本發(fā)明涉及一種用于清洗多晶厚片料工裝及其加工方法，屬于硅片清洗技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)：

多晶小錠部分截斷時將頭部回收料部分不截斷，經(jīng)過碾磨后上切片機(jī)完成切片，此部分原本作為頭部回收料部分經(jīng)過切片機(jī)分線網(wǎng)切割成1.5mm-3.5mm厚度不等的硅片，經(jīng)過脫膠后，我們稱此部分硅片為“多晶厚片料”。因這種厚片料質(zhì)量、尺寸達(dá)不到正常硅片要求，故作為多晶厚片料重新回爐使用，在回爐之前，如按照我們正常清洗片料的工藝，將厚片料破碎放置在花籃中清洗，重疊部分因酸無法腐蝕到位，會形成表面臟污，故爾如何將此料清洗到表面無斑，無漿料殘留，無異物成為我們需要解決的難點(diǎn)。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是，針對現(xiàn)有技術(shù)不足，提出一種提高清洗質(zhì)量的用于清洗多晶厚片料工裝。

本發(fā)明為解決上述技術(shù)問題提出的技術(shù)方案是：一種用于清洗多晶厚片料工裝，包括長方形的底板、長方形的中央擋板和側(cè)擋板，底板上均勻間隔開設(shè)有第一通孔，中央擋板上均勻間隔開設(shè)有第二通孔，側(cè)擋板上均勻間隔開設(shè)有第三通孔，中央擋板沿底板中間的長度方向與底板垂直固接，中央擋板的長度與底板的長度相等，底板上均勻間隔開設(shè)有側(cè)擋板固定槽，側(cè)擋板固定槽的長度方向與底板的寬度方向平行，側(cè)擋板至少有一個，側(cè)擋板通過側(cè)擋板固定槽與底板垂直卡接，側(cè)擋板遠(yuǎn)離中央擋板的一端與底板的邊緣平齊。

上述技術(shù)方案的改進(jìn)是：底板長度為404mm，寬度為316mm，厚度為5mm。

上述技術(shù)方案的改進(jìn)是：中央擋板的長度為404mm，高度為160mm，厚度為2mm。

上述技術(shù)方案的改進(jìn)是：側(cè)擋板的長度為157mm，高度為160mm，厚度為1mm。

上述技術(shù)方案的改進(jìn)是：側(cè)擋板的上下兩端開設(shè)有梯形開口。

上述技術(shù)方案的改進(jìn)是：第一通孔的直徑為5mm，第一通孔之間的間隔為5mm。

上述技術(shù)方案的改進(jìn)是：第二通孔和第三通孔的直徑均為3mm，第二通孔之間的間隔為5mm，第三通孔之間的間隔為5mm。

上述技術(shù)方案的改進(jìn)是：側(cè)擋板固定槽之間間隔2mm，側(cè)擋板固定槽寬度為1mm，深度為3mm。

本發(fā)明的用于清洗多晶厚片料工裝的加工方法，包括以下步驟：

（1）取5mm厚的四氟板，截取長度為404mm，寬度為316mm的長方形板材作為底板，噴涂耐腐蝕涂層；

（2）在底板上打孔，孔徑5mm，間隔為5mm，每排交錯開孔；

（3）在地板上沿寬度方向均勻間隔開設(shè)有側(cè)擋板固定槽，間隔為2mm，側(cè)擋板固定槽寬的度為1mm，深度為3mm；

（4）取2mm厚的四氟板，截取長度為404mm，高度為160mm的長方形板材作為中央擋板，噴涂耐腐蝕涂層；

（5）在中央擋板上開孔，孔徑3mm，間隔為5mm，每排交錯開孔；

（6）取1mm厚的四氟板，截取長度為157mm，高度為160mm的長方形板材作為側(cè)擋板，噴涂耐腐蝕涂層；

（7）在側(cè)擋板上開孔，孔徑3mm，間隔為5mm，每排交錯開孔；

（8）將中央擋板沿底板中間的長度方向與所述底板垂直焊接，具體步驟為：

a、處理焊口，將中央擋板和的底板的焊口處理成坡度焊口；

b、將中央擋板和的底板的焊口放在搭焊機(jī)的磨具焊接部位，采用玻纖帶纏繞固定；

c、將上方的加熱爐下放，蓋住焊接部位，加熱燒結(jié)焊接；

d、提起加熱爐，拆下玻纖帶，焊接完成；

（9）將至少一塊側(cè)擋板通過側(cè)擋板固定槽與所述底板垂直卡接，制得用于清洗多晶厚片料工裝。

本發(fā)明采用上述技術(shù)方案的有益效果是：

（1）本發(fā)明的用于清洗多晶厚片料工裝可以直接放置在全自動清洗機(jī)花籃中操作，可以做到全自動清洗機(jī)清洗片料，降低工人勞動強(qiáng)度，提高生產(chǎn)效率和經(jīng)濟(jì)效益；

（2）本發(fā)明的用于清洗多晶厚片料工裝采用插片式原理，根據(jù)厚片的不同厚度調(diào)節(jié)側(cè)擋板的數(shù)量，從而調(diào)節(jié)側(cè)擋板之間的間隙，避免因厚片重疊造成的酸斑、水斑、雜質(zhì)等，可將厚片料半自動人工清洗更改為全自動插片清洗，減少工人直接跟酸接觸的風(fēng)險，提升厚片料的清洗質(zhì)量；

