本發(fā)明涉及光伏，具體為一種用來清洗pecvd機(jī)臺特氣噴嘴的箱體器具。

背景技術(shù)：

1、太陽能電池是將太陽能直接轉(zhuǎn)化成電能，并且在使用過程中不會產(chǎn)生任何有害物質(zhì)，是一種環(huán)保無污染產(chǎn)品，因此，太陽能電池在解決能源與環(huán)境問題方面倍受青睞，有著極好的市場前景，而在對太陽能電池進(jìn)行生產(chǎn)時，需要使用pecvd來進(jìn)行鍍膜。

2、pecvd機(jī)臺在低氣壓環(huán)境下工作，通過射頻(rf)或其他形式的電場在工藝腔體內(nèi)激發(fā)氣體產(chǎn)生低溫等離子體。這些等離子體中的高能電子、離子和活性基團(tuán)與通入的工藝氣體分子發(fā)生碰撞，從而激活并促進(jìn)氣體分子之間的化學(xué)反應(yīng)。這些反應(yīng)在樣品表面進(jìn)行，導(dǎo)致生成物沉積并形成固態(tài)薄膜。

3、噴嘴在pecvd機(jī)臺中扮演著至關(guān)重要的角色，它負(fù)責(zé)將工藝氣體(如硅烷sih4、氬氣ar等)以一定的流量和壓力引入反應(yīng)腔體內(nèi)。通過精確控制噴嘴的開啟和關(guān)閉，以及氣體的流量和壓力，可以確保在反應(yīng)過程中形成穩(wěn)定的等離子體，并促進(jìn)氣體分子之間的化學(xué)反應(yīng)，從而在樣品表面沉積出高質(zhì)量的薄膜。

4、目前，在在太陽能電池生產(chǎn)工藝過程中鍍膜工序中，ald工藝爐管內(nèi)特氣噴嘴經(jīng)常因為tma反應(yīng)后產(chǎn)生氧化鋁殘留物，堵住特氣噴嘴出氣孔，受常用工具限制，只能清潔噴嘴出氣孔表層，噴嘴內(nèi)部無法使用常用工具清理，長期循環(huán)，噴嘴內(nèi)部管道堵塞，造成特氣輸出量不均勻或者特氣無法輸出，常用的方式是將噴嘴放置在清洗箱體中，然后在箱體中加入氫氧化鉀，氫氧化鉀與噴嘴內(nèi)部氧化鋁殘留物發(fā)生反應(yīng)并清除氧化鋁殘留物，達(dá)到特氣噴嘴表面和內(nèi)部同時清理的效果，而為了提高堿液對特氣噴頭的清洗效果，往往還會通過加速清洗箱體內(nèi)清洗液體循環(huán)流動的方式來實現(xiàn)，這樣流動的清洗液沖擊特氣噴頭，會造成特氣噴頭在清洗箱體內(nèi)四處撞擊或是互相撞擊的問題，易造成特氣噴頭的損壞，影響特氣噴頭的后續(xù)的使用。

5、因此，為了解決上述技術(shù)問題本技術(shù)提出一種用來清洗pecvd機(jī)臺特氣噴嘴的箱體器具。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的是提供一種用來清洗pecvd機(jī)臺特氣噴嘴的箱體器具，以解決現(xiàn)有技術(shù)中的上述不足之處。

2、為了實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種用來清洗pecvd機(jī)臺特氣噴嘴的箱體器具，包括內(nèi)部形成有腔體的清洗箱體，所述清洗箱體的腔體開口位置轉(zhuǎn)動設(shè)置箱體上蓋，且靠近清洗箱體腔體一側(cè)的箱體上蓋上安裝有出水管道，所述清洗腔體底部安裝有排水手閥，還包括：

3、滑動設(shè)置在清洗箱體內(nèi)壁表面上的升降安裝架，所述箱體上蓋和升降安裝架之間配合設(shè)置有牽拉連接桿，在所述箱體上蓋閉合/開啟時，所述牽拉連接桿用于使升降安裝架下降/上升；

4、離心組件，所述離心組件包括安裝在驅(qū)動電機(jī)動力輸出端上的離心架，所述離心架上設(shè)置鎖緊機(jī)構(gòu)，鎖緊機(jī)構(gòu)用于對放置在其中央位置的待清洗特氣噴嘴進(jìn)行夾持，所述驅(qū)動電機(jī)滑動安裝在清洗箱體的內(nèi)壁表面上；

