硅片腐前清洗機(jī)用清洗框的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及機(jī)械類技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及半導(dǎo)體硅片腐前清洗用的清洗框。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著半導(dǎo)體硅片行業(yè)競(jìng)爭(zhēng)的日益加大，產(chǎn)能的提升成為必然的趨勢(shì)，而目前的硅片腐前清洗機(jī)所配套的清洗框采用不銹鋼材料制造而成，質(zhì)量較重，且結(jié)構(gòu)單一清洗硅片時(shí)對(duì)硅片的尺寸有較多的限制，單批次清洗的硅片較少，遠(yuǎn)遠(yuǎn)不能滿足實(shí)際生產(chǎn)的需要。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明要解決的問題是提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、質(zhì)量輕便、且單批次能夠清洗較多硅片數(shù)量的硅片的腐前清洗用清洗框。
[0004]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是:硅片腐前清洗機(jī)用清洗框，其特征在于:包括框體底板、側(cè)板、擋板、橫桿和提手，所述框體底板上設(shè)有若干方孔，底板四邊的邊緣和中間梁上都均勻設(shè)有若干通孔，兩個(gè)所述側(cè)板設(shè)置在所述框體底板相對(duì)的兩側(cè)，其底部與所述框體底板固定連接，所述側(cè)板上設(shè)有若干圓孔，兩個(gè)所述擋板相對(duì)設(shè)置在所述框體底板的另兩側(cè)，其底部和兩端分別與所述框體底板和兩個(gè)側(cè)板固定連接，所述擋板上設(shè)有若干通孔，兩個(gè)所述橫桿分別平行設(shè)于兩個(gè)所述擋板的上邊，其兩端分別固定連接在兩個(gè)所述側(cè)板的上部，所述提手橫跨在所述框體底板的上邊，其兩端分別固定安裝在兩個(gè)所述橫桿上。
[0005]兩排所述方孔對(duì)稱分布在所述底板上。
[0006]每排設(shè)有三個(gè)所述方孔，且三個(gè)所述方孔大小不等。
[0007]所述提手包括第一提手和第二提手，所述第一提手設(shè)置在所述橫桿的一端，所述第二提手設(shè)置在所述橫桿的另一端，且距離橫桿端部有一定距離。
[0008]所述第二提手距離所述橫桿端部的距離為10cm-20cm。
[0009]所述第一提手和第二提手為一板狀，其兩側(cè)通過支座固定掛在所述橫桿上，其上端設(shè)有一桿，所述桿的兩端突出所述提手兩側(cè)，所述第一提手和第二提手上均設(shè)有圓形通孔。
[0010]所述側(cè)板上設(shè)有五個(gè)所述圓孔，其中上邊有兩個(gè)所述圓孔，下邊有三個(gè)所述圓孔。
[0011]所述框體底板、側(cè)板、擋板、橫桿和提手均采用PP塑料材質(zhì)
[0012]本發(fā)明具有的優(yōu)點(diǎn)和積極效果是:本發(fā)明的硅片腐前清洗機(jī)用清洗框多處開設(shè)有孔，在保證了清洗框被抓起、放下和挪動(dòng)時(shí)的平穩(wěn)性的同時(shí)，大大減輕了清洗框的質(zhì)量，且該清洗框每批次清洗的硅片數(shù)量較多，增加了產(chǎn)能。
【附圖說明】
[0013]圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0014]圖中:
[0015]1、框體底板2、側(cè)板3、擋板4、橫桿
[0016]5、第一提手6、第二提手7、方孔8、邊緣
[0017]9、中間梁10、通孔11、圓孔12、圓形通孔
[0018]13、支座14、桿
【具體實(shí)施方式】
[0019]以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說明。
