圖。
[0021]元件標(biāo)號說明
[0022]I稀釋氣源
[0023]2待測氣源
[0024]301第一氣體流量控制裝置
[0025]302第二氣體流量控制裝置
[0026]4四通管
[0027]5氣體混合裝置
[0028]6清洗氣源
[0029]7氣體檢測裝置
[0030]8可拆卸接頭
[0031]9氣栗
[0032]101-103第一閥門
[0033]104-106第二閥門
[0034]109第三閥門
[0035]107第四閥門
【具體實(shí)施方式】
[0036]以下由特定的具體實(shí)施例說明本發(fā)明的實(shí)施方式，熟悉此技術(shù)的人士可由本說明書所揭露的內(nèi)容輕易地了解本發(fā)明的其他優(yōu)點(diǎn)及功效。
[0037]請參閱圖1。須知，本說明書所附圖式所繪示的結(jié)構(gòu)、比例、大小等，均僅用以配合說明書所揭示的內(nèi)容，以供熟悉此技術(shù)的人士了解與閱讀，并非用以限定本發(fā)明可實(shí)施的限定條件，故不具技術(shù)上的實(shí)質(zhì)意義，任何結(jié)構(gòu)的修飾、比例關(guān)系的改變或大小的調(diào)整，在不影響本發(fā)明所能產(chǎn)生的功效及所能達(dá)成的目的下，均應(yīng)仍落在本發(fā)明所揭示的技術(shù)內(nèi)容得能涵蓋的范圍內(nèi)。同時(shí)，本說明書中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中間”及“一”等的用語，亦僅為便于敘述的明了，而非用以限定本發(fā)明可實(shí)施的范圍，其相對關(guān)系的改變或調(diào)整，在無實(shí)質(zhì)變更技術(shù)內(nèi)容下，當(dāng)亦視為本發(fā)明可實(shí)施的范疇。
[0038]實(shí)施例一
[0039]如圖1所示，本發(fā)明提供一種氣路清洗系統(tǒng)包括:待測氣源2、稀釋氣源1、清洗氣源6、氣體混合裝置5、氣體檢測裝置7、多個(gè)閥門以及用于各部件間氣體傳輸?shù)臍怏w管路。其中，待測氣源2、稀釋氣源I和清洗氣源6中的一種或多種采用高壓氣體鋼瓶儲存，鋼瓶自帶減壓閥門。稀釋氣體I和清洗氣體6均為高純氮?dú)?，待測氣體2為濃度在I?100ppm的以氮?dú)庾鳛槠胶鈿獾娜N標(biāo)準(zhǔn)氣體二氧化硫、二氧化氮和一氧化氮。清洗氣源6與稀釋氣源I的氣體種類相同。清洗氣體除本實(shí)施例中所采用的氮?dú)?，還可以為純凈空氣、氬氣，或者其它的惰性氣體，但應(yīng)保證氣體的潔凈和干燥，可以通過加裝氣體干燥裝置保證氣體干燥。
[0040]各待測氣源2連接于氣體混合裝置5，氣體混合裝置5有至少三個(gè)進(jìn)氣口和至少一個(gè)出氣口，氣體混合裝置5的出氣口與氣體檢測裝置7連接，第一進(jìn)氣口通過閥門與待測氣源2以及稀釋氣源I連接，第二進(jìn)氣口通過閥門與稀釋氣源I連接，第三進(jìn)氣口通過閥門和清洗氣源6連接。
[0041]其中，三個(gè)第一閥門(閥門101、閥門102、閥門103)設(shè)置于稀釋氣源I以及待測氣源2之間的氣體管路，三個(gè)第二閥門(閥門104、閥門105和閥門106)設(shè)置于待測氣源2以及氣體混合裝置5第一進(jìn)氣口之間的氣體管路，一個(gè)第三閥門109設(shè)置于稀釋氣源I以及氣體混合裝置5第二進(jìn)氣口之間的氣體管路，一個(gè)第四閥門107設(shè)置于清洗氣源6以及氣體混合裝置5第三進(jìn)氣口之間的氣體管路。
[0042]進(jìn)一步，還包括多個(gè)氣體流量控制裝置，三個(gè)第一氣體流量控制裝置301設(shè)置于待測氣源2以及氣體混合裝置5第一進(jìn)氣口之間的氣體管路，一個(gè)第二氣體流量控制裝置302設(shè)置于稀釋氣源I以及氣體混合裝置5第二進(jìn)氣口之間的氣體管路。所述第二氣體流量控制裝置302的量程大于等于第一氣體流量控制裝置301的量程。具體的，第一氣體流量控制裝置301量程為O?lOsccm，第二氣體流量控制裝置302量程為O?3slm。氣體流量控制裝置為帶流量控制功能的質(zhì)量流量控制裝置。
[0043]具體的，氣體混合裝置5出氣口、閥門、氣體檢測裝置7、閥門依次相連構(gòu)成第一氣體輸出氣路。稀釋氣源1、第一閥門、第一氣體流量控制裝置301、第二閥門、氣體混合裝置5第一進(jìn)氣口依次相連構(gòu)成第一氣路輸入氣路;待測氣源2、第一氣體流量控制裝置301、第二閥門、氣體混合裝置5第一進(jìn)氣口依次相連構(gòu)成第二氣體輸入氣路;稀釋氣源1、第二氣體流量控制裝置