一種膠杯自動(dòng)清洗的方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于半導(dǎo)體行業(yè)光刻工藝中的旋轉(zhuǎn)涂膠技術(shù)領(lǐng)域，具體地說(shuō)是一種膠杯自動(dòng)清洗的方法。該方法能在不拆下CUP時(shí)，自動(dòng)將殘存膠液從CUP上清除。
【背景技術(shù)】
[0002]涂膠是光刻工藝過(guò)程的關(guān)鍵步驟。因光刻膠有一定的粘度，涂膠腔體工作一段時(shí)間之后就會(huì)在CUP(膠杯)上殘留一些光刻膠，隨著殘留膠液的增多將會(huì)引起膠液反濺、排風(fēng)變化等進(jìn)而影響涂膠工藝。所以涂膠腔體工作一段時(shí)間之后就需要對(duì)CUP進(jìn)行清洗，目前一般采用的方法是將CUP從設(shè)備上拆下進(jìn)行清洗，這樣既影響設(shè)備的穩(wěn)定性又浪費(fèi)時(shí)間。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]針對(duì)上述問(wèn)題，本發(fā)明的目的在于提供一種膠杯自動(dòng)清洗的方法，該方法不從設(shè)備上拆下CUP即可對(duì)其清洗。
[0004]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案:
[0005]一種膠杯自動(dòng)清洗的方法，涂膠平臺(tái)上設(shè)有膠杯和膠臂，所述膠臂上設(shè)有多個(gè)涂膠膠嘴，各涂膠膠嘴分別與一路膠管連接，所述膠臂上還設(shè)有清洗噴嘴，所述清洗噴嘴通過(guò)清洗管路與清洗液罐連接，所述清洗噴嘴通過(guò)膠臂移動(dòng)到膠杯內(nèi)晶元的上方、并噴灑清洗液，所述晶元旋轉(zhuǎn)將清洗液甩到膠杯內(nèi)壁上對(duì)殘留膠液進(jìn)行清洗。
[0006]與所述涂膠膠嘴連接的膠管上設(shè)有氣控回吸閥，與所述氣控回吸閥連接的供氣管路上設(shè)有調(diào)速閥和電磁閥，所述氣控回吸閥在電磁閥的控制下動(dòng)作、并通過(guò)調(diào)速閥控制清洗液的回吸效果。與所述涂膠膠嘴連接的膠管上還設(shè)有流量計(jì)。
[0007]所述涂膠平臺(tái)上膠杯的外側(cè)設(shè)有固定清洗裝置。所述固定清洗裝置包括固定座和固定臂，所述固定座固定于涂膠平臺(tái)上，所述固定臂為中空結(jié)構(gòu)、并下端部固定于固定座上，所述固定臂的下端口通過(guò)清洗管路與清洗液罐連接，固定臂的上端口與膠杯內(nèi)的晶元相對(duì)應(yīng)，所述清洗液罐內(nèi)的清洗液通過(guò)固定臂的上端口噴灑到晶元上，所述晶元旋轉(zhuǎn)將清洗液甩到膠杯內(nèi)壁上對(duì)殘留膠液進(jìn)行清洗。
[0008]本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)及有益效果是:
[0009]1.本發(fā)明提供的膠杯自動(dòng)清洗的方法，無(wú)需拆下膠杯，節(jié)約時(shí)間，提高效率且有效保證設(shè)備運(yùn)行穩(wěn)定性。
[0010]2.本發(fā)明具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、反應(yīng)迅速、安裝方便、價(jià)格低廉、便于操作和維護(hù)等特點(diǎn)。
[0011]3.本發(fā)明能使殘留在膠杯上的膠液自動(dòng)清除。
[0012]4.本發(fā)明當(dāng)膠臂上位置足夠時(shí)，膠杯自動(dòng)清洗管路還可以兼晶元預(yù)濕以節(jié)約光刻膠的功能。
【附圖說(shuō)明】
[0013]圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0014]圖2為本發(fā)明CUP自動(dòng)清洗管路圖。
[0015]其中:1為膠杯，2為膠臂，3為固定座，4為固定臂，5為晶元，6為流量計(jì)，7為氣控回吸閥，8為調(diào)速閥，A為光刻膠清洗液，B為CUP清洗，C為電磁閥。
【具體實(shí)施方式】
[0016]下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)描述。
[0017]如圖1所示，本發(fā)明是在涂膠平臺(tái)上設(shè)有膠杯I和膠臂2，所述膠臂2上設(shè)有多個(gè)涂膠膠嘴，各涂膠膠嘴分別與一路膠管連接，所述膠臂2上還設(shè)有清洗噴嘴，所述清洗噴嘴通過(guò)清洗管路與清洗液罐連接。所述清洗噴嘴通過(guò)膠臂2移動(dòng)到膠杯I內(nèi)晶元5的上方、并噴灑清洗液，所述晶元5旋轉(zhuǎn)將清洗液甩到膠杯I內(nèi)壁上對(duì)殘留膠液進(jìn)行清洗。