5、驅(qū)動連接組件，其包括鎖緊驅(qū)動機(jī)構(gòu)，鎖緊驅(qū)動機(jī)構(gòu)用于將鎖緊機(jī)構(gòu)和升降安裝架進(jìn)行連接，在所述箱體上蓋閉合并使升降安裝架下降時，所述鎖緊驅(qū)動機(jī)構(gòu)驅(qū)動鎖緊機(jī)構(gòu)完成對特氣噴嘴的鎖緊動作，所述鎖緊驅(qū)動機(jī)構(gòu)還包括自適應(yīng)連接部，在所述鎖緊機(jī)構(gòu)完成對特氣噴嘴的鎖緊動作時，自適應(yīng)連接部用于使鎖緊機(jī)構(gòu)與鎖緊驅(qū)動機(jī)構(gòu)和升降安裝架斷開連接。

6、優(yōu)選地，所述鎖緊機(jī)構(gòu)包括一組轉(zhuǎn)動設(shè)置在離心架上的第一環(huán)體和轉(zhuǎn)動設(shè)置在第一環(huán)體上的第二環(huán)體，所述第一環(huán)體上開設(shè)有多組成圓周陣列的限位槽，所述第二環(huán)體上設(shè)置有與多組限位槽數(shù)量相同且一一對應(yīng)的聯(lián)銷，每個聯(lián)銷上均轉(zhuǎn)動設(shè)置轉(zhuǎn)動撥桿；且每個所述轉(zhuǎn)動撥桿的一側(cè)端部均滑動嵌合在相對應(yīng)的限位槽內(nèi)，另一側(cè)端部則均轉(zhuǎn)動設(shè)置有鎖緊轉(zhuǎn)桿；

7、所述離心架在多組鎖緊轉(zhuǎn)桿的中心位置上設(shè)置有穿插桿，穿插桿用于對特氣噴頭進(jìn)行插接放置，所述第一環(huán)體通過鎖緊驅(qū)動機(jī)構(gòu)與升降安裝架連接，在所述升降安裝架下降時，鎖緊驅(qū)動機(jī)構(gòu)用于使第一環(huán)體旋轉(zhuǎn)，所述第二環(huán)體上固定設(shè)置有限位桿，且限位桿遠(yuǎn)離第二環(huán)體的端部抵觸在升降安裝架的表面上，在所述第一環(huán)體旋轉(zhuǎn)時，所述限位桿用于阻止第二環(huán)體隨第一環(huán)體同步旋轉(zhuǎn)，使第一環(huán)體與第二環(huán)體產(chǎn)生相對轉(zhuǎn)動。

8、優(yōu)選地，所述鎖緊驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括相互插接的第一連接桿和第二連接桿，所述第一連接桿遠(yuǎn)離第二連接桿的端部轉(zhuǎn)動設(shè)置在離心架上并與第一環(huán)體相連接，所述清洗箱體的內(nèi)壁表面上固定安裝有齒條，且齒條上嚙合有齒盤，所述齒盤通過安裝滑板滑動設(shè)置在清洗箱體的內(nèi)壁表面，且安裝滑板與升降安裝架固定連接；

9、所述自適應(yīng)連接部設(shè)置在第二連接桿與齒盤之間，多組所述鎖緊轉(zhuǎn)桿完成對特氣噴頭的鎖緊動作時，自適應(yīng)連接部用于使第二連接桿和齒盤斷開連接。

10、優(yōu)選地，自適應(yīng)連接部包括相互嚙合的第一端面齒輪和第二端面齒輪，其中，第二端面齒輪固定設(shè)置在齒盤表面，第一端面齒輪通過第二彈簧與第二連接桿固定連接。

11、優(yōu)選地，所述離心組件還包括安裝在離心架上的自離心機(jī)構(gòu)，通過所述驅(qū)動電機(jī)使離心架和鎖緊機(jī)構(gòu)整體旋轉(zhuǎn)時，所述自離心機(jī)構(gòu)用于使鎖緊轉(zhuǎn)桿同步旋轉(zhuǎn)；