[0020]如圖1所示，本發(fā)明的硅片腐前清洗機(jī)用清洗框，包括框體底板1、側(cè)板2、擋板3、橫桿4和提手，提手包括第一提手5和第二提手6，所述框體底I上設(shè)有若干方孔7，框體底板I四邊的邊緣8和中間梁9上都均勻設(shè)有若干通孔10，兩個(gè)所述側(cè)板2設(shè)置在所述框體底板I相對(duì)的兩側(cè)，其底部與所述框體底板I固定連接，所述側(cè)板2上設(shè)有若干圓孔11，兩個(gè)所述擋板3相對(duì)設(shè)置在所述框體底板I的另兩側(cè)，其底部和兩端分別與所述框體底板I和兩個(gè)側(cè)板2固定連接，所述擋板3上設(shè)有若干通孔10，兩個(gè)所述橫桿4分別平行設(shè)于兩個(gè)所述擋板3的上邊，其兩端分別與兩個(gè)所述側(cè)板2固定連接，所述第一提手5和第二提手6均橫跨在所述框體底板I的上邊，其兩端分別固定安裝在兩個(gè)所述橫桿4上。
[0021 ] 兩排所述方孔7對(duì)稱分布在所述框體底板I上。
[0022]每排設(shè)有三個(gè)所述方孔7，且三個(gè)所述方孔7大小不等，其中中間的方孔7最大，兩個(gè)的方孔較小。
[0023]第一提手5設(shè)置在所述橫桿4的一端，所述第二提手6設(shè)置在所述橫桿4的另一端，且距離橫桿4端部有一定距離，第二提手6距離所述橫桿4端部的距離為5cm-15cm。
[0024]第一提手5和第二提手6為一板狀，其兩側(cè)通過支座13固定掛在所述橫桿4上，其上端設(shè)有一桿14，所述桿14的兩端突出所述提手兩側(cè)，所述第一提手5和第二提手6上均設(shè)有圓形通孔12。
[0025]所述側(cè)板2上設(shè)有五個(gè)所述圓孔11，上邊設(shè)有兩個(gè)所述圓孔11，下邊設(shè)有三個(gè)所述圓孔11。
[0026]所述框體底板1、側(cè)板2、擋板3、橫桿4和提手(包括第一提手5和第二提手6)均采用PP塑料材質(zhì)。
[0027]聚丙烯(PP塑料)是繼尼龍之后發(fā)展的又一優(yōu)良樹脂品種，它是一種高密度、無(wú)側(cè)鏈、高結(jié)晶必的線性聚合物，具有優(yōu)良的綜合性能。未著色時(shí)呈白色半透明，蠟狀；比聚乙烯輕。透明度也較聚乙烯好，比聚乙烯剛硬。
[0028]硅片一般存放在特定的籃中，清洗時(shí)，將存放硅片的籃放到清洗框中再送到清洗機(jī)進(jìn)行清洗。本發(fā)明的硅片腐前清洗機(jī)用清洗框一次可以盛放6籃4英寸的硅片或4籃6英寸的硅片，而之前的清洗框一次可以盛放4籃4英寸的硅片或2籃6英寸的硅片，本發(fā)明的清洗框一次清洗的硅片數(shù)量增多，產(chǎn)能增加；側(cè)板2和擋板3將盛放硅片的籃固定使不滑落出來(lái)，而且兩個(gè)側(cè)板2上開有5個(gè)圓孔11,并由兩個(gè)擋板3代替了另外兩側(cè)的側(cè)板,擋板3上分布有多個(gè)通孔，這樣可以大大減輕清洗框整體的重量，在機(jī)械手提起或放下清洗框時(shí)更加容易和安全，底板I上設(shè)有多個(gè)方孔和通孔也減輕了清洗框的重量，同時(shí)更便于殘留液體的流出；提手通過橫桿4連接在側(cè)板2上，當(dāng)機(jī)械手提起清洗框時(shí)，重量通過橫桿4分布到兩個(gè)側(cè)板2上，有效地保證了清洗框的穩(wěn)定，提手上設(shè)有桿14，且桿14兩端突出提手兩側(cè)，便于機(jī)械手抓起或放下清洗框。本發(fā)明的硅片腐前清洗機(jī)用清洗框結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、質(zhì)量輕便且容量較大。