[0018]如圖2所示，與所述涂膠膠嘴連接的膠管上設(shè)有氣控回吸閥7，所述氣控回吸閥7的供氣管路與氣源連接，所述供氣管路上設(shè)有調(diào)速閥8和電磁閥，所述氣控回吸閥7在電磁閥的控制下動(dòng)作、并通過(guò)調(diào)速閥8控制清洗液的回吸效果。所述與所述涂膠膠嘴連接的膠管上還設(shè)有流量計(jì)6。
[0019]所述涂膠平臺(tái)上膠杯I的外側(cè)還設(shè)有固定清洗裝置，所述固定清洗裝置包括固定座3和固定臂4，所述固定座3固定于涂膠平臺(tái)上，所述固定臂4為中空結(jié)構(gòu)、并下端部固定于固定座3上，所述固定臂4的下端口通過(guò)清洗管路與清洗液罐連接，固定臂4的上端口與膠杯I內(nèi)的晶元5相對(duì)應(yīng)，所述清洗液罐內(nèi)的清洗液通過(guò)固定臂4的上端口噴灑到晶元5上，所述晶元5旋轉(zhuǎn)將清洗液甩到膠杯I內(nèi)壁上對(duì)殘留膠液進(jìn)行清洗。
[0020]實(shí)施例
[0021]膠臂2上共有三路膠管，當(dāng)設(shè)備所需膠液小于等于兩路時(shí)，其中I路膠管就可以作為膠杯I自動(dòng)清洗管路使用，此管路也具備晶元預(yù)濕以節(jié)約光刻膠的功能。當(dāng)設(shè)備所需膠液為三路時(shí)，膠臂2上沒有位置放置自動(dòng)清洗管路，此時(shí)固定座3安裝固定臂4作為CUP (膠杯)自動(dòng)清洗管路使用。
[0022]當(dāng)需要對(duì)膠杯I進(jìn)行清洗時(shí)，膠臂2擺到晶元5的中心，氣控回吸閥7在電磁閥的控制下動(dòng)作，來(lái)自清洗液罐的清洗液經(jīng)過(guò)流量計(jì)6噴灑，氣控回吸閥7通過(guò)調(diào)速閥8控制清洗液的回吸效果，晶元5旋轉(zhuǎn)即可將清洗液甩到膠杯I壁上對(duì)殘留膠液進(jìn)行清除。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種膠杯自動(dòng)清洗的方法，其特征在于:涂膠平臺(tái)上設(shè)有膠杯(I)和膠臂(2)，所述膠臂(2)上設(shè)有多個(gè)涂膠膠嘴，各涂膠膠嘴分別與一路膠管連接，所述膠臂(2)上還設(shè)有清洗噴嘴，所述清洗噴嘴通過(guò)清洗管路與清洗液罐連接，所述清洗噴嘴通過(guò)膠臂(2)移動(dòng)到膠杯(I)內(nèi)晶元(5)的上方、并噴灑清洗液，所述晶元(5)旋轉(zhuǎn)將清洗液甩到膠杯(I)內(nèi)壁上對(duì)殘留膠液進(jìn)行清洗。
2.按權(quán)利要求1所述的膠杯自動(dòng)清洗的方法，其特征在于:與所述涂膠膠嘴連接的膠管上設(shè)有氣控回吸閥(7)，與所述氣控回吸閥(7)連接的供氣管路上設(shè)有調(diào)速閥(8)和電磁閥，所述氣控回吸閥(7)在電磁閥的控制下動(dòng)作、并通過(guò)調(diào)速閥(3)控制清洗液的回吸效果O
3.按權(quán)利要求1或2所述的膠杯自動(dòng)清洗的方法，其特征在于:與所述涂膠膠嘴連接的膠管上還設(shè)有流量計(jì)(6)。
4.按權(quán)利要求1所述的膠杯自動(dòng)清洗的方法，其特征在于:所述涂膠平臺(tái)上膠杯(I)的外側(cè)設(shè)有固定清洗裝置。
5.按權(quán)利要求4所述的膠杯自動(dòng)清洗的方法，其特征在于:所述固定清洗裝置包括固定座(3)和固定臂(4)，所述固定座(3)固定于涂膠平臺(tái)上，所述固定臂(4)為中空結(jié)構(gòu)、并下端部固定于固定座(3)上，所述固定臂(4)的下端口通過(guò)清洗管路與清洗液罐連接，固定臂(4)的上端口與膠杯(I)內(nèi)的晶元(5)相對(duì)應(yīng)，所述清洗液罐內(nèi)的清洗液通過(guò)固定臂(4)的上端口噴灑到晶元(5)上，所述晶元(5)旋轉(zhuǎn)將清洗液甩到膠杯(I)內(nèi)壁上對(duì)殘留膠液進(jìn)行清洗。
【專利摘要】本發(fā)明屬于半導(dǎo)體行業(yè)光刻工藝中的旋轉(zhuǎn)涂膠技術(shù)領(lǐng)域，具體地說(shuō)是一種膠杯自動(dòng)清洗的方法。所述方法是在涂膠平臺(tái)上設(shè)有膠杯和膠臂，所述膠臂上設(shè)有多個(gè)涂膠膠嘴，各涂膠膠嘴分別與一路膠管連接，所述膠臂上還設(shè)有清洗噴嘴，所述清洗噴嘴通過(guò)清洗管路與清洗液罐連接，所述清洗噴嘴通過(guò)膠臂移動(dòng)到膠杯內(nèi)晶元的上方、并噴灑清洗液，所述晶元旋轉(zhuǎn)將清洗液甩到膠杯內(nèi)壁上對(duì)殘留膠液進(jìn)行清洗。本發(fā)明無(wú)需將膠杯拆下，將殘留膠液有效地從膠杯上清除。
【IPC分類】B08B9-28
【公開號(hào)】CN104607430
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201310536266
【發(fā)明人】李曉飛, 王沖
【申請(qǐng)人】沈陽(yáng)芯源微電子設(shè)備有限公司
【公開日】2015年5月13日
【申請(qǐng)日】2013年11月1日