12、所述自離心機(jī)構(gòu)包括相互嚙合的第一錐齒輪和第二錐齒輪，其中，第一錐齒輪固定設(shè)置在驅(qū)動電機(jī)的動力輸出軸上，第二錐齒輪通過防翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)安裝有轉(zhuǎn)動設(shè)置在離心架上的轉(zhuǎn)軸，防翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)用于保持動力的單向傳遞，所述自離心機(jī)構(gòu)還包括固定設(shè)置在離心架上的且開設(shè)有槽口的安裝豎板，所述安裝豎板的槽口內(nèi)通過第一彈簧滑動設(shè)置有安裝塊，其中一組所述鎖緊轉(zhuǎn)桿和所述安裝塊與轉(zhuǎn)軸之間分別通過同步帶輪共同套接安裝牽拉同步帶，在通過鎖緊機(jī)構(gòu)對特氣噴頭進(jìn)行鎖緊時，所述第一彈簧用于使?fàn)坷綆П３謴埦o動作。

13、優(yōu)選地，所述驅(qū)動連接組件還包括分離驅(qū)動機(jī)構(gòu)，在所述升降安裝架下降到位時，所述分離驅(qū)動機(jī)構(gòu)用于使鎖緊機(jī)構(gòu)與鎖緊驅(qū)動機(jī)構(gòu)分離，以通過自離心機(jī)構(gòu)實現(xiàn)對離心架的整體旋轉(zhuǎn)動作；

14、所述分離驅(qū)動機(jī)構(gòu)包括套設(shè)在第二連接桿上的旋轉(zhuǎn)接頭以及固定設(shè)置在旋轉(zhuǎn)接頭上的分離調(diào)節(jié)板，所述分離調(diào)節(jié)板通過伸縮件與清洗箱體的底部表面進(jìn)行連接，所述清洗箱體內(nèi)壁表面通過支架安裝有滾輪，且滾輪轉(zhuǎn)動設(shè)置在支架上，在所述升降安裝架下降到位使齒盤與齒條分離時，所述滾輪與分離調(diào)節(jié)板的表面相抵。

15、優(yōu)選地，所述防翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括轉(zhuǎn)動設(shè)置在離心架上且與第二錐齒輪固定連接的離心輪和與轉(zhuǎn)軸固定連接的連接盤，且連接盤靠近離心輪的內(nèi)緣表面開設(shè)有卡齒，所述離心輪上轉(zhuǎn)動設(shè)置有多個旋轉(zhuǎn)卡爪和與多個旋轉(zhuǎn)卡爪一一對應(yīng)的多個旋轉(zhuǎn)頭，多個旋轉(zhuǎn)頭均轉(zhuǎn)動設(shè)置在離心輪表面且通過復(fù)位簧與相對應(yīng)的旋轉(zhuǎn)卡爪相連接，在離心輪旋轉(zhuǎn)并產(chǎn)生離心力時，所述旋轉(zhuǎn)卡爪與連接盤內(nèi)緣上的卡齒相抵。

16、優(yōu)選地，所述清洗箱體為耐酸堿的材質(zhì)所制成。

17、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具備以下有益效果：

18、1、通過鎖緊機(jī)構(gòu)的設(shè)計，在清洗過程中能夠有效地夾持特氣噴嘴，避免了在加速清洗液循環(huán)流動時，特氣噴嘴在箱體中四處撞擊或相互碰撞的情況，從而保護(hù)特氣噴嘴不受損壞，延長了噴嘴的使用壽命。

19、2、箱體器具內(nèi)部設(shè)計了離心組件，可以在特氣噴嘴被鎖緊后并清洗完畢時，通過整體的離心作用和自身的離心作用，同時將噴嘴內(nèi)部以及噴嘴外部表面的殘余液體甩出，提高了清洗的效率。

20、3、鎖緊機(jī)構(gòu)采用了自適應(yīng)連接部設(shè)計，通過第一端面齒輪、第二端面齒輪和第二彈簧來實現(xiàn)對不同口徑特氣噴嘴的夾持，使得該箱體器具具有廣泛的適用性，能夠滿足不同型號和規(guī)格的特氣噴嘴清洗需求。

21、4、箱體器具的設(shè)計充分考慮了操作的便捷性，通過簡單的箱體上蓋開閉操作即可實現(xiàn)升降安裝架的升降和鎖緊機(jī)構(gòu)的鎖緊/解鎖動作，無需復(fù)雜的操作步驟和工具，大大提高了清洗工作的效率。