[0029]以上對(duì)本發(fā)明的實(shí)施例進(jìn)行了詳細(xì)說明，但所述內(nèi)容僅為本發(fā)明的較佳實(shí)施例，不能被認(rèn)為用于限定本發(fā)明的實(shí)施范圍。凡依本發(fā)明范圍所作的均等變化與改進(jìn)等，均應(yīng)仍歸屬于本專利涵蓋范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.硅片腐前清洗機(jī)用清洗框，其特征在于:包括框體底板、側(cè)板、擋板、橫桿和提手，所述框體底板上設(shè)有若干方孔，底板四邊的邊緣和中間梁上都均勻設(shè)有若干通孔，兩個(gè)所述側(cè)板設(shè)置在所述框體底板相對(duì)的兩側(cè)，其底部與所述框體底板固定連接，所述側(cè)板上設(shè)有若干圓孔，兩個(gè)所述擋板相對(duì)設(shè)置在所述框體底板的另兩側(cè)，其底部和兩端分別與所述框體底板和兩個(gè)側(cè)板固定連接，所述擋板上設(shè)有若干通孔，兩個(gè)所述橫桿分別平行設(shè)于兩個(gè)所述擋板的上邊，其兩端分別固定連接在兩個(gè)所述側(cè)板的上部，所述提手橫跨在所述框體底板的上邊，其兩端分別固定安裝在兩個(gè)所述橫桿上。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片腐前清洗機(jī)用清洗框，其特征在于:兩排所述方孔對(duì)稱分布在所述底板上。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的硅片腐前清洗機(jī)用清洗框，其特征在于:每排設(shè)有三個(gè)所述方孔，且三個(gè)所述方孔大小不等。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片腐前清洗機(jī)用清洗框，其特征在于:所述提手包括第一提手和第二提手，所述第一提手設(shè)置在所述橫桿的一端，所述第二提手設(shè)置在所述橫桿的另一端，且距離橫桿端部有一定距離。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或4所述的硅片腐前清洗機(jī)用清洗框，其特征在于:所述第二提手距離所述橫桿端部的距離為5cm-15cm。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或4所述的硅片腐前清洗機(jī)用清洗框，其特征在于:所述第一提手和第二提手為一板狀，其兩側(cè)通過支座固定掛在所述橫桿上，其上端設(shè)有一桿，所述桿的兩端突出所述提手兩側(cè)，所述第一提手和第二提手上均設(shè)有圓形通孔。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片腐前清洗機(jī)用清洗框，其特征在于:所述側(cè)板上設(shè)有五個(gè)所述圓孔，其中上邊有兩個(gè)所述圓孔，下邊有三個(gè)所述圓孔。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片腐前清洗機(jī)用清洗框，其特征在于:所述框體底板、側(cè)板、擋板、橫桿和提手均采用PP塑料材質(zhì)。
【專利摘要】本發(fā)明提供一種硅片腐前清洗機(jī)用清洗框，包括框體底板、側(cè)板、擋板、橫桿和提手，所述框體底板上設(shè)有若干方孔，底板四邊的邊緣和中間梁上都均勻設(shè)有若干通孔，兩個(gè)所述側(cè)板設(shè)置在所述框體底板相對(duì)的兩側(cè)，其底部與所述框體底板固定連接，所述側(cè)板上設(shè)有若干圓孔，兩個(gè)所述擋板相對(duì)設(shè)置在所述框體底板的另兩側(cè)，其底部和兩端分別與所述框體底板和兩個(gè)側(cè)板固定連接，所述擋板上設(shè)有若干通孔，兩個(gè)所述橫桿分別平行設(shè)于兩個(gè)所述擋板的上邊，其兩端分別固定連接在兩個(gè)所述側(cè)板的上部，所述提手橫跨在所述框體底板的上邊，其兩端分別固定安裝在兩個(gè)所述橫桿上。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、質(zhì)量輕便、容量大。
【IPC分類】B08B3-04
【公開號(hào)】CN104690028
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201310659773
【發(fā)明人】劉振福, 翟洪升, 嚴(yán)政先, 甄紅昌, 孫晨光
【申請(qǐng)人】天津中環(huán)領(lǐng)先材料技術(shù)有限公司
【公開日】2015年6月10日
【申請(qǐng)日】2013年12月5日