技術(shù)編號：11565999
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種用于清洗多晶厚片料工裝及其加工方法，屬于硅片清洗技術(shù)領(lǐng)域。背景技術(shù)多晶小錠部分截斷時將頭部回收料部分不截斷，經(jīng)過碾磨后上切片機(jī)完成切片，此部分原本作為頭部回收料部分經(jīng)過切片機(jī)分線網(wǎng)切割成1.5mm-3.5mm厚度不等的硅片，經(jīng)過脫膠后，我們稱此部分硅片為“多晶厚片料”。因這種厚片料質(zhì)量、尺寸達(dá)不到正常硅片要求，故作為多晶厚片料重新回爐使用，在回爐之前，如按照我們正常清洗片料的工藝，將厚片料破碎放置在花籃中清洗，重疊部分因酸無法腐蝕到位，會形成表面臟污，故爾如何將此料清洗到表面無斑，...
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