（3）本發(fā)明的用于清洗多晶厚片料工裝的側(cè)擋板通過側(cè)擋板固定槽與底板垂直卡接，采用的是底部插板式設(shè)計，側(cè)擋板可根據(jù)需要放置或取出，可以適應(yīng)各種厚度的厚片料；

（4）本發(fā)明的用于清洗多晶厚片料工裝加工時，底板、中央擋板和側(cè)擋板都噴涂有耐腐蝕涂層，防止工裝在清洗作業(yè)的過程中被腐蝕，延長了使用壽命；

（5）本發(fā)明的用于清洗多晶厚片料工裝加工時，焊接時采用坡度焊口焊接，焊接口平整不明顯，焊接強(qiáng)度大，延長了使用壽命。

附圖說明

下面結(jié)合附圖對本發(fā)明作進(jìn)一步說明：

圖1是本發(fā)明實施例用于清洗多晶厚片料工裝的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本發(fā)明實施例用于清洗多晶厚片料工裝的中央擋板的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是本發(fā)明實施例用于清洗多晶厚片料工裝的側(cè)擋板的結(jié)構(gòu)示意圖；

其中：1-底板；2-中央擋板；3-側(cè)擋板；4-第一通孔；5-第二通孔；6-第三通孔。

具體實施方式

實施例

本實施例的用于清洗多晶厚片料工裝，如圖1、2和3所示，包括長方形的底板1、長方形的中央擋板2和側(cè)擋板3，底板1上均勻間隔開設(shè)有第一通孔4，中央擋板2上均勻間隔開設(shè)有第二通孔5，側(cè)擋板3上均勻間隔開設(shè)有第三通孔6，中央擋板2沿底板1中間的長度方向與底板1垂直固接，中央擋板2的長度與底板1的長度相等，底板1上均勻間隔開設(shè)有側(cè)擋板固定槽（圖中未示出），側(cè)擋板固定槽的長度方向與底板1的寬度方向平行，側(cè)擋板3有六個，側(cè)擋板3通過側(cè)擋板固定槽與底板1垂直卡接，側(cè)擋板3遠(yuǎn)離中央擋板2的一端與底板1的邊緣平齊。底板1長度為404mm，寬度為316mm，厚度為5mm。中央擋板2的長度為404mm，高度為160mm，厚度為2mm。側(cè)擋板3的長度為157mm，高度為160mm，厚度為1mm。側(cè)擋板的上下兩端開設(shè)有梯形開口，開口底部角度為120°。第一通孔4的直徑為5mm，第一通孔4之間的間隔為5mm。第二通孔5和第三通孔6的直徑均為3mm，第二通孔5之間的間隔為5mm，第三通孔6之間的間隔為5mm。側(cè)擋板固定槽之間間隔2mm，側(cè)擋板固定槽寬度為1mm，深度為3mm。

本實施例的用于清洗多晶厚片料工裝在使用時，根據(jù)厚片的不同厚度調(diào)節(jié)側(cè)擋板的數(shù)量，從而調(diào)節(jié)側(cè)擋板之間的間隙，避免因厚片重疊造成的酸斑、水斑、雜質(zhì)等，可將厚片料半自動人工清洗更改為全自動插片清洗，減少工人直接跟酸接觸的風(fēng)險，提升厚片料的清洗質(zhì)量。

本發(fā)明的用于清洗多晶厚片料工裝的加工方法，包括以下步驟：

（1）取5mm厚的四氟板，截取長度為404mm，寬度為316mm的長方形板材作為底板，噴涂耐腐蝕涂層；

（2）在底板上打孔，孔徑5mm，間隔為5mm，每排交錯開孔；

（3）在地板上沿寬度方向均勻間隔開設(shè)有側(cè)擋板固定槽，間隔為2mm，側(cè)擋板固定槽寬的度為1mm，深度為3mm；

（4）取2mm厚的四氟板，截取長度為404mm，高度為160mm的長方形板材作為中央擋板，噴涂耐腐蝕涂層；

（5）在中央擋板上開孔，孔徑3mm，間隔為5mm，每排交錯開孔；

（6）取1mm厚的四氟板，截取長度為157mm，高度為160mm的長方形板材作為側(cè)擋板，噴涂耐腐蝕涂層；

（7）在側(cè)擋板上開孔，孔徑3mm，間隔為5mm，每排交錯開孔；

（8）將中央擋板沿底板中間的長度方向與所述底板垂直焊接，具體步驟為：

a、處理焊口，將中央擋板和的底板的焊口處理成坡度焊口；

b、將中央擋板和的底板的焊口放在搭焊機(jī)的磨具焊接部位，采用玻纖帶纏繞固定；

c、將上方的加熱爐下放，蓋住焊接部位，加熱燒結(jié)焊接；

d、提起加熱爐，拆下玻纖帶，焊接完成；

（9）將至少一塊側(cè)擋板通過側(cè)擋板固定槽與所述底板垂直卡接，制得用于清洗多晶厚片料工裝。

本發(fā)明不局限于上述實施例。凡采用等同替換形成的技術(shù)方案，均落在本發(fā)明要求的保護(hù)范圍。